激光塵埃粒子計數(shù)器的調(diào)試與粒子標定

徐月蘭++何德開

摘 要：激光塵埃粒子計數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器，文章講述的是光散射激光塵埃粒子計數(shù)器原理與調(diào)試方法以及粒子標定過程。從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。

關(guān)鍵詞：光散射；當(dāng)量直徑；粒子標定

1 概述

目前激光塵埃粒子計數(shù)器的用戶越來越多，激光塵埃粒子計數(shù)器廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、精密機械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，對各種潔凈等級的工作臺、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級別進行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。激光粒子塵埃計數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器，從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。常見的激光粒子塵埃粒子計數(shù)器是光散射式（DAPC）的，測量粒徑范圍0.1-10um，此外還有凝聚核式的激光粒子塵埃計數(shù)器（CNC），可測量尺寸更小的塵埃粒子。文章介紹的是光散射激光塵埃粒子計數(shù)器。

2 激光塵埃粒子計數(shù)器的工作原理

激光塵埃粒子計數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并放大，然后進行數(shù)字信號處理，通過與標準粒子信號進行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來?？諝庵械奈⒘Ｔ诠獾恼丈湎聲l(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。

光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規(guī)律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，實際上，每個粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱，是一個很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理如圖1所示。

圖1 激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理圖

3 激光塵埃粒子技術(shù)器的主要參數(shù)

（1）粒徑通道 0.5、1、3、5、10、25um

（2）采樣周期 1秒-9999秒之間任選

（3）使用環(huán)境 溫度：10℃-35℃、濕度：20%-75%、

大氣壓力：86kPa-106kP

（4）允許最大采樣濃度 35000顆/L（塵埃顆粒粒徑不大于 0.5μm）

（5）光源及壽命 半導(dǎo)體激光光源，壽命大于 30000小時

4 激光粒子塵埃計數(shù)器的調(diào)試

4.1 光檢測器

光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。激光塵埃粒子計數(shù)器中最常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線性好、響應(yīng)時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準時應(yīng)注意安全。光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。

4.2 流量監(jiān)控

激光塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為50L/min或100L/min，進口儀器常標識為0.1cfm（立方英尺每分鐘）或1cfm，主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。大流量的采樣（100L/min）更能準確地反映空氣的潔凈狀況，但使最大采樣濃度降低。

4.3 控制電位的調(diào)節(jié)

控制電位調(diào)節(jié)需根據(jù)不同的儀器，不同的元器件所決定，因而雖然是同一種型號的儀器，但是調(diào)節(jié)電位也會有所不同；但是激光Laser電壓和風(fēng)機Pump電壓是固定的，因為這是按標準生產(chǎn)的，所以供給電壓也是穩(wěn)定的。

5 激光塵埃粒子計數(shù)器的粒子標定

5.1 粒子標定作用

標定，就是確定不同粒徑所對應(yīng)的通道數(shù)（或電壓值）。不同的設(shè)計方案，不同的采樣方式，不同的分辯、記錄電路都使這個值不同。即使是同型產(chǎn)品，也因各種原因造成各臺儀器之間的差異，所以必須進行標定。例如，傳感器信號輸出經(jīng)交流耦合產(chǎn)生的信號脈沖必然產(chǎn)生過沖和振鈴，可能會產(chǎn)生多余計數(shù)。而渦流、管壁的吸附作用也可能引起粒子被重復(fù)計數(shù)。儀器使用一段時間后，由于多種原因（如溫度變化、元件老化等）引起儀器的“漂移”，所以國家標準規(guī)定和國際慣例，任何粒子計數(shù)器使用一年后必須進行標定。標定光學(xué)粒子計數(shù)器的標準一般是用一種均一的聚苯乙烯微粒（PSL）納米微粒尺度標準，它是由NIST 可溯源的納米級計量法標定。1納米是1米的十億分之一長度，0.001微米（μm），或10個埃單位。納米微粒尺度標準通常是裝在一個滴瓶型小瓶包裝的水性懸浮液。PSL微粒濃度是通過綜合優(yōu)化了易分散性和膠體穩(wěn)定性而確定的。水性懸浮液介質(zhì)包含一定量的分散劑，有助于防止粒子結(jié)塊或在粒子計數(shù)器表面的流動。PSL微球的密度是1.05g/cm3，折光系數(shù)為1.59@589nm。

