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      2014年11期

      刊物介紹

      本刊為國內(nèi)外公開發(fā)行的技術(shù)性刊物,以報(bào)道半導(dǎo)體設(shè)備及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)與材料為主要方向,以“公布新的科技成就,傳播科技信息,交流學(xué)術(shù)思想,促進(jìn)科技成果的商品化、產(chǎn)業(yè)化,為建設(shè)社會主義精神文明與物質(zhì)文明服務(wù)”為本刊的為刊方針。發(fā)揮傳媒優(yōu)勢,全方位服務(wù)于微電子行業(yè)的廣大科技工作者。

      電子工業(yè)專用設(shè)備

      半導(dǎo)體制造技術(shù)與設(shè)備
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