孫椰望 楊秋娟 曹 也 劉佳慧 鄭中鵬 劉 彪 李啟明

(①北京理工大學(xué)精密微小型制造技術(shù)研究所，北京100081；②北京理工(滕州)研究院有限公司，山東滕州277500；③山東華頌北理智能科技有限公司，山東棗莊277500；④北京北特圣迪科技發(fā)展有限公司，北京100028；⑤山東魯南機(jī)床有限公司，山東 滕州277500)

超精密微小型加工技術(shù)關(guān)系到制造業(yè)的產(chǎn)品高質(zhì) 量、高價(jià)值和重大社會經(jīng)濟(jì)效益,也是微細(xì)加工和納米加工技術(shù)發(fā)展的基石[1].隨著超精密復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)零部件在飛行器精密設(shè)備、陀螺儀、導(dǎo)航制導(dǎo)儀表、光學(xué)觀瞄儀表和醫(yī)療精密器件的快速廣泛應(yīng)用,這些微小型精密零件的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及其加工要求必須依靠完整復(fù)合加工技術(shù)實(shí)現(xiàn),避免出現(xiàn)重復(fù)夾緊形變、加工損傷和精度超差.超精密微小型復(fù)合加工技術(shù)已經(jīng)成為衡量一個(gè)國家制造業(yè)水平和能力的標(biāo)志,并且超精密微小型復(fù)合加工技術(shù)已經(jīng)處于世界數(shù)控機(jī)床加工制造技術(shù)金字塔的塔尖制高點(diǎn)[2-3].目前,國際領(lǐng)先的超精密加工技術(shù)主要集中在瑞士、德國、美國、英國和日本等國家,并且這些技術(shù)受到嚴(yán)格封鎖；同時(shí),國內(nèi)超精密微細(xì)復(fù)雜結(jié)構(gòu)零部件只能依靠多工序-單工位的加工工藝,使得微細(xì)結(jié)構(gòu)工件重復(fù)夾緊定位誤差大、加工精度低、廢品率很高,甚至存在部分設(shè)計(jì)優(yōu)越的關(guān)鍵零部件無法加工完成,這些現(xiàn)狀嚴(yán)重制約了國家高精尖技術(shù)裝備的發(fā)展.因此,超精密微小型車銑復(fù)合加工技術(shù)成為微小型精密零件和高精尖儀器裝備制造的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),突破超精密車銑復(fù)合加工技術(shù)成為發(fā)展國內(nèi)高端裝備的不可或缺的途徑.然而,超精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)受到結(jié)構(gòu)、材料、界面狀態(tài)和環(huán)境變動(dòng)等因素影響,系統(tǒng)要穩(wěn)定地達(dá)到亞微米乃至納米尺度的運(yùn)動(dòng)精度是極為困難的,并且尚未有公認(rèn)的可定量指導(dǎo)精度控制的模型與方法.所以,為突破超精密微小型復(fù)合加工系統(tǒng)的精度穩(wěn)定性技術(shù)難題,促使國家精密裝備制造技術(shù)及其相關(guān)重大戰(zhàn)略行業(yè)技術(shù)的跨越式發(fā)展,必須開展超精密微小型車銑復(fù)合加工機(jī)床精度穩(wěn)定性影響機(jī)理和非線性變動(dòng)規(guī)律研究.

