本發(fā)明涉及一種六氟化硫廢氣的處理方法。先將六氟化硫廢氣引入含有脫氟劑的反應爐中，進行六氟化硫裂解反應，得到反應尾氣和反應尾渣，其中，脫氟劑為氟化鈉、硅粉、金屬氧化物組成的混合物。再將得到的反應尾氣通入水中，進行過濾和干燥，得到粉末狀硫磺。本發(fā)明選擇在無水條件下將六氟化硫與固態(tài)脫氟劑混合，發(fā)生反應使六氟化硫分解，六氟化硫分解率高，并且不產(chǎn)生氟化氫、三氧化硫等腐蝕性氣體，對反應器無腐蝕作用，操作簡單安全，同時六氟化硫裂解反應尾氣通入水中，生成的硫磺蒸汽遇水冷凝，簡單過濾、干燥后，得到粉末狀硫磺，六氟化硫中的硫資源得到充分的回收再利用。