郭麗莎,夏 洋

摘 要:分析影響VDMOS開(kāi)關(guān)特性的各部分電容結(jié)構(gòu)及參數(shù),為了減少寄生電容,提高開(kāi)關(guān)速度,在此提出一種減少VDMOS寄生電容的新型結(jié)構(gòu)。該方法是部分去除傳統(tǒng)VDMOS的neck區(qū)多晶硅條,并利用多晶硅作掩模注入P型區(qū),改變VDMOS柵下耗盡區(qū)形狀,減小寄生電容。在此增加了neck區(qū)寬度,并增加了P阱注入。利用TCAD工具模擬,結(jié)果表明:這種新型結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)VDMOS相比,能有效減小器件的寄生電容,減少柵電荷量,提高開(kāi)關(guān)時(shí)間,提高器件的動(dòng)態(tài)性能。

關(guān)鍵詞:VDMOS;電容;TCAD;開(kāi)關(guān)時(shí)間

中圖分類(lèi)號(hào):TN710文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A

文章編號(hào):1004-373X(2009)20-200-03

New VDMOS Structure with Reduced Parasitic Capacitance

GUO Lisha,XIA Yang

(Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Science,Beijing,100029,China)

Abstract:The capacitances structure and parameters of VDMOS,a new structure with reduced VDMOS parasitic capacitance are introduced.This structure features an additional p-region formed at the surface using a poly-Si gate as a mask,so the shape of depletion region can be changed.This method increases width of the neck area and increases the P-well injection.And the use of TCAD tools for simulation.Results show that:compared to conventional VDMOS,this new structure can effectively reduce the device parasitic capacitance,reduce the gate charge,and improve the switching time,improve the dynamic performance of the device.

Keywords:VDMOS;capacitance;TCAD;switching time

0 引 言

VDMOS與雙極晶體管相比,它的開(kāi)關(guān)速度快,開(kāi)關(guān)損耗小,輸入電阻高,驅(qū)動(dòng)電流小,頻率特性好,跨導(dǎo)高度線性[1]等優(yōu)點(diǎn)。特別值得指出的是,它具有負(fù)溫度系數(shù),沒(méi)有雙極功率管的二次擊穿問(wèn)題,安全工作區(qū)大。因此,不論是開(kāi)關(guān)應(yīng)用還是線性應(yīng)用,VDMOS都是理想的功率器件。VDMOS的開(kāi)關(guān)速度[2]是在高頻應(yīng)用時(shí)的一個(gè)重要的參數(shù),因此提出一種減小寄生電容的新型VDMOS結(jié)構(gòu)。

1 基本原理

功率VDMOS的開(kāi)關(guān)特性是由其本征電容和寄生電容來(lái)決定的。VDMOS的電容主要由三個(gè)部分柵源電容Cgs、柵漏電容Cgd 以及源漏電容Cds組成,如圖1所示。電容的充放電是限制其開(kāi)關(guān)速度的主要因素。

柵源之間的電容是由三個(gè)部分組成,即:

Cgs=Cgs(N+)+Cgs(P)+Cgs(M)

Cgs(N+)是柵源交疊電容;Cgs(M)是柵與源金屬間的電容;Cgs(P)是柵與P-base之間的電容。這三個(gè)電容的大小都是由VDMOS本身設(shè)計(jì)上的參數(shù)決定的,最主要取決于介質(zhì)層的厚度。

圖1 VDMOS寄生電容

柵漏之間的電容Cgd[3]是兩個(gè)電容的串聯(lián):

1/Cgd=1/Cgd(ox)+1/Cgd(dep)

當(dāng)柵壓未達(dá)到閾值電壓時(shí),漂移區(qū)與P-base形成的耗盡層結(jié)合在一起,形成面積很大的耗盡層電容,柵下漂移區(qū)空間電荷耗盡區(qū)電容Cgd(dep)只是其中一部分,此時(shí)耗盡層寬度最大,耗盡電容最小。當(dāng)柵壓達(dá)到閾值電壓后,器件開(kāi)啟時(shí),漏區(qū)電勢(shì)降低,耗盡層寬度減小,Cgd(dep)迅速增大。

漏源之間的電容Cds是一個(gè)PN結(jié)電容[4],它的大小是由器件在源漏之間所加的電壓[5]VDS所決定的。

一般VDMOS都包含了Cgs,Cgd和Cds,但是功率VDMOS都不是采用這三個(gè)電容作參考,而是采用Ciss,Coss和Crss作為評(píng)估VDMOS器件的電容性能,Ciss,Coss和Crss參數(shù)分別定義為:輸入電容:Ciss =Cgs+Cgd;輸出電容:Coss=Cds+Cgd;反饋電容:Crss=Cgd。

實(shí)際中采用Ciss,Coss和Crss作為衡量VDMOS器件頻率特性的參數(shù),它們并不是定值,而是隨著其外部施加給器件本身的電壓變化的。

VDMOS的開(kāi)啟延遲時(shí)間[6]td(on)、上升時(shí)間tr、關(guān)斷延遲時(shí)間td(off)、下降時(shí)間tf的關(guān)系式可分別表達(dá)為:

td(on)=C*issRgln(1-Vth/Vgs)

tr=C*issRgln[1-(Vgs-Vth)/(Vgs-vgs)]

td(off)=C*issRgln(Vth/vgs)

tf=C*issRgln(1-Vgs/Vth)

