宋天琦

摘 要 奇氏桶華夫板在半導(dǎo)體集成電路廠房高新技術(shù)的生產(chǎn)中扮演著十分重要的角色，其施工工藝是現(xiàn)代電子廠房主流結(jié)構(gòu)形式，同時也會對電子面板的精度和生產(chǎn)過程產(chǎn)生一定的影響。在當(dāng)今時代，電子技術(shù)產(chǎn)品生產(chǎn)時，潔凈廠房通常需要具備大范圍潔凈度高的空間，為了達(dá)成這一指標(biāo)，需要維持華夫板的清潔和準(zhǔn)確位置，讓奇氏桶和華夫板結(jié)構(gòu)協(xié)調(diào)適應(yīng)。本文從奇氏桶華夫板的工作概況出發(fā)，接著分析其工藝流程和技術(shù)要點(diǎn)，旨在為相關(guān)人員提供參考。

關(guān)鍵詞 奇氏桶華夫板 施工清潔度 高新電子技術(shù)

中圖分類號：TU74 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1007-0745（2022）06-0004-03

在科技飛速發(fā)展的現(xiàn)代社會，尤其是進(jìn)入智能化時代以來，各類電子類高新技術(shù)產(chǎn)品不斷突破自身的瓶頸，換代更新的周期越來越短，同時在質(zhì)量和精度上的標(biāo)準(zhǔn)越來越細(xì)致入微。各類因素的交織，導(dǎo)致了電子高新產(chǎn)品的廠房工作周期不斷縮短，同時在施工時加大了工作人員的工作量，降低了工作效率[1]。在施工時，在工藝上的要求十分高，對華夫板的各類指標(biāo)的細(xì)化導(dǎo)致整個工藝流程的難度驟增，在浪費(fèi)人力物力資源的同時大大增加了生產(chǎn)運(yùn)作的成本。基于這些問題的考量，需要在對奇氏桶華夫板的施工設(shè)計時對整個流程的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行合理操控[2]。

1 奇氏桶華夫板的概況和施工時的詳細(xì)要求

1.1 施工清潔度的保持和奇氏桶華夫板的基本概述

在當(dāng)代的集成電路生產(chǎn)施工的過程中，常常對潔凈廠房有著十分挑剔的標(biāo)準(zhǔn)。尤其對潔凈室中的環(huán)境有著更為細(xì)致的標(biāo)準(zhǔn)和要求，需要維持潔凈室中的大范圍生產(chǎn)的有序和整潔，對空氣質(zhì)量和整體環(huán)境的整潔程度進(jìn)行評估和整改。為了保持空氣質(zhì)量的良好，需要在通風(fēng)方面做好系統(tǒng)化的工作[3]。首先，在潔凈室空調(diào)系統(tǒng)等設(shè)施上需要進(jìn)行規(guī)范的通風(fēng)操作，構(gòu)建一個潔凈的通風(fēng)系統(tǒng)。另外，還需要注意對回風(fēng)通道的營造?？梢栽诿恳粋€潔凈室的樓板之間設(shè)置數(shù)量龐大、方向明確一致的孔洞，讓風(fēng)自由順暢地通行，并保持每個部位的風(fēng)穿行時步調(diào)一致。所謂華夫板，便是在這些用來營造回風(fēng)通道保持空氣潔凈度的規(guī)則孔洞四周和附近的樓板內(nèi)的結(jié)構(gòu)。華夫板的施工材料通常為鋼筋混凝土，厚度較大，可達(dá)到0.6米至0.8米。而所謂的奇氏桶，則是屬于華夫板的留孔模具的一種材質(zhì)。除了奇氏桶以外，還有環(huán)氧玻璃鋼和玻璃纖維高分子等等，奇氏桶屬于鍍鋅的鋼板。在潔凈的廠房中有著十分嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)，除了需要對工作周期有著明確的規(guī)定外，對整個過程的成本耗費(fèi)和工程施工的復(fù)雜程度有著諸多精細(xì)化的要求。而為了滿足這一系列的規(guī)范和要求，通常在對華夫板進(jìn)行材質(zhì)選擇時，優(yōu)先考慮奇氏桶。由于各類華夫板常常使用奇氏桶進(jìn)行留孔模具的選擇，所以又被叫做奇氏樓板。這一樓板結(jié)構(gòu)在整個樓板的結(jié)構(gòu)、標(biāo)高以及觀者的感受等方面有著較為細(xì)致和復(fù)雜的標(biāo)準(zhǔn)。

