電致動聚合物驅(qū)動的無閥微泵的設(shè)計與制作

夏冬梅　龐宣明　陳曉南　李　博

摘要：提出了一種由電致動聚合物材料(DE)驅(qū)動的平面擴散／收縮管無閥微泵，通過分析擴散／收縮管的角度、長度、最小寬度等關(guān)鍵參數(shù)對微泵性能的影響，對無閥微泵的結(jié)構(gòu)進行了設(shè)計，基于UV-LIGA工藝，將DE泵膜和SU-8泵體鍵合制作了無閥微泵的模型，并對DE泵膜結(jié)構(gòu)進行了實驗研究，確定了合理的結(jié)構(gòu)形式，實現(xiàn)了微泵的單向泵送，在3500V、8Hz直流正弦電壓的作用下，無閥微泵的流量最大，為21.2μL／min，并且結(jié)構(gòu)簡單、易于密封、成本低，實驗結(jié)果對電致動聚合物微泵進一步的科學研究和實際應用都具有較大的促進作用。

關(guān)鍵詞：電致動聚合物；微泵；結(jié)構(gòu)設(shè)計

中圖分類號：TN4文獻標志碼：A文章編號：0253-987X(2009)07-0092-04