5.2 賽納威檢測標定方法

長期以來，國內(nèi)的粒子計數(shù)器的生產(chǎn)和計量標定都是依據(jù)國家標準局1985年頒布的塵埃粒子計數(shù)器性能試驗方法（GB/T6167.1～6167.2-85）和國家標準局1988年頒布的國家計量檢定規(guī)程（JJG547-88），這兩個標準與國際上通用的標準，例如，日本工業(yè)標準（JIS）和美國標準測試標準（ATSM），有相當(dāng)大的差距，使得中國粒子計數(shù)器的生產(chǎn)和研發(fā)也處于落后的狀態(tài)，鑒于國內(nèi)廣泛存在的對粒子計數(shù)器的計量標定和校準存在的問題，賽納威的林海博士近幾年在國內(nèi)粒子計數(shù)器領(lǐng)域大力倡導(dǎo)多通道信號分析儀為作為校準粒子計數(shù)器的檢定工具，目前國內(nèi)有關(guān)權(quán)威機構(gòu)都紛紛采用多通道信號分析儀作為必備的測試儀器。從而為中國在粒子計數(shù)器行業(yè)縮小與國際標準的差距創(chuàng)造了良好的條件。賽納威粒子計數(shù)器檢測標定示意圖如圖2所示。

6 結(jié)束語

隨著世界工業(yè)水平的不斷提升，對潔凈技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)品的需求也隨之水漲船高，而激光塵埃粒子計數(shù)器是目前廣泛應(yīng)用的一種潔凈度檢測儀器，具有十分巨大的現(xiàn)實意義和商業(yè)價值。

圖2賽納威粒子計數(shù)器檢測標定示意圖

參考文獻

[1]鄭孝英.藥物生產(chǎn)潔凈技術(shù)[M].化學(xué)工業(yè)出版社，2009.

[2]許鐘麟.生物安全實驗室與生物安全柜[M].中國建筑工業(yè)出版社，2004.

作者簡介：徐月蘭（1981，1-），女，籍貫：江蘇·蘇州，職稱：講師，研究方向：自動化。endprint

摘 要：激光塵埃粒子計數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器，文章講述的是光散射激光塵埃粒子計數(shù)器原理與調(diào)試方法以及粒子標定過程。從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。

關(guān)鍵詞：光散射；當(dāng)量直徑；粒子標定

1 概述

目前激光塵埃粒子計數(shù)器的用戶越來越多，激光塵埃粒子計數(shù)器廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、精密機械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，對各種潔凈等級的工作臺、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級別進行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。激光粒子塵埃計數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器，從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。常見的激光粒子塵埃粒子計數(shù)器是光散射式（DAPC）的，測量粒徑范圍0.1-10um，此外還有凝聚核式的激光粒子塵埃計數(shù)器（CNC），可測量尺寸更小的塵埃粒子。文章介紹的是光散射激光塵埃粒子計數(shù)器。

2 激光塵埃粒子計數(shù)器的工作原理

激光塵埃粒子計數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并放大，然后進行數(shù)字信號處理，通過與標準粒子信號進行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來?？諝庵械奈⒘Ｔ诠獾恼丈湎聲l(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。

光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規(guī)律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，實際上，每個粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱，是一個很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理如圖1所示。

圖1 激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理圖

3 激光塵埃粒子技術(shù)器的主要參數(shù)

（1）粒徑通道 0.5、1、3、5、10、25um

（2）采樣周期 1秒-9999秒之間任選

（3）使用環(huán)境 溫度：10℃-35℃、濕度：20%-75%、

大氣壓力：86kPa-106kP

（4）允許最大采樣濃度 35000顆/L（塵埃顆粒粒徑不大于 0.5μm）

（5）光源及壽命 半導(dǎo)體激光光源，壽命大于 30000小時

4 激光粒子塵埃計數(shù)器的調(diào)試

4.1 光檢測器

光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。激光塵埃粒子計數(shù)器中最常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線性好、響應(yīng)時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準時應(yīng)注意安全。光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。

4.2 流量監(jiān)控

激光塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為50L/min或100L/min，進口儀器常標識為0.1cfm（立方英尺每分鐘）或1cfm，主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。大流量的采樣（100L/min）更能準確地反映空氣的潔凈狀況，但使最大采樣濃度降低。

4.3 控制電位的調(diào)節(jié)

控制電位調(diào)節(jié)需根據(jù)不同的儀器，不同的元器件所決定，因而雖然是同一種型號的儀器，但是調(diào)節(jié)電位也會有所不同；但是激光Laser電壓和風(fēng)機Pump電壓是固定的，因為這是按標準生產(chǎn)的，所以供給電壓也是穩(wěn)定的。

