彭萍+高廣修

【摘 要】彩色濾光片（CF）是液晶顯示器的重要組成原件，它直接影響著液晶顯示技術(shù)的發(fā)展情況，能夠降低液晶顯示器的制造成本。本文主要介紹了彩色濾光片的生產(chǎn)流程，生產(chǎn)過程中的修補(bǔ)工藝以及如何提高彩色濾光片的修補(bǔ)良率，通過這三方面來提高彩色濾光片的品質(zhì)良率。

【關(guān)鍵詞】彩色濾光片（CF）；修補(bǔ)工藝；修補(bǔ)良率；自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)（AOI）

0 引言

彩色濾光片是液晶顯示器的重要組成原件，它直接影響著液晶顯示技術(shù)的發(fā)展情況，能夠降低液晶顯示器的制造成本。而在彩色濾光片的制造中會(huì)出現(xiàn)一些微觀的缺陷，影響CF的品質(zhì)良率以及客戶的滿意度，所以我們必須在生產(chǎn)過程中對(duì)這些微觀缺陷進(jìn)行修補(bǔ)，提高修補(bǔ)良率，從而提高CF品質(zhì)良率。

1 彩色濾光片的生產(chǎn)流程

一般的彩色濾光片生產(chǎn)過程分為BM，R，G，B，ITO，PS等六道制程工序，每一道制程工序中都包含有相應(yīng)的微觀缺陷檢查機(jī)臺(tái)（自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)，簡稱AOI），檢查完畢會(huì)對(duì)基板進(jìn)行初步判定，判定為RP等級(jí)的則需去對(duì)應(yīng)的修補(bǔ)機(jī)臺(tái)進(jìn)行修補(bǔ)。具體流程如下圖：

2 彩色濾光片的缺陷修補(bǔ)

在彩色濾光片的BM或者RGB色層工藝完成以及PS工藝完成后都有AOI全檢的工序，在檢查中發(fā)現(xiàn)有異常的彩色濾光片就會(huì)送到修補(bǔ)工藝進(jìn)行修補(bǔ)。

修補(bǔ)工藝分為三個(gè)制程后的修補(bǔ)，每道制程后的修補(bǔ)機(jī)臺(tái)功能也不一樣，分別是研磨機(jī)臺(tái)（PS制程后修補(bǔ)），研磨加laser機(jī)臺(tái)（BM制程后修補(bǔ)）以及復(fù)合機(jī)臺(tái)（研磨+laser+ink，RGB制程后修補(bǔ)）。

2.1 缺陷分類

在彩色濾光片的制作過程中，由于光阻材料的不穩(wěn)定性，可能會(huì)有光阻膠化現(xiàn)象，而產(chǎn)生較大的顆粒突起；生產(chǎn)環(huán)境中的異物，也可能使光阻產(chǎn)生較大的顆粒突起，這兩種因光阻材料或異物造成的突起缺陷，稱作黑缺陷（Black defect）。

如果光阻涂布之前就有異物存在，在曝光、顯影之后，需留下的光阻隨著異物的剝落而產(chǎn)生空白區(qū)域；或者由于光阻本身和玻璃基板的附著力不佳，也可能產(chǎn)生空白區(qū)域，這種在彩色濾光片中產(chǎn)生的空白區(qū)域，稱作白缺陷（White defect）。白缺陷也有可能是彩色畫素相比較鄰近的彩色畫素，顏色偏淡或偏白。

2.2 缺陷修補(bǔ)方法

對(duì)于彩色濾光片的修補(bǔ)主要是研磨和修補(bǔ)兩種，研磨是指對(duì)于異常凸起部分進(jìn)行研磨將它磨平，修補(bǔ)是指對(duì)于多出部分或者particle進(jìn)行先laser去除再用ink補(bǔ)的工藝。

修補(bǔ)的原理即為在AOI發(fā)現(xiàn)異常的位置參數(shù)會(huì)通過相應(yīng)服務(wù)器傳輸至修補(bǔ)機(jī)臺(tái)，然后由人為去判斷缺陷要通過哪種方法進(jìn)行修補(bǔ)。

