藉著中國(guó)大陸半導(dǎo)體和平板顯示市場(chǎng)近幾年的繁榮之勢(shì),海德漢積極投身開拓中國(guó)電子設(shè)備制造和FPD市場(chǎng)。2012年3月20-22日,在上海新國(guó)際博覽中心E1館1213展位,海德漢將帶著旗下針對(duì)半導(dǎo)體與平板顯示生產(chǎn)設(shè)備行業(yè)的最新產(chǎn)品及先進(jìn)技術(shù)亮相SEMICON/FPD China 2012。
在高產(chǎn)量加工過(guò)程中能保持持續(xù)的高質(zhì)量和高精度是高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。為此,海德漢提供大量具有高質(zhì)量信號(hào)輸出的直線光柵尺和角度編碼器的選擇,確保定位精度準(zhǔn)確。得益于它們面向?qū)嶋H應(yīng)用的機(jī)械結(jié)構(gòu),實(shí)用性的高精度和可定義的溫度特性,使海德漢光柵尺或和角度編碼器能確保滿足不同測(cè)量任務(wù)和安裝條件要求。
SEMIECON/FPD 2012 E1館1213展位
敞開式增量直線光柵尺 LIF 400
精度高和安裝簡(jiǎn)單
應(yīng)用
●半導(dǎo)體后端生產(chǎn)設(shè)備
●計(jì)量?jī)x器特點(diǎn)
●緊湊型讀數(shù)頭和光柵尺
●PRECIMET背膠固定,安裝簡(jiǎn)單
●抗污染能力較強(qiáng)
●限位開關(guān)和回零軌技術(shù)參數(shù)
●玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的SUPRADUR相位光柵
●信號(hào)周期 4μm
●精度等級(jí) ± 3μm
●典型位置誤差
單信號(hào)周期內(nèi) ±0.04μm
●測(cè)量長(zhǎng)度 至1020mm
●接口 1VPP或TTL
敞開式增量直線光柵尺 LIDA 400
用于高速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量范圍
應(yīng)用
●半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備
●PCB電路板組裝機(jī)
●測(cè)量機(jī)特點(diǎn)
●運(yùn)動(dòng)速度快
●測(cè)量長(zhǎng)度大
●安裝公差大
●限位開關(guān)
●多種型號(hào)可供選擇技術(shù)參數(shù)
●鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵
●信號(hào)周期 20μm
●測(cè)量步距 至0.05μm
●精度等級(jí) 至±5μm
●典型位置誤差
單信號(hào)周期內(nèi)± 0.2μm
●測(cè)量長(zhǎng)度 至30m
●接口 1VPP或TTL
無(wú)內(nèi)置軸承增量式角度編碼器
玻璃圓光柵碼盤/輪轂總成
應(yīng)用
●計(jì)量?jī)x器
●高速旋轉(zhuǎn)軸特點(diǎn)
●尺寸緊湊
●高精度
●信號(hào)誤差補(bǔ)償技術(shù)參數(shù)
●玻璃基體的METALLUR光柵尺
●信號(hào)周期數(shù) 9000/18000
●系統(tǒng)精度 ±5/±3角秒
●直徑 外徑 71/150mm
內(nèi)徑 25/95mm
●接口 1VPP或TT
系統(tǒng)安全要求日益提高,網(wǎng)絡(luò)滲透日趨深入,因此新機(jī)器和新系統(tǒng)的要求也更加嚴(yán)格。
海德漢公司帶有絕對(duì)位置信號(hào)輸出的光柵尺和編碼器在提高生產(chǎn)和加工過(guò)程的效率和可靠性方面發(fā)揮著重大作用,幫助用戶在保持質(zhì)量穩(wěn)定的同時(shí)提高產(chǎn)量。高分辨率的特點(diǎn)使這些編碼器能準(zhǔn)確控制速度,因此能提高速度穩(wěn)定性和提高定位特性。
敞開式絕對(duì)直線光柵尺 LIC 4000
精度高和測(cè)量范圍大
應(yīng)用
●半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
●PCB電路板組裝機(jī)
●測(cè)量機(jī)
●直接驅(qū)動(dòng)特點(diǎn)
●大測(cè)量范圍的絕對(duì)位置值
●高分辨率
●結(jié)構(gòu)緊湊
●安裝和診斷簡(jiǎn)單技術(shù)參數(shù)
●有絕對(duì)刻軌的METALLUR鋼帶
●分辨率 最小至 0.001μm(1nm)
●精度等級(jí) 達(dá)±5μm
●典型位置誤差
單信號(hào)周期內(nèi) ±0.08μm
●測(cè)量長(zhǎng)度 至27m
●運(yùn)動(dòng)速度 至8m/s
●接口 EnDat 2.2
絕對(duì)式模塊旋轉(zhuǎn)編碼器 ECN 1123/EQN 1135
單圈/多圈版
應(yīng)用
●伺服電機(jī)反饋系統(tǒng)
●機(jī)械手應(yīng)用
●一般自動(dòng)化系統(tǒng)特點(diǎn)
●結(jié)構(gòu)緊湊
●安裝簡(jiǎn)單
●功能安全技術(shù)參數(shù)
●單圈測(cè)量步距數(shù) 8388608(23bits)
●分辨率(EQN 1135)4096(12bits)
●系統(tǒng)精度 ±60''
●接口 EnDat 2.28MHz時(shí)鐘頻率
●安全等級(jí) SIL 2,EN 615083級(jí) PL d,EN ISO 13849-1:2008
●供電電壓 DC 3.6至14V