郭濤+楊棟

半導(dǎo)體制造業(yè)，一般主要包括原料芯片制造、光罩（光掩膜）制造、芯片加工、芯片封裝測(cè)試、液晶顯示器制造、彩色濾光片制造等。半導(dǎo)體制造類企業(yè)兼有資本密集和技術(shù)密集的特性，廠房設(shè)備造價(jià)高昂，主要生產(chǎn)區(qū)內(nèi)相互聯(lián)通、無防火間隔，生產(chǎn)設(shè)備精密，設(shè)備和存貨（包括在產(chǎn)品）敏感度高，廣泛使用易燃、具有腐蝕性和毒性的流體，恢復(fù)重置周期長(zhǎng)。

從事故風(fēng)險(xiǎn)來看，半導(dǎo)體制造企業(yè)最主要的事故風(fēng)險(xiǎn)是火災(zāi)爆炸、煙熏污染、危險(xiǎn)性液體、氣體泄漏、服務(wù)中斷（尤其是電力中斷）等。由于危險(xiǎn)集中，一旦發(fā)生火災(zāi)，其燃燒、污染、腐蝕、水漬及倒塌等破壞力將產(chǎn)生相乘效應(yīng)，使人身及設(shè)備遭受嚴(yán)重威脅。

為此，專注于半導(dǎo)體顯示技術(shù)制造的北京京東方顯示技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北京京東方”）創(chuàng)新了NSSC設(shè)備安全管理體系，保障北京京東方的設(shè)備運(yùn)行安全。

NSSC設(shè)備安全管理體系

通過NSSC設(shè)備安全認(rèn)證必須滿足的2個(gè)安全條件，即必要安全條件NSC（Necessary safety conditions）和充分安全條件SSC（Sufficient safety conditions）。

必要安全條件是指設(shè)備避免發(fā)生人身傷害、財(cái)產(chǎn)損失事件事故的必須的安全技術(shù)措施要求，是NSSC認(rèn)證的最基本安全條件。充分安全條件則是指設(shè)備避免發(fā)生人身傷害、財(cái)產(chǎn)損失事件事故的充分的保障管理措施要求，是NSSC認(rèn)證的安全保障條件。設(shè)備安全認(rèn)證的內(nèi)容包括水、電、氣體、化學(xué)品和設(shè)備防護(hù)5個(gè)方面。

在設(shè)備投產(chǎn)使用之前，設(shè)備擔(dān)當(dāng)部門負(fù)責(zé)組織、發(fā)出邀請(qǐng)，邀請(qǐng)動(dòng)力部門、安全部門和設(shè)備供應(yīng)商參與，分別進(jìn)行水、電、氣、化學(xué)品、設(shè)備防護(hù)等方面認(rèn)證，主要認(rèn)證依據(jù)為《NSSC設(shè)備認(rèn)證檢查表》，采取的方式為現(xiàn)場(chǎng)隱患排查、人員詢問、文件查詢等。對(duì)于認(rèn)證發(fā)現(xiàn)的問題，設(shè)備擔(dān)當(dāng)部門和設(shè)備供應(yīng)商立即組織整改。

設(shè)備用水認(rèn)證

以PECVD設(shè)備的設(shè)備安全認(rèn)證為例。PECVD是主要通過SiH4、NH3、N2、H2、 PH3等氣體在特定條件進(jìn)行反應(yīng)，從而在玻璃上形成金屬膜的設(shè)備，主要由清洗設(shè)備和反應(yīng)腔體組成。設(shè)備主要的危險(xiǎn)因素有電子特氣（廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等）泄漏、機(jī)械傷害、觸電、液體介質(zhì)泄漏等。

設(shè)備用水認(rèn)證分為管道認(rèn)證和設(shè)備認(rèn)證。管道認(rèn)證包括壓力表、管道支架、安全裝置自檢、管路敷設(shè)、易撞部位防護(hù)、管道外觀和管路標(biāo)識(shí)7項(xiàng)。壓力表認(rèn)證要求同一系統(tǒng)上的壓力表讀數(shù)應(yīng)顯示相同，壓力表應(yīng)指示靈敏、刻度清晰、鉛封完整，在檢驗(yàn)周期內(nèi)壓力表應(yīng)標(biāo)記正常壓力范圍并有點(diǎn)檢記錄。管道支架認(rèn)證要求管道的支承應(yīng)牢固可靠，無位移、沉降、傾斜、開裂等缺陷，螺栓連接牢靠，架空敷設(shè)管網(wǎng)下方為交通通道時(shí)，應(yīng)有相應(yīng)的跨高及懸掛醒目的警示標(biāo)志。

