壓力掃描閥測(cè)壓系統(tǒng)研究進(jìn)展綜述

王 歡 曾慶華

（中山大學(xué)航空航天學(xué)院，深圳518107）

1 引言

隨著飛行器、發(fā)動(dòng)機(jī)、風(fēng)洞等試驗(yàn)中測(cè)試技術(shù)的發(fā)展，人們對(duì)于試驗(yàn)中獲得壓力數(shù)據(jù)的質(zhì)量和數(shù)量要求越來(lái)越高，測(cè)壓設(shè)備的性能指標(biāo)對(duì)試驗(yàn)結(jié)果的可靠性和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性尤為重要。由于壓力掃描閥自身具有體積較小、安裝簡(jiǎn)易、系統(tǒng)集成化程度高、掃描速率快等優(yōu)點(diǎn)，不僅能滿足風(fēng)洞試驗(yàn)中高準(zhǔn)確度的壓力測(cè)試需求，而且還應(yīng)用于大規(guī)模的工業(yè)流場(chǎng)、葉輪機(jī)試驗(yàn)、壓氣機(jī)試驗(yàn)、橋梁風(fēng)工程等領(lǐng)域。

近年來(lái)，通過(guò)將智能壓力傳感器組件與小型嵌入式數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)集成起來(lái)，構(gòu)成的多通道壓力掃描閥，在采集和掃描速率上得以提高。同時(shí)，芯片的快速升級(jí)實(shí)現(xiàn)了傳感器檢測(cè)的智能化，使得該系統(tǒng)的測(cè)壓技術(shù)日趨成熟，應(yīng)用于目前多通道以及測(cè)試條件復(fù)雜的試驗(yàn)中。

2 壓力掃描閥測(cè)量技術(shù)的發(fā)展

壓力掃描閥是由早期的多點(diǎn)壓力測(cè)量系統(tǒng)發(fā)展而來(lái)，它的研究始于軍事和航空發(fā)展中測(cè)量風(fēng)洞和流體中分布力的需要，現(xiàn)在也應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)中?？紤]其掃描速率、測(cè)壓準(zhǔn)確度、實(shí)時(shí)性、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)，壓力掃描閥測(cè)壓技術(shù)一直被視為多通道測(cè)壓技術(shù)里的前沿領(lǐng)域。

二十世紀(jì)50年代以前，風(fēng)洞試驗(yàn)和流體動(dòng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)中的多點(diǎn)壓力測(cè)量通常采用的是液體排管法進(jìn)行。每次所測(cè)量的壓力值可達(dá)數(shù)百個(gè)點(diǎn)，實(shí)驗(yàn)后的數(shù)據(jù)需要經(jīng)過(guò)人工處理，不僅任務(wù)繁重，而且測(cè)量的誤差較大、實(shí)時(shí)性差。

二十世紀(jì)60年代，出現(xiàn)了各種新型的壓力傳感器，可以實(shí)現(xiàn)將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，這是壓力測(cè)量技術(shù)的重要進(jìn)步。通過(guò)將多個(gè)壓力傳感器組成一個(gè)整體的測(cè)試系統(tǒng)，以此滿足多點(diǎn)壓力測(cè)量的任務(wù)要求。雖然在一定程度上提高了采集速度，但是成本昂貴。后續(xù)的周期檢定也難以提高其準(zhǔn)確度，最高準(zhǔn)確度一般為0.20%FS～0.30%FS。

之后一段時(shí)間，隨著機(jī)械壓力掃描閥的快速興起，多點(diǎn)壓力測(cè)量技術(shù)開(kāi)始進(jìn)入了以掃描閥為基礎(chǔ)的新發(fā)展方向。它采用高準(zhǔn)確度的壓力傳感器以機(jī)械掃描的方式，輪流測(cè)量各個(gè)點(diǎn)的壓力值。盡管掃描周期可以達(dá)到（5～10）點(diǎn)/s，但依舊達(dá)不到高速風(fēng)洞試驗(yàn)對(duì)壓力采集的要求。