5 激光塵埃粒子計數(shù)器的粒子標定

5.1 粒子標定作用

標定，就是確定不同粒徑所對應(yīng)的通道數(shù)（或電壓值）。不同的設(shè)計方案，不同的采樣方式，不同的分辯、記錄電路都使這個值不同。即使是同型產(chǎn)品，也因各種原因造成各臺儀器之間的差異，所以必須進行標定。例如，傳感器信號輸出經(jīng)交流耦合產(chǎn)生的信號脈沖必然產(chǎn)生過沖和振鈴，可能會產(chǎn)生多余計數(shù)。而渦流、管壁的吸附作用也可能引起粒子被重復(fù)計數(shù)。儀器使用一段時間后，由于多種原因（如溫度變化、元件老化等）引起儀器的“漂移”，所以國家標準規(guī)定和國際慣例，任何粒子計數(shù)器使用一年后必須進行標定。標定光學(xué)粒子計數(shù)器的標準一般是用一種均一的聚苯乙烯微粒（PSL）納米微粒尺度標準，它是由NIST 可溯源的納米級計量法標定。1納米是1米的十億分之一長度，0.001微米（μm），或10個埃單位。納米微粒尺度標準通常是裝在一個滴瓶型小瓶包裝的水性懸浮液。PSL微粒濃度是通過綜合優(yōu)化了易分散性和膠體穩(wěn)定性而確定的。水性懸浮液介質(zhì)包含一定量的分散劑，有助于防止粒子結(jié)塊或在粒子計數(shù)器表面的流動。PSL微球的密度是1.05g/cm3，折光系數(shù)為1.59@589nm。

5.2 賽納威檢測標定方法

長期以來，國內(nèi)的粒子計數(shù)器的生產(chǎn)和計量標定都是依據(jù)國家標準局1985年頒布的塵埃粒子計數(shù)器性能試驗方法（GB/T6167.1～6167.2-85）和國家標準局1988年頒布的國家計量檢定規(guī)程（JJG547-88），這兩個標準與國際上通用的標準，例如，日本工業(yè)標準（JIS）和美國標準測試標準（ATSM），有相當(dāng)大的差距，使得中國粒子計數(shù)器的生產(chǎn)和研發(fā)也處于落后的狀態(tài)，鑒于國內(nèi)廣泛存在的對粒子計數(shù)器的計量標定和校準存在的問題，賽納威的林海博士近幾年在國內(nèi)粒子計數(shù)器領(lǐng)域大力倡導(dǎo)多通道信號分析儀為作為校準粒子計數(shù)器的檢定工具，目前國內(nèi)有關(guān)權(quán)威機構(gòu)都紛紛采用多通道信號分析儀作為必備的測試儀器。從而為中國在粒子計數(shù)器行業(yè)縮小與國際標準的差距創(chuàng)造了良好的條件。賽納威粒子計數(shù)器檢測標定示意圖如圖2所示。

6 結(jié)束語

隨著世界工業(yè)水平的不斷提升，對潔凈技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)品的需求也隨之水漲船高，而激光塵埃粒子計數(shù)器是目前廣泛應(yīng)用的一種潔凈度檢測儀器，具有十分巨大的現(xiàn)實意義和商業(yè)價值。

圖2賽納威粒子計數(shù)器檢測標定示意圖

參考文獻

[1]鄭孝英.藥物生產(chǎn)潔凈技術(shù)[M].化學(xué)工業(yè)出版社，2009.

[2]許鐘麟.生物安全實驗室與生物安全柜[M].中國建筑工業(yè)出版社，2004.

作者簡介：徐月蘭（1981，1-），女，籍貫：江蘇·蘇州，職稱：講師，研究方向：自動化。endprint

摘 要：激光塵埃粒子計數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器，文章講述的是光散射激光塵埃粒子計數(shù)器原理與調(diào)試方法以及粒子標定過程。從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。

關(guān)鍵詞：光散射；當(dāng)量直徑；粒子標定

1 概述

目前激光塵埃粒子計數(shù)器的用戶越來越多，激光塵埃粒子計數(shù)器廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、精密機械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，對各種潔凈等級的工作臺、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級別進行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。激光粒子塵埃計數(shù)器是用來測量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器，從而為空氣潔凈度的評定提供依據(jù)。常見的激光粒子塵埃粒子計數(shù)器是光散射式（DAPC）的，測量粒徑范圍0.1-10um，此外還有凝聚核式的激光粒子塵埃計數(shù)器（CNC），可測量尺寸更小的塵埃粒子。文章介紹的是光散射激光塵埃粒子計數(shù)器。

2 激光塵埃粒子計數(shù)器的工作原理

激光塵埃粒子計數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并放大，然后進行數(shù)字信號處理，通過與標準粒子信號進行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來?？諝庵械奈⒘Ｔ诠獾恼丈湎聲l(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。

光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規(guī)律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，實際上，每個粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱，是一個很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理如圖1所示。

圖1 激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理圖

3 激光塵埃粒子技術(shù)器的主要參數(shù)

