一種集成壓電式萬向沖擊傳感器及其壓電敏感元件的制造方法
2016-03-25 08:09:04
傳感器世界 2016年11期
申請?zhí)? 201510868073.7
【公開號】CN105352634A
【公開日】2016.02.24
【分類號】G01L1/16; G01L5/00
【申請日】2015.12.02
【申請人】中國工程物理研究院電子工程研究所
【發(fā)明人】趙寶林;劉顯學(xué);劉天國;陶逢剛
【摘 要】本發(fā)明公開了一種集成壓電式萬向沖擊傳感器及其壓電敏感元件的制造方法。本發(fā)明包括質(zhì)量塊和壓電敏感元件，壓電敏感元件上設(shè)置有Z軸軸向、Y軸軸向和X軸軸向壓力敏感輸出電極對和質(zhì)量塊焊接電極；質(zhì)量塊通過質(zhì)量塊焊接電極焊接在壓電敏感元件頂部；本發(fā)明采用新型的集成結(jié)構(gòu)模型，將Z軸壓縮式感應(yīng)輸出與X、Y軸剪切感應(yīng)輸出集成一體，通過后續(xù)的分區(qū)極化，實(shí)現(xiàn)了X、Y及Z軸的敏感輸出，技術(shù)得到了較大的革新改進(jìn)。
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