二十世紀(jì)80年代初，出現(xiàn)的電子壓力掃描閥測(cè)量系統(tǒng)，是充分利用電子技術(shù)發(fā)展的新成果。系統(tǒng)通過(guò)采用多個(gè)低成本的硅壓阻式傳感器，使得每一個(gè)壓力傳感器都可以對(duì)應(yīng)一個(gè)通道的壓力點(diǎn)。電子掃描的方式，解決了機(jī)械式壓力掃描閥氣動(dòng)滯后的問(wèn)題，提高了系統(tǒng)采集壓力數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)性，采集速率達(dá)到每秒數(shù)萬(wàn)點(diǎn)，而且還可以通過(guò)聯(lián)機(jī)實(shí)時(shí)校準(zhǔn)技術(shù)修正傳感器的誤差，以此來(lái)提高測(cè)量準(zhǔn)確度。

3 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀

3.1 國(guó)外研究進(jìn)展

80年代初，美國(guó)壓力系統(tǒng)公司（Pressure System Inc，PSI）率先推出780B 型壓力測(cè)量系統(tǒng)，780B 系統(tǒng)由控制器、數(shù)據(jù)采集、控制單元、壓力校準(zhǔn)單元和電子掃描器組成，測(cè)量點(diǎn)數(shù)為512 點(diǎn)，掃描速率為20000 點(diǎn)/s，測(cè)量準(zhǔn)確度為±0.10%FS。1986年，美國(guó)掃描閥公司（Scanivalve Corp）推出ZOC 系列壓力測(cè)量系統(tǒng)，其組成和工作原理與780B 類似，測(cè)量點(diǎn)數(shù)為512 點(diǎn)，單點(diǎn)掃描次數(shù)50000 點(diǎn)/s。隨后幾年，PSI 公司繼續(xù)推出第二代測(cè)壓系統(tǒng)——PSI8400 壓力測(cè)量系統(tǒng)，它是通過(guò)一個(gè)模塊化的并行壓力采集處理系統(tǒng)，解決了過(guò)去技術(shù)上受到單個(gè)A/D 轉(zhuǎn)換器、微處理器的限制，可以用于測(cè)量氣體和液體的壓力參數(shù)。PSI8400 系統(tǒng)每一個(gè)輸入單元由一個(gè)8位微處理器和獨(dú)立采集的硬件組成，每秒可以采集40 萬(wàn)個(gè)通道的數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確度可達(dá)±0.05%FS。1988年，美國(guó)掃描閥公司也開(kāi)始推出第二代壓力測(cè)量系統(tǒng)——HyScan2000 壓力測(cè)量系統(tǒng)。利用先進(jìn)的硬件技術(shù)，該系統(tǒng)配有高速A/D 轉(zhuǎn)換器，掃描速率每秒10 萬(wàn)測(cè)量點(diǎn)，測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)±0.06%FS。

近些年，PSI 公司相繼又推出了9000 系列，如：9116、9216、9816 型電子壓力掃描閥和ESP 系列多通道壓力掃描閥，可測(cè)量16、32、64 通道等，最高準(zhǔn)確度達(dá)±0.03%FS。如圖1所示為9116 電子壓力掃描閥系統(tǒng)。

圖1 9116 電子壓力掃描閥系統(tǒng)Fig.1 9116 electronic pressure scanning valve system

美國(guó)掃描閥公司在完善ZOC 系列的同時(shí)，也推出了 DSA 系列和 MPS 系列， 最高準(zhǔn)確度達(dá)±0.05%FS。如圖2所示為DSA3217 電子壓力掃描閥系統(tǒng)。

圖2 DSA3217 電子壓力掃描閥系統(tǒng)Fig.2 DSA3217 electronic pressure scanning valve system

2009年，美國(guó)Kulite 公司開(kāi)始推出壓力掃描閥KMPS 系列，準(zhǔn)確度達(dá)±0.10%FS。如圖3所示為KMPS-1-64 電子壓力掃描閥系統(tǒng)。

圖3 KMPS-1-64 電子壓力掃描閥系統(tǒng)Fig.3 KMPS-1-64 electronic pressure scanning valve system