安全裝置自檢要求液體檢測(cè)裝置帶有故障自檢功能。管路敷設(shè)要求固定的穿管絕緣導(dǎo)線與水管最小間距為0.1 m，低壓電氣線路臨時(shí)線路與水管的距離應(yīng)大于0.3 m。管道易撞部位要求有硬質(zhì)保護(hù)措施。管道外觀要求無破損、無裂縫、無腐蝕。

設(shè)備認(rèn)證包括漏水檢測(cè)裝置、管路敷設(shè)、接地保護(hù)、液位計(jì)及電氣防護(hù)。設(shè)備管路接口要安裝液體泄漏檢測(cè)裝置，并有故障自檢功能。對(duì)于工作壓力大于1.0 MPa及在主管上起切斷作用的閥門，應(yīng)進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性能試驗(yàn)。液體部位有電氣裝置的要有接地保護(hù)，且接地要使用電阻值小于10 Ω的液位計(jì)，液位計(jì)應(yīng)能正確顯示液面，并且有最高和最低安全液位標(biāo)記。

設(shè)備用氣安全認(rèn)證

設(shè)備用氣安全認(rèn)證包括管路認(rèn)證和設(shè)備認(rèn)證兩部分。管路認(rèn)證要從設(shè)計(jì)/形式、閥門、防雷驗(yàn)證、管路標(biāo)識(shí)、管路支架5方面進(jìn)行認(rèn)證。對(duì)于具有自燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕性氣體的應(yīng)使用雙套管；特種氣體管道不得出現(xiàn)盲管及U型彎等死區(qū)；易撞區(qū)域管道應(yīng)有防撞保護(hù)裝置。氣體管道閥門應(yīng)采用隔膜閥，不得采用球閥旋塞閥。具有易燃易爆介質(zhì)的金屬管道需要有防雷接地及跨接線設(shè)施。管路應(yīng)以不同顏色、字體標(biāo)出氣體的名稱、危險(xiǎn)特性、流向、流量標(biāo)識(shí)、介質(zhì)標(biāo)識(shí)。管道的支撐應(yīng)牢固可靠，無位移、沉降、傾斜、開裂等缺陷，螺栓連接可靠。

設(shè)備認(rèn)證包括監(jiān)測(cè)認(rèn)證、安全聯(lián)鎖、安全附件、現(xiàn)場(chǎng)文件及應(yīng)急認(rèn)證。設(shè)備接口處、閥門處等有可能發(fā)生氣體泄漏及易積聚的部分要有檢測(cè)裝置且區(qū)域密封。設(shè)備與氣體泄漏檢測(cè)裝置都應(yīng)安裝氣體泄漏聯(lián)動(dòng)裝置，且聯(lián)動(dòng)裝置應(yīng)設(shè)置單獨(dú)回路。壓力表、流量表表盤需標(biāo)出最大壓力/流量值，且建立人員點(diǎn)檢制度（包括點(diǎn)檢日期、點(diǎn)檢人員、點(diǎn)檢狀態(tài)、點(diǎn)檢周期等內(nèi)容）。

現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)粘貼設(shè)備相關(guān)文件，如設(shè)備安全操作規(guī)程、聯(lián)鎖裝置點(diǎn)檢表、五大安全禁令（嚴(yán)禁違章指揮違章作業(yè)，嚴(yán)禁自動(dòng)模式下維修設(shè)備，嚴(yán)禁人體處于設(shè)備內(nèi)操控設(shè)備，嚴(yán)禁觸摸或操作非本崗位的設(shè)備設(shè)施，嚴(yán)禁擅自屏蔽或解除安全裝置、聯(lián)鎖裝置）等。應(yīng)急救援物資應(yīng)存放在應(yīng)急救援器材專用柜或指定地點(diǎn)。應(yīng)急器材應(yīng)包括A級(jí)防化服、防化服、防火服、安全眼鏡、SCBA、吸酸棉、防酸堿手套、橡膠手套等。