1 超精密機(jī)床結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)研究

超精密機(jī)床加工技術(shù)與傳統(tǒng)加工技術(shù)存在精度量級巨大差異而引入的設(shè)計(jì)方法、材料性能、結(jié)構(gòu)微觀變化、激勵(lì)與環(huán)境敏感性的巨大差異,研究表明超精密加工精度穩(wěn)定性是由超精密機(jī)床的結(jié)構(gòu)和運(yùn)動(dòng)特性、刀具、切削加工參數(shù)和環(huán)境條件等多因素綜合影響的結(jié)果,所以,超精密機(jī)床及其加工技術(shù)是一種復(fù)雜的系統(tǒng)工程,更是目前國際加工技術(shù)研究的重點(diǎn)和難點(diǎn)[1-4].因?yàn)闄C(jī)床的微小型化有利于減小運(yùn)動(dòng)部件慣性,從而易于實(shí)現(xiàn)高速加工和高精度、高剛度的運(yùn)動(dòng)控制,所以在超精密機(jī)床的研制方面從20世紀(jì)90年代開始日本和歐美等國家逐漸廣泛地開展了超精密微小型機(jī)床技術(shù)研究,并以提高加工精度為出發(fā)點(diǎn),研制了多種用于微小工件精密切削加工的精密/超精密小型機(jī)床[5].其中,日本通產(chǎn)省工業(yè)技術(shù)院1996年研發(fā)了世界上第1臺微型化的機(jī)床樣機(jī),1999年設(shè)計(jì)制作了世界上第1臺桌面型微型工廠樣機(jī),2000年又設(shè)計(jì)制作了第2代微型工廠樣機(jī).美國國家科學(xué)基金會2001年資助研發(fā)了兩臺微小型機(jī)床樣機(jī),用于探索加工中間尺度的微小型工件.瑞士寶美技術(shù)有限公司2003年至2010年先后研制出第一代銑車復(fù)合中心S-192FT、第二代銑車復(fù)合中心S-191FT和第三代超精密微小型車銑復(fù)合加工機(jī)床,S-191實(shí)現(xiàn)了5 000 h微米級精密穩(wěn)定性加工和高效率的技術(shù)指標(biāo).瑞士威力銘采用熱膨脹動(dòng)態(tài)補(bǔ)償技術(shù)研制了微精密車銑復(fù)合加工機(jī)床508MT和518MT,銑削主軸達(dá)到 42 000 r/min[5-6].2009年美國加利福尼亞大學(xué)采用空氣軸承主軸和多通道冷卻系統(tǒng)研制了超精密微小型5軸機(jī)床,實(shí)現(xiàn)了PCD 刀具、銑削主軸12 000 r/min、進(jìn)給0.1 μm/齒、切深0.2 μm、表面粗糙度10 nm[7].2010年,英國布魯內(nèi)爾大學(xué)利用動(dòng)態(tài)建模設(shè)計(jì)計(jì)算與動(dòng)態(tài)控制相結(jié)合的方式研制了5軸超精密微小型銑床,試驗(yàn)獲得了表面粗糙度10 nm直線度0.28 mm/40 mm的納米級加工效果[8].國內(nèi)精密/超精密微小型機(jī)床的研發(fā)主要以北京理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、南京航空航天大學(xué)、上海交通大學(xué)和西安交通大學(xué)等單位為領(lǐng)銜代表,其中北京理工大學(xué)“國防科技工業(yè)微細(xì)結(jié)構(gòu)加工技術(shù)研究應(yīng)用中心”從2003年至2016年先后研發(fā)四代精密/超精密微小型車銑復(fù)合加工機(jī)床；第三代機(jī)床各軸重復(fù)定位精度可達(dá)2 mm,解決了微小型引信結(jié)構(gòu)件的單件、小批量加工的技術(shù)難題和能力問題,成為引信微細(xì)切削試制生產(chǎn)線的主要設(shè)備,填補(bǔ)了國內(nèi)微小型車銑復(fù)合加工領(lǐng)域的空白；第四代“超精密微小型車銑復(fù)合加工機(jī)床”采用液體靜壓軸承車削主軸、高速陶瓷球軸承銑削主軸、高精度直驅(qū)B軸轉(zhuǎn)臺和高精度二維壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺、空氣彈簧-大理石組合的隔震床身和“Power PMAC”的開放模式宏微結(jié)合誤差補(bǔ)償技術(shù)實(shí)現(xiàn)了宏微誤差補(bǔ)償具備主軸徑向跳動(dòng)40 nm、進(jìn)給運(yùn)動(dòng)精度50 nm的性能,試驗(yàn)車削加工表面粗糙度達(dá)到0.1 μm[6,9].