在PSI 公司和美國(guó)掃描閥公司大力發(fā)展壓力掃描閥的同時(shí)，國(guó)外許多的單位和科研院校也對(duì)壓力掃描閥測(cè)壓技術(shù)進(jìn)行了大量創(chuàng)新性的研究。針對(duì)早期的多點(diǎn)壓力測(cè)量系統(tǒng)，Vincent嘗試將壓力傳感器連接到多個(gè)壓力點(diǎn)，構(gòu)成了多通道壓力掃描閥，提高了測(cè)壓系統(tǒng)的快速性和準(zhǔn)確性。同樣為解決多通道測(cè)壓方面的問(wèn)題，Colburn彈道研究實(shí)驗(yàn)室研制了一種壓力掃描閥系統(tǒng)，能夠接收相當(dāng)多的壓力，并將數(shù)據(jù)傳送給少量的記錄系統(tǒng)。氣動(dòng)裝置還能檢查所有壓力引線和連接的設(shè)施，并為傳感器校準(zhǔn)提供一個(gè)參考真空（或壓力），提供了任何容量的壓力掃描閥原型。

除了拓展壓力掃描閥的多通道研究之外，在極端環(huán)境下的測(cè)壓研究也在進(jìn)行。Worst 等改進(jìn)了一種堅(jiān)固耐用的16 通道電子壓力掃描閥，它能夠承受與渦輪試驗(yàn)相關(guān)的極端環(huán)境條件。它是由端口的傳感器、內(nèi)部電路和允許在線校準(zhǔn)的集成校準(zhǔn)閥組成?？紤]工作的極端環(huán)境，它的設(shè)計(jì)還包括一個(gè)加熱器或冷卻室，以允許極熱或極冷的應(yīng)用。美國(guó)宇航局艾姆斯研究中心Coe 等開(kāi)發(fā)了一種新型的電子壓力掃描閥（ESOP），用于安裝在風(fēng)洞模型中。ESOP 系統(tǒng)包括多達(dá)20 個(gè)壓力模塊，每個(gè)模塊配有48 個(gè)壓力傳感器、1 個(gè)A/D 轉(zhuǎn)換器、1 個(gè)微處理器、1 個(gè)數(shù)據(jù)控制器、1 個(gè)監(jiān)控單元和1 個(gè)加熱器控制器。Juanarena 等針對(duì)現(xiàn)代燃?xì)廨啓C(jī)設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)相關(guān)的極端環(huán)境條件，提出了一種改進(jìn)的電子壓力掃描閥的方案，在保持高準(zhǔn)確度測(cè)壓的同時(shí)對(duì)極端的溫度和振動(dòng)免疫，并能夠現(xiàn)場(chǎng)更換壓力傳感器模塊。Kurtz 等提出了一種在惡劣條件下測(cè)量多種壓力的方法，包括傳感器接收壓力信號(hào)，處理器修改校正壓力信號(hào)，存儲(chǔ)器接收修正系數(shù)。

隨后，Juanaren 描述了壓力掃描閥的準(zhǔn)確度可以在三個(gè)主要方面進(jìn)行改進(jìn)，包括模塊化設(shè)計(jì)、傳感器密度改進(jìn)和壓力選擇基準(zhǔn)，打開(kāi)了壓力掃描閥準(zhǔn)確度研究的新方向。在傳感器密度改進(jìn)的方面，Dahland描述通過(guò)采用壓阻式硅壓力傳感器組成陣列的電子壓力掃描閥，對(duì)單個(gè)測(cè)試對(duì)象進(jìn)行多次測(cè)量，已經(jīng)成為許多工業(yè)測(cè)試和測(cè)量應(yīng)用的主要工具。

