朱　強　蔣莊德　王海容　趙則祥

摘要：在介紹懸臂梁法測量微構件彈性模量原理的基礎上，分析了測量和評價過程的主要不確定因素，將模糊數(shù)學方法引入彈性模量的評價過程．在常規(guī)模型中，給予有關參數(shù)一定的變動范圍，以隸屬函數(shù)表示其取值分布情況，建立了基于模糊集的評價模型．其中，懸臂梁試件的剛度系數(shù)由載荷—有效撓度曲線經模糊加權線性回歸擬合獲得，其幾何尺寸考慮為正態(tài)分布模糊數(shù)，利用水平截集概念轉化為普通集規(guī)劃問題求解．對單晶硅(100)懸臂梁試件的實驗數(shù)據(jù)進行了計算，得到不同置信水平下的彈性模量評價區(qū)間．研究結果表明，帶有模糊參數(shù)的彈性模量評價模型能適當吸收一些不確定因素，同時由于考慮了測量中多種因素的影響，評價結果與實際情況符合較好，因此更具有參考價值．

關鍵詞：懸臂梁法；微構件；彈性模量；模糊模型；隸屬函數(shù)

中圖分類號：TG115．5文獻標識碼：A文章編號：0253-987X(2005)05—0517—05