2 超精密加工精度穩(wěn)定性研究

然而,超精密微小型加工精度穩(wěn)定性問題一直難以解決,Cheng K和Shore P論述超精密微小型加工整體技術(shù)體系應(yīng)該包括超精密微小型機(jī)床設(shè)計(jì)原理與方法、結(jié)構(gòu)優(yōu)化、工藝優(yōu)化、驅(qū)動(dòng)與運(yùn)動(dòng)部件性能、主軸系統(tǒng)穩(wěn)定性、機(jī)床動(dòng)態(tài)性能、結(jié)構(gòu)的尺度變化、檢測和控制技術(shù)等[1].代表歐洲制造業(yè)研發(fā)實(shí)力的德國弗朗霍夫生產(chǎn)技術(shù)研究所(fraunhofer institute for production technology,IPT)Brecher C.和Utsch P.認(rèn)為超精密加工機(jī)床精度穩(wěn)定性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)在于結(jié)構(gòu)的微小型精益設(shè)計(jì),從而減小機(jī)床的質(zhì)量慣性、熱誤差影響和控制誤差；并基于提出的精簡化設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)制造了加工范圍在100 mm×100 mm×50 mm的三軸聯(lián)動(dòng)超精密銑削微小型機(jī)床和五軸聯(lián)動(dòng)超精密磨削微小型磨床,實(shí)現(xiàn)了25 m/s2加速度脈沖運(yùn)動(dòng)情況下的精密微小型工件復(fù)合加工技術(shù)要求[10].梁迎春團(tuán)隊(duì)認(rèn)為超精密機(jī)床的設(shè)計(jì)制造與加工依賴于物理、化學(xué)、力學(xué)和材料科學(xué)等多學(xué)科的交叉技術(shù),研究重點(diǎn)在于超精密機(jī)床的多性能檢測理論與方法、復(fù)雜物理場下多因素檢測理論與方法和超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)控制方法與動(dòng)態(tài)復(fù)合誤差補(bǔ)償技術(shù)[11].趙萬華認(rèn)為精密切削加工復(fù)雜系統(tǒng)的研究關(guān)鍵在于加工精度的保持性,精度保持性又因機(jī)床加工系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不同而差異明顯,分為3個(gè)部分:主軸精度、幾何精度和運(yùn)動(dòng)精度[12],主軸精度作為一項(xiàng)獨(dú)立的精度指標(biāo),除主軸精度外,軸線的幾何精度是機(jī)床精度的基礎(chǔ),而機(jī)床運(yùn)動(dòng)時(shí)的瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)精度影響著機(jī)床的加工精度；并且提出了通過數(shù)控指令與機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸實(shí)際位移的符合程度來評價(jià)機(jī)床加工系統(tǒng)精度的評價(jià)方法[13]；同時(shí),機(jī)床運(yùn)動(dòng)精度的評價(jià)應(yīng)該包含穩(wěn)態(tài)誤差、瞬態(tài)誤差和勻速波動(dòng)誤差3個(gè)方面,并提出根據(jù)不同機(jī)床結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工藝要求進(jìn)行精度綜合評價(jià)的方法,該運(yùn)動(dòng)精度評價(jià)方法能夠反映數(shù)控機(jī)床在設(shè)計(jì)制造以及加工過程中的核心技術(shù),研究揭示了高速數(shù)控機(jī)床和超精密機(jī)床運(yùn)動(dòng)精度的顯著機(jī)電耦合特征[13-14].由于機(jī)床靜態(tài)精度和動(dòng)態(tài)精度的特點(diǎn),應(yīng)該從設(shè)計(jì)和制造兩個(gè)階段保證機(jī)床的精度穩(wěn)定性設(shè)計(jì)階段注重非運(yùn)動(dòng)關(guān)鍵部件的結(jié)合面以及緊固件的優(yōu)化問題,制造階段注重內(nèi)應(yīng)力、殘余應(yīng)力和蠕變對精密靜態(tài)結(jié)構(gòu)件和運(yùn)動(dòng)件的最小化影響問題,并注重運(yùn)動(dòng)部件磨損引起的運(yùn)動(dòng)精度下降問題[15].李天箭認(rèn)為超精密數(shù)控機(jī)床加工系統(tǒng)穩(wěn)定性應(yīng)該采用多尺度集成設(shè)計(jì)方法,通過對5軸超精密銑床系統(tǒng)的剛度、精度和熱特性等因素的研究,分析了環(huán)境條件、宏微觀結(jié)構(gòu)、表面微結(jié)構(gòu)等多尺度參數(shù)對氣浮導(dǎo)軌剛度的綜合作用,獲得各尺度設(shè)計(jì)參數(shù)對系統(tǒng)剛度的影響規(guī)律及權(quán)重[16].