進(jìn)入二十一世紀(jì)以后，在試驗(yàn)研究中出現(xiàn)了與壓力掃描閥共同使用的數(shù)據(jù)采集或處理軟件。Muthusamy 等利用印度馬德拉斯理工學(xué)院亞音速風(fēng)洞中的壓力掃描閥、六分量平衡和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，對(duì)飛機(jī)模型上的壓力分布、力和力矩進(jìn)行了估計(jì)，確定了模型表面壓力系數(shù)的變化。Mack 等通過(guò)由內(nèi)部軟件控制的Pressure Systems 98RK 壓力掃描閥測(cè)量所有剖面的壓力分布。Maeda 等在風(fēng)洞測(cè)量中，通過(guò)安裝在輪轂上的多端口壓力掃描閥測(cè)量了直葉垂直軸風(fēng)力機(jī)的流場(chǎng)和壓力分布，并將測(cè)量到的壓力信號(hào)通過(guò)無(wú)線局域網(wǎng)傳輸給固定系統(tǒng)。運(yùn)輸和交通科學(xué)學(xué)院航空系空氣動(dòng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)室Meznaric 等采用PSI 公司生產(chǎn)的9016 型智能壓力掃描閥，測(cè)定了氣動(dòng)型物體在氣流中周圍的壓力分布，通過(guò)以太網(wǎng)鏈路傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，壓力數(shù)據(jù)的處理采用NUSS 和LabVIEW 軟件。Kumar 等開(kāi)發(fā)了LabVIEW 的特殊算法，用于自動(dòng)橫移偏航和俯仰方向，也用于壓力掃描閥的壓力數(shù)據(jù)采集。

最近五年來(lái)，面對(duì)使用壓力掃描閥進(jìn)行非定常氣動(dòng)測(cè)量不斷增加的需求， Naughton 等和Nikoueeyan 等提出小型、緊湊、直接安裝式的壓力掃描閥，可以減少連接測(cè)量端口到掃描閥系統(tǒng)所需的氣動(dòng)管道長(zhǎng)度，從而提高非定常壓力測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍。Hind 等解釋了雖然減小管道的長(zhǎng)度可以減少管道摩擦產(chǎn)生的衰減和延遲，但氣動(dòng)諧振仍然會(huì)扭曲采集到壓力信號(hào)。Hind 研究了不同的嵌入式氣動(dòng)管道配置到一個(gè)嵌入式壓力掃描閥的動(dòng)態(tài)響應(yīng)過(guò)程，以及不同變形對(duì)嵌入式油管系統(tǒng)幾何形狀的依賴性，考慮和量化了隨機(jī)誤差和偏差的來(lái)源。Semmelmayer 等提出了美國(guó)主要風(fēng)洞設(shè)施中壓力掃描閥系統(tǒng)離散噪聲的概率分布，解釋了關(guān)于不確定性報(bào)告的討論，特別是誤差界定義。為滿足傳感器噪聲和模數(shù)轉(zhuǎn)換不確定性的要求，擬合了一種離散的四參數(shù)beta 分布。

3.2 國(guó)內(nèi)研究進(jìn)展

相對(duì)來(lái)說(shuō)，多點(diǎn)壓力測(cè)量系統(tǒng)在國(guó)內(nèi)的發(fā)展起步比較晚。60年代仍然停留在多點(diǎn)巡回的檢測(cè)階段，70年代的研究?jī)?nèi)容主要是以小型計(jì)算機(jī)為中心的數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)。自80年代起，微型計(jì)算機(jī)在我國(guó)快速發(fā)展，自動(dòng)檢測(cè)技術(shù)也日趨成熟。到了90年代，由于高準(zhǔn)確度的壓力掃描閥測(cè)壓技術(shù)受限于美國(guó)，多數(shù)單位采用單個(gè)壓力傳感器組成的測(cè)壓系統(tǒng)或采用機(jī)械式壓力掃描閥。但也有一些單位、科研院校為了獲得風(fēng)洞和發(fā)動(dòng)機(jī)等試驗(yàn)中高準(zhǔn)確度和可靠的測(cè)試數(shù)據(jù)，選擇引入美國(guó)電子壓力掃描閥。