黑缺陷的修補(bǔ)方法包括研磨和修補(bǔ)（Laser+ink）。對(duì)面積較小的突起缺陷進(jìn)行研磨，即將高度研磨至標(biāo)準(zhǔn)（具體以客戶要求為準(zhǔn)）以下；對(duì)于面積較大的黑缺陷，則采用修補(bǔ)，由設(shè)備的激光功能去掉異常部分，再由ink針找到這個(gè)位置并用相應(yīng)的墨水涂上此空缺，再用UV進(jìn)行烘烤，最后檢查修補(bǔ)后的高度以及透過光狀態(tài)。

白缺陷的修補(bǔ)方法就是在空白區(qū)域先進(jìn)行l(wèi)aser（避免空白區(qū)有其他透明物質(zhì)導(dǎo)致ink無法正常上色），再用ink針涂上相應(yīng)的墨水，最后UV，檢查高度與透過狀況。

3 提高彩色濾光片的修補(bǔ)良率

由于彩色濾光片占LCD成本的比例很高（20-30%），因此彩色濾光片生產(chǎn)過程中的修補(bǔ)良率就顯得非常重要，那么修補(bǔ)過程中就必須遵循相應(yīng)的修補(bǔ)規(guī)格以及判定規(guī)格。而修補(bǔ)規(guī)格和判定規(guī)格是LCD廠與彩色濾光片廠彼此討論與配合的項(xiàng)目，沒有一次定死，必須在長時(shí)間的配合中不斷修正，以達(dá)到雙方都可以接受的范圍。

既然修補(bǔ)工藝在彩色濾光片的生產(chǎn)中至關(guān)重要，提高修補(bǔ)良率就可以相應(yīng)的提高彩色濾光片的品質(zhì)良率。

3.1 減少漏修，誤修

因修補(bǔ)機(jī)臺(tái)為半自動(dòng)機(jī)臺(tái)，所以有專門的修補(bǔ)人員進(jìn)行修補(bǔ)，而人為工作必然存在失誤，漏修誤修就避免不了。

首先在修補(bǔ)過程中，熟悉每種產(chǎn)品的修補(bǔ)規(guī)格和判定規(guī)格是十分重要的，對(duì)于熟悉度，可以采取隔段時(shí)間做一次水平測試；其次人力因素是生產(chǎn)力眾多要素中最為活躍的，每一個(gè)人的工作水平和完善程度都會(huì)對(duì)他人的工作和產(chǎn)品產(chǎn)生影響，所以在工作中需要合理的劃分職能，使得每一位員工具備相應(yīng)的知識(shí)、經(jīng)驗(yàn)和技能。

3.2 實(shí)施返修

生產(chǎn)過程中，AOI機(jī)臺(tái)對(duì)基板內(nèi)缺陷的等級(jí)判定以及以上提到的漏修誤修，都有可能對(duì)修補(bǔ)良率產(chǎn)生影響，進(jìn)而影響彩色濾光片的良率以及客戶的滿意度。

在PS后修補(bǔ)中，發(fā)現(xiàn)有前面制程AOI未檢出的，或者前面修補(bǔ)制程漏修的，我們可以相應(yīng)的實(shí)施返修。將這些基板返回到RGB后修補(bǔ)機(jī)臺(tái)，在不影響出貨規(guī)格的前提下，進(jìn)行研磨和修補(bǔ)，返修完后及時(shí)跳回至相應(yīng)的站點(diǎn)，避免出現(xiàn)制程重復(fù)生產(chǎn)等質(zhì)量事故。

可以進(jìn)行返修的缺陷一般指的就是面積較小但又超過判定規(guī)格（需要判定缺陷NG）的白缺。在返修過程中需注意，因已鍍ITO膜，所以在ink修補(bǔ)前不能進(jìn)行大面積laser動(dòng)作，以免將ITO膜打穿造成pinhole，反而將本可以O(shè)K的缺陷變成NG。

該返修作業(yè)，經(jīng)實(shí)踐檢驗(yàn)，簡單有效，大大的減少的修補(bǔ)的NG數(shù)量，提高了修補(bǔ)良率，并提高了彩色濾光片的品質(zhì)良率。

4 結(jié)語

要提升彩色濾光片的品質(zhì)良率，必須從知道彩色濾光片的生產(chǎn)流程、熟悉彩色濾光片的修補(bǔ)工藝、提高彩色濾光片的修補(bǔ)良率等方面著手。雖然提高彩色濾光片的良率不僅僅靠修補(bǔ)，但修補(bǔ)工藝是絕對(duì)不可忽視的。

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[責(zé)任編輯：田吉捷]