為了揭示機(jī)床超精密加工系統(tǒng)精度的穩(wěn)定性特點(diǎn),主要依靠超精密切削加工實(shí)驗(yàn)進(jìn)行研究.張之敬和金鑫等以中間尺度的微小型構(gòu)件加工為對象,以傳統(tǒng)制造技術(shù)為基礎(chǔ),提出精密微小型制造技術(shù)概念和主要內(nèi)涵,實(shí)現(xiàn)了高速精密微小型數(shù)控車銑復(fù)合加工技術(shù)應(yīng)用,研究在微小型車銑復(fù)合加工中心上進(jìn)行微小型工件完整性加工的工藝技術(shù)及特性；并針對超薄、異型微小型金屬構(gòu)件的制造,提出了微小型制造工藝、基于制造特征的理論建模方法和基于工藝匹配原則的計(jì)算機(jī)顯微檢測技術(shù)[17].Zong W.J.認(rèn)為超精密高效加工需要充分整合刀具、機(jī)床特性、切削工藝和控制技術(shù)等技術(shù),提出了納米級金剛石研磨工藝機(jī)理和微小型超精密研磨機(jī)床的整體優(yōu)化設(shè)計(jì)方案[18].Rahman M通過對多種微小型典型工件的微細(xì)車削、微細(xì)銑削和復(fù)合加工研究,論證了一種精密切削與傳統(tǒng)切削耦合微細(xì)加工的工藝方法[19].Wang Z.G.和Cheng X.采用主軸質(zhì)量平衡補(bǔ)償機(jī)理和直線電動(dòng)機(jī)中心驅(qū)動(dòng)技術(shù),利用空氣靜壓軸承研制了超精密微小型加工機(jī)床,揭示了質(zhì)量平衡與重心驅(qū)動(dòng)能夠有效抑制納米級切削振動(dòng),并且說明切削深度對納米級切削質(zhì)量有較大影響[7].劉冰冰研究了無偏微小型正交車銑加工的工藝參數(shù)和加工過程中理論切削力的修正模型,構(gòu)建了微細(xì)車銑加工的Z-A材料本構(gòu)模型,力致誤差模型并實(shí)現(xiàn)了正交車銑切削力的數(shù)值驗(yàn)證；并提出微小型車銑加工的重復(fù)裝夾、顫振、系統(tǒng)熱源和切削力致誤差容易造成微細(xì)加工精度的不穩(wěn)定[20].周磊分析了多種線性、非線性因素對微納米切削系統(tǒng)的影響,建立了微納米動(dòng)態(tài)切削系統(tǒng)集成模型和切削工藝參數(shù),構(gòu)建了三維表面數(shù)據(jù)辨識微納米車削過程刀具-工件相對振動(dòng)的方法；并采用改進(jìn)的PID控制算法有效補(bǔ)償了軌跡跟蹤過程中的相位滯后現(xiàn)象,但是微納米切削過程中復(fù)合動(dòng)態(tài)和非線性因素的數(shù)值模型構(gòu)建、切削穩(wěn)定性研究和動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性控制方法仍然困難[4].袁哲俊和謝大綱認(rèn)為超精密加工能獲得Ra0.02～0.002 μm的金屬鏡面以及1 nm厚度的切屑,所以超精密切削加工各種材料的極薄層物理、化學(xué)、力學(xué)性能和材料內(nèi)部性能常有很大差異,而這極薄的表層在摩擦磨損、物化性能和機(jī)械行為中起著主導(dǎo)作用[21].所以,超精密復(fù)合加工穩(wěn)定性存在獨(dú)特的特點(diǎn),其加工系統(tǒng)的力、熱、結(jié)構(gòu)蠕變、環(huán)境條件、誤差補(bǔ)償方法等因素對加工精度的影響將更具交叉性和敏感性.

