國家重大科學儀器設備開發(fā)專項 “跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目啟動

國家重大科學儀器設備開發(fā)專項 “跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目啟動

2015年3月20日，國家重大科學儀器設備開發(fā)專項“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目首次工作會議在上海市計量測試技術(shù)研究院舉行。國家質(zhì)檢總局科技司謝正文副處長主持會議，清華大學金國藩院士、同濟大學李同保院士、上海理工大學莊松林院士，國家質(zhì)檢總局科技司王越薇副司長、上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局陸敏總工程師、上海市科學技術(shù)委員會過浩敏處長等專家和領導出席會議。

“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)與應用”項目以我國近年多項創(chuàng)新技術(shù)及上海市計量測試技術(shù)研究院博士后科研成果為基礎，突破我國在微納米檢測技術(shù)領域檢測方法集成開發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，旨在攻克宏微聯(lián)動多軸驅(qū)動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測量與研發(fā)平臺，為我國國防、航空航天、半導體制造業(yè)、微機電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領域提供有效的納米計量技術(shù)的支持和保障，提升我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測量的技術(shù)水平。

項目于2014年10月獲得國家科技部批準立項。項目的牽頭單位為上海計測工程設備監(jiān)理有限公司，第一技術(shù)支撐單位為上海市計量測試技術(shù)研究院，16家參加單位涉及清華大學、上海交通大學、復旦大學、同濟大學等國內(nèi)頂級高校，以及中國工程物理研究院、國家納米中心等國內(nèi)頂尖研究機構(gòu)。其中，項目負責人由上海市計量測試技術(shù)研究院邵力教授級高級工程師擔任，技術(shù)負責人由李同保院士擔任，項目專家組組長由金國藩院士擔任，項目監(jiān)理組組長由莊松林院士擔任。會議報告了項目及任務實施方案，介紹了項目管理辦法，并由專家現(xiàn)場進行了技術(shù)點評和項目管理點評。 （本刊通訊員）