式中:Rg為開(kāi)關(guān)測(cè)試電路中器件外接?xùn)烹娮?Vth為閾值電壓;Vgs是外加?xùn)旁措妷?vgs是使器件漏源電壓下降到外加值10%時(shí)的柵源電壓;C*iss是器件的輸入電容;在td(on)和td(off)式中:C*iss=Cgs+Cgd;在tr和tf式中:C*iss=Cgs+(1+k)Cgd(考慮密勒效應(yīng))。

由上述關(guān)系式可見(jiàn),Cgd直接影響器件的輸入電容和開(kāi)關(guān)時(shí)間,Cgd通過(guò)密勒效應(yīng)[7]使輸入電容增大,從而使器件上升時(shí)間tr和下降tf時(shí)間變大,因此減小柵漏電容Cgd尤為重要。

2 新結(jié)構(gòu)的提出

根據(jù)上面對(duì)VDMOS電容的分析,提出一種新的結(jié)構(gòu)以減少器件的寄生電容。由分析可得出,柵下耗盡層的形狀對(duì)VDMOS電容有較大影響,最主要影響Cgd。

圖2中給出了新的VDMOS單元A,在VDMOS neck區(qū)域斷開(kāi)多晶硅條[8],同時(shí)在斷開(kāi)處注入一定的P型區(qū),改變VDMOS柵下耗盡區(qū)的形狀。這種新結(jié)構(gòu),在一定程度上加大耗盡區(qū)的寬度,從而減小Cgd。如圖2結(jié)構(gòu)中Pody下P-區(qū)注入?yún)^(qū)域?yàn)閚eck區(qū)中間3 μm,注入能量是40 keV,注入劑量是1e13-3 cm,傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)多晶硅柵完全覆蓋P-body島間漂移區(qū),正是由多晶硅柵和漂移區(qū)的交疊形成的柵漏電容在充電時(shí)需大量電荷,導(dǎo)致器件開(kāi)關(guān)損耗很大,新結(jié)構(gòu)將多晶柵和漂移區(qū)的交疊部分移除[9],可以大大降低柵電荷,提高器件的動(dòng)態(tài)性能。

3 新結(jié)構(gòu)的模擬結(jié)果

圖3給出了新型結(jié)構(gòu)A的寄生電容模擬結(jié)果,從模擬結(jié)果來(lái)看,新型結(jié)構(gòu)A增大了柵下耗盡區(qū)寬度,改變了柵下耗盡區(qū)的形狀,減小了柵漏電容Cgd,對(duì)輸入電容、輸出電容沒(méi)有較大影響,在一定程度上減小了反饋電容。

圖2 減小VDMOS寄生電容新結(jié)構(gòu)A

圖3 VDMOS新結(jié)構(gòu)A寄生電容模擬結(jié)果

柵電荷[9]是比輸入電容更有用的參數(shù),從電路設(shè)計(jì)的角度,由Qg=Igt可得到使器件在理想開(kāi)啟時(shí)間內(nèi)所需的柵電流值。柵電荷Qg[10]是功率MOSFET兩個(gè)最重要的參數(shù)之一(另一參數(shù)為Ron)。使用非零的Vds提供Qg-Vgs曲線已經(jīng)成為一種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。在曲線里包含五種信息:共源輸入電容Ciss;共源反向傳輸電容Crss;使器件開(kāi)啟必須加在柵上的電荷量;得到器件理想開(kāi)關(guān)速度所需的柵電荷;器件在開(kāi)關(guān)期間所損耗的能量。

電源電路設(shè)計(jì)工程師使用這些信息設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng)電路,并估計(jì)器件性能。

采用TCAD(ISE)對(duì)新型結(jié)構(gòu)A進(jìn)行了模擬,模擬結(jié)果如圖4所示。

圖4 VDMOS新結(jié)構(gòu)A柵電荷模擬結(jié)果

可以明顯看出新型結(jié)構(gòu)A的柵電荷明顯比一般結(jié)構(gòu)的柵電荷小很多,Qg定義為Vgs=12 V時(shí)柵上所存貯的電荷,新型結(jié)構(gòu)A和一般VDMOS結(jié)構(gòu)柵電荷分別為20.25 nC和30.57 nC,減小了33.67%。

4 結(jié) 語(yǔ)

本文提出一種減小VDMOS寄生電容,提高其動(dòng)態(tài)特性的新結(jié)構(gòu)。并用TCAD(ISE)軟件對(duì)其模擬。從模擬分析結(jié)果可看出,新型結(jié)構(gòu)A與傳統(tǒng)VDMOS相比,能有效減小反饋電容及柵電荷,提高VDMOS器件的開(kāi)關(guān)速度,提高器件的動(dòng)態(tài)性能。

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