3 超精密加工熱因素研究

諸多研究表明在上述超精密加工精度影響因素中,關(guān)鍵部件的熱穩(wěn)定性對超精密加工精度保持性具有較大影響,即便超精密機(jī)床設(shè)計(jì)采用熱穩(wěn)定最好的花崗巖基材,1℃的溫差也會導(dǎo)致1.66 μm/200 mm線性熱應(yīng)變[15,22-23].針對超精密機(jī)床熱穩(wěn)定性問題,梁迎春團(tuán)隊(duì)采用熱位移分解與消減法優(yōu)化設(shè)計(jì)了超精密機(jī)床的結(jié)構(gòu)部件,有效地消減了超精密機(jī)床部件熱誤差因素[23].Aggogeri F.提出了一種多功能材料耦合的空腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法,通過對比鑄鐵溜板和立柱,驗(yàn)證了新型結(jié)構(gòu)件的高剛性、低比重、高阻尼比、良好的熱穩(wěn)定性和靜動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性的特點(diǎn)[22].盧秉恒院士團(tuán)隊(duì)提出了采用因子分析方法選擇優(yōu)化精密裝備的熱誤差變量,針對權(quán)重較高的部分變量進(jìn)行熱分析,實(shí)現(xiàn)了在最少化溫控點(diǎn)方案下高精度壓印機(jī)壓印光刻套刻對準(zhǔn)精度[24].Creighton利用ANSYS建立了高速微銑床主軸的熱誤差補(bǔ)償模型,獲得了主軸熱變形引起的加工誤差較補(bǔ)償前減小了80%的明顯效果[25].Kim研究了主軸軸承的裝配公差和主軸支承結(jié)構(gòu)的熱變形對高速主軸系統(tǒng)熱特性的影響規(guī)律[26].方兵研究發(fā)現(xiàn)精密機(jī)床在工作過程產(chǎn)生大量的熱,造成機(jī)床復(fù)雜機(jī)械結(jié)構(gòu)的非均勻溫度場,致使零部件發(fā)生差異性的非線性熱變形；并提出了部件結(jié)合面熱阻對溫度場和精度的影響概念,通過機(jī)床主要結(jié)合面熱阻的情況研究,揭示了結(jié)合面熱阻對機(jī)床精度的影響[27].

4 超精密加工系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)蠕變研究

同時(shí),超精密機(jī)床熱問題受觀測尺度、取樣尺寸等因素的影響,并呈現(xiàn)多尺度特點(diǎn).李天箭構(gòu)建了超精密機(jī)床熱特性多尺度設(shè)計(jì)方法,有利于指導(dǎo)超精密機(jī)床時(shí)空多尺度熱分析和熱特性的優(yōu)化設(shè)計(jì),完成了超精密機(jī)床熱特性設(shè)計(jì)體系構(gòu)建,指導(dǎo)了超精密機(jī)床時(shí)空尺度的熱分析[16].Fu M.W.認(rèn)為微米級工件精密加工與傳統(tǒng)宏觀尺度精密加工精度和質(zhì)量的影響因素的本質(zhì)不同在于尺度差異,由于微米級的結(jié)構(gòu)量級引發(fā)了全新的加工界面、摩擦力熱、組份變化和微動(dòng)因素對超精密微小型加工的影響,超精密加工精度穩(wěn)定性的研究需要多學(xué)科的交叉應(yīng)用、數(shù)值計(jì)算與實(shí)驗(yàn)的耦合、多尺度建模及優(yōu)化設(shè)計(jì)[28].所以,溫度場和應(yīng)力場引起的結(jié)構(gòu)微觀和時(shí)域蠕變變化對超精密機(jī)床加工系統(tǒng)的精度穩(wěn)定性也具有較大影響.楊挺青認(rèn)為材料與結(jié)構(gòu)蠕變對精密設(shè)備穩(wěn)定性的影響是至關(guān)重要的問題,并且結(jié)構(gòu)蠕變問題已經(jīng)融入工程應(yīng)用,特別是在精密結(jié)構(gòu)件和薄層界面受到一定載荷下,由于結(jié)構(gòu)蠕變會造成結(jié)構(gòu)形變、應(yīng)力和位移,甚至結(jié)構(gòu)突然疲勞毀塌,對關(guān)鍵裝備制造會造成重大影響[29].王文瑞認(rèn)為蠕變對超精密精度和測量影響較大,基于高溫應(yīng)變柵絲蠕變測量系統(tǒng)和有限元蠕變數(shù)值計(jì)算,揭示了溫度、時(shí)間、應(yīng)力、彈性模量對應(yīng)變柵絲的蠕變影響規(guī)律,提出采用彈性模量小的高溫應(yīng)變柵絲快速測量精密應(yīng)變數(shù)據(jù)的方法,提高了測量精度[30].左正興團(tuán)隊(duì)對力、熱作用下發(fā)動(dòng)機(jī)精密件的結(jié)構(gòu)蠕變特性進(jìn)行了研究,揭示了在高溫載荷下的鋁合金結(jié)構(gòu)蠕變特點(diǎn)和疲勞行為特征,獲得了溫度、載荷等因素對鋁合金材料蠕變和壽命行為的影響規(guī)律,建立了結(jié)構(gòu)蠕變損傷與疲勞損傷非線性耦合的蠕變-疲勞壽命預(yù)測模型,進(jìn)行了活塞結(jié)構(gòu)在變工況載荷下的蠕變-疲勞分析與精度穩(wěn)定性研究[31-32].針對機(jī)床結(jié)構(gòu)蠕變精度的影響問題,吳嘉錕研究了螺栓緊固與蠕變對精密機(jī)床加工精度的影響,建立了多螺栓彈性相互作用模型和多螺栓蠕變松弛預(yù)緊力變化模型,通過實(shí)驗(yàn)研究揭示了螺栓間距和預(yù)緊力對螺栓彈性相互作用和殘余應(yīng)力的影響；并建立了螺栓常溫蠕變松動(dòng)時(shí)蠕變力變化規(guī)律,構(gòu)建了機(jī)床地腳螺栓蠕變模擬分析模型,量化分析了地腳螺栓長期螺變松馳對機(jī)床幾何精度的影響規(guī)律[33].

