荷蘭開發(fā)出用于納米級(jí)傳感的超大帶寬集成光學(xué)傳感器

荷蘭埃因霍溫理工大學(xué)開發(fā)出一種新型光學(xué)傳感器，可提高測(cè)量的分辨率，并有助于實(shí)現(xiàn)包含激光器和片上傳感平臺(tái)的檢測(cè)器在內(nèi)的完全集成、緊湊的光學(xué)傳感器。該傳感器通過光刻工藝制作波導(dǎo)和懸臂，由換能器、致動(dòng)器和光電二極管組成，分辨率高達(dá)45飛米，還具有80納米的超寬光學(xué)帶寬，無需昂貴的可調(diào)諧激光器，進(jìn)而使傳感器更加緊湊。目前，研究人員計(jì)劃基于該新型傳感器開發(fā)集成在芯片上的“納米計(jì)量實(shí)驗(yàn)室”，該實(shí)驗(yàn)室可用于半導(dǎo)體計(jì)量，能夠在納米級(jí)的精確位移和力測(cè)量中發(fā)揮關(guān)鍵作用，并有助于設(shè)計(jì)下一代微芯片和納米電子產(chǎn)品。