（1）粒徑通道 0.5、1、3、5、10、25um

（2）采樣周期 1秒-9999秒之間任選

（3）使用環(huán)境 溫度：10℃-35℃、濕度：20%-75%、

大氣壓力：86kPa-106kP

（4）允許最大采樣濃度 35000顆/L（塵埃顆粒粒徑不大于 0.5μm）

（5）光源及壽命 半導(dǎo)體激光光源，壽命大于 30000小時

4 激光粒子塵埃計數(shù)器的調(diào)試

4.1 光檢測器

光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。激光塵埃粒子計數(shù)器中最常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線性好、響應(yīng)時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準時應(yīng)注意安全。光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。

4.2 流量監(jiān)控

激光塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為50L/min或100L/min，進口儀器常標識為0.1cfm（立方英尺每分鐘）或1cfm，主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。大流量的采樣（100L/min）更能準確地反映空氣的潔凈狀況，但使最大采樣濃度降低。

4.3 控制電位的調(diào)節(jié)

控制電位調(diào)節(jié)需根據(jù)不同的儀器，不同的元器件所決定，因而雖然是同一種型號的儀器，但是調(diào)節(jié)電位也會有所不同；但是激光Laser電壓和風(fēng)機Pump電壓是固定的，因為這是按標準生產(chǎn)的，所以供給電壓也是穩(wěn)定的。

5 激光塵埃粒子計數(shù)器的粒子標定

5.1 粒子標定作用

標定，就是確定不同粒徑所對應(yīng)的通道數(shù)（或電壓值）。不同的設(shè)計方案，不同的采樣方式，不同的分辯、記錄電路都使這個值不同。即使是同型產(chǎn)品，也因各種原因造成各臺儀器之間的差異，所以必須進行標定。例如，傳感器信號輸出經(jīng)交流耦合產(chǎn)生的信號脈沖必然產(chǎn)生過沖和振鈴，可能會產(chǎn)生多余計數(shù)。而渦流、管壁的吸附作用也可能引起粒子被重復(fù)計數(shù)。儀器使用一段時間后，由于多種原因（如溫度變化、元件老化等）引起儀器的“漂移”，所以國家標準規(guī)定和國際慣例，任何粒子計數(shù)器使用一年后必須進行標定。標定光學(xué)粒子計數(shù)器的標準一般是用一種均一的聚苯乙烯微粒（PSL）納米微粒尺度標準，它是由NIST 可溯源的納米級計量法標定。1納米是1米的十億分之一長度，0.001微米（μm），或10個埃單位。納米微粒尺度標準通常是裝在一個滴瓶型小瓶包裝的水性懸浮液。PSL微粒濃度是通過綜合優(yōu)化了易分散性和膠體穩(wěn)定性而確定的。水性懸浮液介質(zhì)包含一定量的分散劑，有助于防止粒子結(jié)塊或在粒子計數(shù)器表面的流動。PSL微球的密度是1.05g/cm3，折光系數(shù)為1.59@589nm。

5.2 賽納威檢測標定方法

長期以來，國內(nèi)的粒子計數(shù)器的生產(chǎn)和計量標定都是依據(jù)國家標準局1985年頒布的塵埃粒子計數(shù)器性能試驗方法（GB/T6167.1～6167.2-85）和國家標準局1988年頒布的國家計量檢定規(guī)程（JJG547-88），這兩個標準與國際上通用的標準，例如，日本工業(yè)標準（JIS）和美國標準測試標準（ATSM），有相當(dāng)大的差距，使得中國粒子計數(shù)器的生產(chǎn)和研發(fā)也處于落后的狀態(tài)，鑒于國內(nèi)廣泛存在的對粒子計數(shù)器的計量標定和校準存在的問題，賽納威的林海博士近幾年在國內(nèi)粒子計數(shù)器領(lǐng)域大力倡導(dǎo)多通道信號分析儀為作為校準粒子計數(shù)器的檢定工具，目前國內(nèi)有關(guān)權(quán)威機構(gòu)都紛紛采用多通道信號分析儀作為必備的測試儀器。從而為中國在粒子計數(shù)器行業(yè)縮小與國際標準的差距創(chuàng)造了良好的條件。賽納威粒子計數(shù)器檢測標定示意圖如圖2所示。

6 結(jié)束語

隨著世界工業(yè)水平的不斷提升，對潔凈技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)品的需求也隨之水漲船高，而激光塵埃粒子計數(shù)器是目前廣泛應(yīng)用的一種潔凈度檢測儀器，具有十分巨大的現(xiàn)實意義和商業(yè)價值。

圖2賽納威粒子計數(shù)器檢測標定示意圖

參考文獻

[1]鄭孝英.藥物生產(chǎn)潔凈技術(shù)[M].化學(xué)工業(yè)出版社，2009.

[2]許鐘麟.生物安全實驗室與生物安全柜[M].中國建筑工業(yè)出版社，2004.

作者簡介：徐月蘭（1981，1-），女，籍貫：江蘇·蘇州，職稱：講師，研究方向：自動化。endprint