5 結(jié)語

綜上所述,超精密微小型車銑復(fù)合加工技術(shù)是復(fù)雜超精密微小型結(jié)構(gòu)件切削加工技術(shù)發(fā)展的主流方向,其加工系統(tǒng)的穩(wěn)定性主要包含力、熱、環(huán)境變動(dòng)所引起的機(jī)床精度微量時(shí)空變化；尤其是這些變化的影響機(jī)理、變動(dòng)規(guī)律均具有明顯的時(shí)間和三維尺度非線性特征.由于超精密加工精度非線性變動(dòng)規(guī)律尚無明確的定量結(jié)論,造成了超精密加工技術(shù)控制的瓶頸和突出的技術(shù)難點(diǎn),目前主要存在以下問題:

(1)超精密加工機(jī)床精度的力、熱響應(yīng)敏感,其復(fù)雜系統(tǒng)的材料差異性、部件界面精度誤差和運(yùn)動(dòng)時(shí)變性造成了諸多的非均勻應(yīng)力場和溫度場分布,并呈現(xiàn)精度非線性變化的特點(diǎn).

(2)切削過程的力-熱分布、振動(dòng)時(shí)變、摩擦磨損和環(huán)境變動(dòng)等因素對超精密加工系統(tǒng)精度的變動(dòng)影響以及靜、動(dòng)交替變動(dòng)狀態(tài)影響精度穩(wěn)定性的研究缺乏.

(3)關(guān)鍵裝配零部件和運(yùn)動(dòng)部件,其結(jié)合面的非均勻接觸造成的應(yīng)力、應(yīng)變非均勻分布和時(shí)域變化而導(dǎo)致的結(jié)構(gòu)蠕變及其精度不穩(wěn)定研究不足.

(4)鑒于機(jī)床精度誤差控制補(bǔ)償?shù)木窒扌?超精密機(jī)床設(shè)計(jì)應(yīng)該從結(jié)構(gòu)上最大程度降低整體結(jié)構(gòu)布局和關(guān)鍵部件結(jié)構(gòu)的形變,關(guān)鍵部件進(jìn)行撓性力矩優(yōu)化設(shè)計(jì),運(yùn)動(dòng)副行程進(jìn)行適應(yīng)性短行程設(shè)計(jì),并充分保證機(jī)床的亞微米級隔振和恒溫環(huán)境.