為突破壓力掃描閥測(cè)壓技術(shù)的封鎖，1991年至1994年期間，西北工業(yè)大學(xué)鐘誠(chéng)文團(tuán)隊(duì)先后成功研制出第一代DSY64 電子掃描測(cè)壓系統(tǒng)和DSY128電子掃描測(cè)壓系統(tǒng)，準(zhǔn)確度達(dá)±0.10%FS，掃描速率為20000 點(diǎn)/s。1994年1月通過(guò)部級(jí)鑒定，認(rèn)為此測(cè)壓系統(tǒng)達(dá)到國(guó)外80年代同類產(chǎn)品的水平。1998年，西工大團(tuán)隊(duì)繼續(xù)推出第二代DSY-JB 電子掃描測(cè)壓系統(tǒng)，相比于第一代，第二代在結(jié)構(gòu)上也更趨向于標(biāo)準(zhǔn)化和商品化。2001年，西工大團(tuán)隊(duì)研制出DSY2000 電子掃描測(cè)壓系統(tǒng)，準(zhǔn)確度達(dá)±0.05% FS，在掃描速率上可達(dá)50000 點(diǎn)/s。2002年，西工大團(tuán)隊(duì)研制出ZDS 智能電子壓力掃描閥，采用最小二乘擬合算法進(jìn)行數(shù)字溫度補(bǔ)償，準(zhǔn)確度達(dá)±0.06%FS，掃描速率為1000 點(diǎn)/s，測(cè)量溫度范圍為0℃～40℃。2004年，西工大團(tuán)隊(duì)繼續(xù)研制出DSY2000K 電子掃描測(cè)壓系統(tǒng)。2004年底，我國(guó)自行研制的兩套發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)自動(dòng)測(cè)控系統(tǒng)——DSY2000 壓力測(cè)量系統(tǒng)和ZDS 智能電子壓力掃描閥，通過(guò)了專家組驗(yàn)收。

但高準(zhǔn)確度的壓力掃描閥和國(guó)外相比，特別是準(zhǔn)確度指標(biāo)、穩(wěn)定性和溫度范圍上仍有很大差距。近十年來(lái)，很多科研單位、企業(yè)仍然選擇引進(jìn)國(guó)外現(xiàn)有設(shè)備，轉(zhuǎn)而在軟件上進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)應(yīng)用或者通過(guò)校準(zhǔn)技術(shù)達(dá)到應(yīng)用需求。高穎等通過(guò)分析美國(guó)掃描閥公司DSA3217 型壓力掃描閥的結(jié)構(gòu)原理和技術(shù)，提出了一種現(xiàn)場(chǎng)原位校準(zhǔn)方法，此方法在解決現(xiàn)場(chǎng)原位校準(zhǔn)難題的同時(shí)，避免了繁瑣的高度差修正工作。經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)后，壓力掃描閥的測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)到±0.10%FS，滿足試驗(yàn)的技術(shù)要求。尹付強(qiáng)在風(fēng)洞試驗(yàn)中，引入美國(guó)PSI 公司開(kāi)發(fā)的高速高準(zhǔn)確度多用途的98RK 電子壓力掃描系統(tǒng)，此款系統(tǒng)的高準(zhǔn)確度壓力測(cè)量值為±0.05%FS。白雪等首次引入以美國(guó)PSI 公司DTC 系列ESP 掃描閥為核心的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，提出一種多通道的系統(tǒng)校準(zhǔn)方案，根據(jù)方案進(jìn)行比對(duì)校準(zhǔn)試驗(yàn)，校準(zhǔn)試驗(yàn)的結(jié)果用于分析系統(tǒng)準(zhǔn)確度，評(píng)定試驗(yàn)數(shù)據(jù)的不確定度。王艷介紹了美國(guó)PSI 公司PSI8400 電子壓力掃描閥在風(fēng)洞的應(yīng)用，并且以VB6 為軟件平臺(tái)，研制開(kāi)發(fā)該系統(tǒng)的軟件。曾星等對(duì)美國(guó)掃描閥公司的DSA3217 和美國(guó)PSI 公司的9016 型壓力掃描閥進(jìn)行分析測(cè)試，設(shè)計(jì)了一套風(fēng)洞通用的壓力掃描閥數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，滿足了風(fēng)洞中常用壓力掃描閥的數(shù)據(jù)采集要求。譚正一等針對(duì)固沖發(fā)動(dòng)機(jī)多路壓力測(cè)量試驗(yàn)需求，以美國(guó)PSI 公司產(chǎn)品PSI 9116 智能壓力掃描閥為測(cè)試核心，設(shè)計(jì)了一套多路壓力測(cè)量系統(tǒng)。邢威介紹了美國(guó)掃描閥公司的DSA3200 型產(chǎn)品，分析了壓力掃描閥的校準(zhǔn)技術(shù)和不確定性評(píng)估。

