張文富 王旭 蔣遷 薛婕

摘 要：在現(xiàn)代液晶產(chǎn)品生產(chǎn)線上，基于YMS強大的運算能力、豐富的結(jié)果顯示功能，通過對一定時間內(nèi)單個樣本AOI檢測結(jié)果的重新計算，實現(xiàn)對Defect分布規(guī)律的監(jiān)控。為了能更好的起到監(jiān)控作用，豐富監(jiān)控結(jié)果，終端顯示從以下四個方面進行計算和輸出：（1）按照坐標(biāo)輸出缺陷水平；（2）按缺陷大小和類型輸出缺陷水平；（3）按來料Lot輸出缺陷水平；（4）按基板輸出缺陷水平。以上四個方面的數(shù)據(jù)監(jiān)控能夠及時發(fā)現(xiàn)異常來源，從而對產(chǎn)線的正常生產(chǎn)提供有力保障。此外，增加自動刷取和推送以及異常提示的設(shè)計，提高了監(jiān)控的便利性。

關(guān)鍵詞：良率管理系統(tǒng)；自動光學(xué)檢測；自動監(jiān)控

中圖分類號：TH865 文獻標(biāo)志碼：A 文章編號：2095-2945（2019）19-0104-03

Abstract： On the production line of modern liquid crystal products， based on the powerful computing power and rich result display function of YMS， this paper recalculates the AOI detection results of a single sample in a certain period of time， so that the monitoring of the distribution law of Defect is realized. In order to better play a monitoring role andenrich the monitoring results， the terminal display is calculated and output from the following four aspects： （1） according to the coordinate output defect level； （2） according to the defect size and type output defect level； （3） according to the incoming Lot output defect level； （4） according to the substrate output defect level. The data monitoring of the above four aspects can find the abnormal sources in time， so as to provide a strong guarantee for the normal production of the production line. In addition， the design of automatic brush and push as well as abnormal prompt are added to improve the convenience of monitoring.

Keywords： Yield Management System； Automatic Optical Inspection； Auto Monitoring

引言

YMS（Yield Management System），俗稱收益管理系統(tǒng)。在現(xiàn)代大型流水線上，通常用來監(jiān)測生產(chǎn)過程的工藝參數(shù)，監(jiān)測、測量結(jié)果。加上本身強大的計算能力，能夠提供豐富多樣的計算結(jié)果，從而有效地為減少錯誤、停機時間和時間浪費。本文在利用YMS系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，提出對AOI（Automatic Optical Inspection）檢測結(jié)果重新計算，通過在一定條件下的坐標(biāo)疊加，實現(xiàn)產(chǎn)品上Map合成后效果的監(jiān)控，從而能夠有效發(fā)現(xiàn)Defect的分布規(guī)律，進一步確認(rèn)到有無異常，快速發(fā)現(xiàn)問題點，提高分析問題的效率。

1 AOI的檢出結(jié)果

通常情況下，AOI都是基于光學(xué)原理，通過圖像分析技術(shù)，對單張基板拍照分析后得出結(jié)果。結(jié)果一般包含該檢測基板的Defect的種類、大小區(qū)別、坐標(biāo)的數(shù)字記錄，以及合成的Map圖，如表1和圖1所示。

通常情況下，監(jiān)控產(chǎn)品的Defect水平，基本都是某一類Defect總數(shù)隨時間的推移情況。這種監(jiān)控形式能夠有效監(jiān)控Defect的整體水平，水平的高低變化比較直觀。但是，實際情況往往是，在一些集中固定區(qū)域內(nèi)，不規(guī)則的出現(xiàn)某些Defect，而整體水平不會波動。意味著單純靠水平的高低，并不能發(fā)現(xiàn)這種異常的存在。如上，AOI的檢出結(jié)果有Map，但僅限于一個樣本一個Map，所以想通過現(xiàn)有單張樣本的Map去監(jiān)控，很難發(fā)現(xiàn)問題。