設(shè)備用電及防護(hù)認(rèn)證

設(shè)備的用電認(rèn)證需對(duì)線路和電機(jī)進(jìn)行認(rèn)證。電氣設(shè)備應(yīng)配有額定漏電動(dòng)作電流不超過30 mA的分級(jí)漏電保護(hù)器。配電箱和開關(guān)箱的進(jìn)、出線口應(yīng)配置固定線卡，進(jìn)出線應(yīng)加絕緣護(hù)套并成束卡固在箱體上，不得與箱體直接接觸，進(jìn)、出線口均做封堵、防磨損保護(hù)以及線路包裹和防塵保護(hù)。

設(shè)備防護(hù)認(rèn)證要求設(shè)備上的移動(dòng)部件采用硬隔離措施，孔洞采用封堵措施。對(duì)于高于2 m的運(yùn)輸線應(yīng)有牢固的防護(hù)罩（網(wǎng)），低于2 m的運(yùn)輸線起落段應(yīng)加設(shè)高1.05 m的護(hù)欄；高于1.5 m梯臺(tái)加裝100×2 mm的踢腳板。設(shè)備啟用時(shí)，其現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)噪聲應(yīng)小于85 dB（A）。開關(guān)門上有移動(dòng)部件的需安裝聯(lián)鎖裝置，并要求員工不得擅自解除聯(lián)鎖裝置。聯(lián)鎖裝置的檢查表應(yīng)在現(xiàn)場(chǎng)張貼，其中包括聯(lián)鎖裝置功能是否有效、外觀是否完好、點(diǎn)檢人、點(diǎn)檢時(shí)間等信息。

設(shè)備標(biāo)識(shí)與管理認(rèn)證要求

除上述反應(yīng)設(shè)備本質(zhì)安全的必要安全條件之外，在設(shè)備的管理方面，即充分安全條件也需要進(jìn)行認(rèn)證。安全標(biāo)識(shí)必須進(jìn)行漢化，且應(yīng)設(shè)在與安全有關(guān)的醒目位置，并使員工看見后，有足夠的時(shí)間來注意它所表示的內(nèi)容。多個(gè)標(biāo)識(shí)在一起設(shè)置時(shí)，應(yīng)按警告、禁止、指令、提示類型的順序，前左后右、前上后下排列。

設(shè)備存在聯(lián)鎖裝置和門的地方應(yīng)張貼五大安全禁令；設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)張貼安全責(zé)任卡，明確設(shè)備責(zé)任擔(dān)當(dāng)及聯(lián)系方式；設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)張貼運(yùn)行狀態(tài)指示牌，可指示運(yùn)行/維修狀態(tài)；設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)張貼安全操作規(guī)程、作業(yè)指導(dǎo)書，明確操作標(biāo)準(zhǔn)流程、注意事項(xiàng)及設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)因素；設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)張貼安全聯(lián)鎖裝置點(diǎn)檢表及漏液檢測(cè)裝置點(diǎn)檢表，確保設(shè)備安全裝置有效。

通過上述認(rèn)證流程，本次PECVD設(shè)備認(rèn)證主要發(fā)現(xiàn)的問題為部分氣體和液體管路缺乏介質(zhì)和流向標(biāo)識(shí)，部分安全標(biāo)識(shí)未進(jìn)行漢化，設(shè)備高臺(tái)缺失踢腳板。

關(guān)于設(shè)備認(rèn)證發(fā)現(xiàn)的問題，安全部門制作完成設(shè)備認(rèn)證隱患排查報(bào)告并發(fā)送給設(shè)備擔(dān)當(dāng)，上傳至公司隱患整改平臺(tái)。在隱患整改完成后，動(dòng)力部門水、電、氣相應(yīng)擔(dān)當(dāng)在各自相擔(dān)當(dāng)?shù)恼J(rèn)證檢查表上簽字；同時(shí)設(shè)備部門、設(shè)備供應(yīng)商按照《設(shè)備安全認(rèn)證所需資料清單》（見表1）提供NSSC認(rèn)證所需資料，最后經(jīng)確認(rèn)隱患整改完成。資料備案完成，安全部門在認(rèn)證表上簽字并分發(fā)設(shè)備安全認(rèn)證卡。

編輯 畢文婷