最近一段時(shí)間，面對(duì)美國(guó)在高準(zhǔn)確度測(cè)壓領(lǐng)域的持續(xù)施壓，我國(guó)的科研機(jī)構(gòu)也開(kāi)始進(jìn)行高準(zhǔn)確度壓力測(cè)量系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化研究，張鍇等針對(duì)飛行器地面試驗(yàn)大規(guī)模壓力測(cè)量需求，研制了一套分布式壓力測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量準(zhǔn)確度±0.5%FS。中國(guó)科學(xué)院力學(xué)研究所高溫氣體動(dòng)力學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室顧洪斌2016年研制高準(zhǔn)確度電子壓力掃描系統(tǒng)，系統(tǒng)為128 通道，絕對(duì)壓力為45PSI 量程，準(zhǔn)確度±0.05%FS，掃描頻率100Hz。2020年北京大學(xué)設(shè)計(jì)風(fēng)雷電子壓力掃描閥，具有體積小，抗干擾度高等優(yōu)點(diǎn)。2021年北京大學(xué)馬盛林團(tuán)隊(duì)提出大規(guī)模氣動(dòng)壓力傳感器集群采集處理芯片系統(tǒng)與產(chǎn)業(yè)化，以32 通道高準(zhǔn)確度壓力掃描閥的總體進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和優(yōu)化為研究對(duì)象，在底層硬件上，開(kāi)展MEMS 芯片的關(guān)鍵流片工藝及批量制備技術(shù)研究，在掃描速率上，設(shè)計(jì)壓力掃描閥陣列的高速接口，同時(shí)對(duì)批量測(cè)試與標(biāo)定技術(shù)等核心關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行研究，使得準(zhǔn)確度優(yōu)于±0.10%FS，相較于國(guó)外成熟的技術(shù)，該壓力掃描閥具有抗沖擊，性價(jià)比高等優(yōu)點(diǎn)。國(guó)內(nèi)外的主要產(chǎn)品數(shù)據(jù)比較如表1所示。

表1 國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品數(shù)據(jù)比較Tab.1 Comparison of domestic and foreign product data

4 結(jié)束語(yǔ)

壓力掃描閥測(cè)壓技術(shù)是集計(jì)算機(jī)技術(shù)、傳感器技術(shù)和通信技術(shù)為一體化的綜合應(yīng)用，這些技術(shù)的發(fā)展都對(duì)系統(tǒng)性能指標(biāo)的提升起著至關(guān)重要的作用。目前國(guó)外高準(zhǔn)確度壓力掃描閥及其相應(yīng)配套產(chǎn)品的發(fā)展已經(jīng)較為成熟，雖然我國(guó)近些年也開(kāi)始加大壓力掃描閥測(cè)壓系統(tǒng)自主研制的力度，但在研發(fā)設(shè)計(jì)過(guò)程中，系統(tǒng)的高準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性和強(qiáng)抗干擾性依然是亟待解決的問(wèn)題。而這些指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)一方面依賴于對(duì)MEMS 芯片的關(guān)鍵工藝進(jìn)行研究，另一方面，則需要根據(jù)大量的標(biāo)定校準(zhǔn)測(cè)試試驗(yàn)，研究高準(zhǔn)確度有效的溫度補(bǔ)償算法。

現(xiàn)階段，通過(guò)采用合適的校準(zhǔn)方法，壓力掃描閥可以在一定程度上提高準(zhǔn)確度指標(biāo)，但想實(shí)現(xiàn)在試驗(yàn)環(huán)境下系統(tǒng)的自動(dòng)原位校準(zhǔn)，仍然是一個(gè)比較棘手的問(wèn)題。尤其對(duì)于多通道壓力掃描閥來(lái)說(shuō)，傳感器依次校準(zhǔn)的工作量大。因此，建立標(biāo)準(zhǔn)化規(guī)范化的校準(zhǔn)方法和不確定性評(píng)估是今后研究的方向。

算法上，我國(guó)針對(duì)壓力掃描閥的溫度補(bǔ)償算法依然停留在最小二乘擬合、四階擬合等傳統(tǒng)多元回歸法。未來(lái)，隨著機(jī)器學(xué)習(xí)和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法的發(fā)展，高效智能的溫度補(bǔ)償算法仍是很有前途的研究方向。