2 YMS的工作原理

YMS可以直接訪問數(shù)據(jù)庫中的各種數(shù)據(jù)，包括工藝設(shè)備的工藝參數(shù)、檢測設(shè)備的不良記錄、測量設(shè)備的工藝特性值。不同于單一的分析工具，YMS可以在以上數(shù)據(jù)中綜合分析結(jié)果，具體的YMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)來源如圖2所示。

如果使用YMS，情況就會變得容易得多。YMS可以讀到所有檢測結(jié)果，包括檢測的時間、坐標(biāo)和Defect信息。加上一定的邏輯計算，最終可以根據(jù)客戶的選擇，根據(jù)既定條件，去分析既定條件下，所有產(chǎn)品Map的合成圖。合成圖的監(jiān)控，意味著有效實現(xiàn)了對這類Defect水平不高，但分布規(guī)律明顯的不良的監(jiān)控。

3 YMS進行Map監(jiān)控的設(shè)計

3.1 終端顯示

一條成熟的流水線，往往具備不同型號產(chǎn)品的流片能力。所以在設(shè)計監(jiān)控時，有必要考慮產(chǎn)品的差異性。如圖1所示，有4個分區(qū)，但實際情況可能是多樣化的，幾百甚是幾千都是可能存在的。

實際上生產(chǎn)線不同，所需要原材的種類不盡相同。相同生產(chǎn)線，基材大小往往是一致的。所以在考慮Map監(jiān)控時，甚至可以不考慮分區(qū)。但考慮到產(chǎn)品不一致，分區(qū)也不一致，為了能更好的起到監(jiān)控作用，豐富監(jiān)控結(jié)果，可以考慮整體監(jiān)控，分別計算的監(jiān)控方式，如圖3所示。

（1）按照坐標(biāo)輸出缺陷水平：顯示當(dāng)線各坐標(biāo)處缺陷水平，提示是否有缺陷聚集，從而發(fā)現(xiàn)異常。

（2）按缺陷大小和類型輸出缺陷水平：顯示當(dāng)前各種缺陷的水平，提示是否有大缺陷超標(biāo)，從而發(fā)現(xiàn)異常。

（3）按來料Lot輸出缺陷水平：顯示當(dāng)前來料各Lot缺陷水平，提示是否有異常原材，從而發(fā)現(xiàn)異常。

（4）按基板輸出缺陷水平：顯示當(dāng)前各基板缺陷水平，提示是否有異?；澹瑥亩l(fā)現(xiàn)異常。

3.2 檢索條件的甄別

考慮到實際的使用需求，必須包含的項目有時間篩選、產(chǎn)品篩選、Defect種類的篩選。

可以考慮如圖4的方式。

3.3 人性化自動刷新的設(shè)計

設(shè)計的初衷是監(jiān)控，就必須考慮到便利性和自動化。所以設(shè)計出自動刷新的選項，只要設(shè)定好條件，就能按照設(shè)定的條件定時刷新。

3.4 Alarm自動提示的設(shè)計

自動模式下，出現(xiàn)特定異常時，例如局部區(qū)域集中、突然數(shù)量高發(fā)等情況，彈出Alram 框，提示人員及時確認(rèn)，如圖6所示。

4 結(jié)束語

本文基于YMS（yield Management System）的便利性和計算能力，利用AOI（Automatic Optical Inspection）的檢出結(jié)果，設(shè)計了一種有效監(jiān)控區(qū)域性不良的監(jiān)控方案。該方案能補充傳統(tǒng)監(jiān)控，有效發(fā)現(xiàn)區(qū)域性不良，從而對產(chǎn)線的生產(chǎn)提供有力證據(jù)，從而減少錯誤、停機時間和時間浪費的發(fā)生。同時，自動化刷新和異常提示的設(shè)計，又增加了監(jiān)控的便利性。

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