1.2 奇氏桶華夫板的詳細(xì)要求和工作原理

為了在實(shí)際工作的過程中更加高效地進(jìn)行潔凈車間空氣質(zhì)量的改善，需要在華夫板的設(shè)計和工作時有所講究。這項(xiàng)生產(chǎn)工藝較為復(fù)雜，對車間進(jìn)行生產(chǎn)的要求較高，通常需要進(jìn)行各類通風(fēng)操作，利用華夫板進(jìn)行回風(fēng)通道的營造[4]。

首先，由于生產(chǎn)工藝較為復(fù)雜和精細(xì)，對生產(chǎn)車間的要求也十分高，在各類潔凈的生產(chǎn)車間中，需要具有大范圍的無阻礙地帶，面積占地要盡可能地大，在平面內(nèi)可施工的范圍要盡可能地寬泛。在對華夫板的要求上，通常更為強(qiáng)調(diào)華夫板的形狀和尺寸，一般為正圓柱，長和寬的標(biāo)準(zhǔn)通常要比伸縮縫的預(yù)先設(shè)定值大，規(guī)避各類違規(guī)的伸縮縫狀態(tài)。除此以外，對孔洞的要求也十分苛刻，為了提高這一系統(tǒng)的回風(fēng)效果，提高空氣的潔凈度，需要關(guān)注樓蓋上的孔洞數(shù)量，盡可能多地安排孔洞。在樓蓋上的孔洞除了要求數(shù)量龐大以外，還需要具備較高的整潔度，讓這個清潔車間的空氣流通更為勻和與協(xié)調(diào)。當(dāng)空氣流通和回風(fēng)發(fā)生不均勻的現(xiàn)象時，很容易導(dǎo)致局部的空氣不流通產(chǎn)生的空氣質(zhì)量銳減，進(jìn)而導(dǎo)致全局空氣接觸的過程中質(zhì)量的整體下降，間接影響產(chǎn)品的良率。最后，還需要注意整個系統(tǒng)和空間的平整度。生產(chǎn)的整潔車間在各方面的平整度都要求較為嚴(yán)苛，相關(guān)機(jī)臺設(shè)備的質(zhì)量通常需要達(dá)到一定的高度，使其盡可能地符合防震的標(biāo)準(zhǔn)。除對生產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量要求之外，還要注重其密度和精度等維度的考究。在設(shè)備運(yùn)營過程中，為了減少相關(guān)裝置的震動和損傷，需要對各類設(shè)備的平整度進(jìn)行仔細(xì)把關(guān)，減輕可能發(fā)生的地震等意外對產(chǎn)品的不良影響，尤其是在成品率降低方面。因此，產(chǎn)品生產(chǎn)過程的每個結(jié)構(gòu)的面都應(yīng)盡可能地保持更高的平整度。

2 奇氏桶華夫板的工藝流程及重難點(diǎn)對策

2.1 奇氏桶華夫板的施工特點(diǎn)和原理

2.1.1 施工技術(shù)方面的注意點(diǎn)

奇氏桶華夫板技術(shù)施工的主要目的在于，保障生產(chǎn)車間的回風(fēng)效果和空氣質(zhì)量，進(jìn)而保障整個生產(chǎn)系統(tǒng)的正常運(yùn)作。這項(xiàng)施工技術(shù)在真正實(shí)施時，在各種測量和計算過程中要求十分苛刻和精細(xì)化，不會僅僅通過一次計算測量便草率得出結(jié)果，往往需要多次確定和驗(yàn)證。

除了計算測量之外，在相關(guān)技術(shù)流程正常運(yùn)作的過程中，還會利用各種創(chuàng)新和潮流的方式方法，使得工作效率大大提高，讓這個系統(tǒng)施工的質(zhì)量和精度大大提升。多道收面工序便是創(chuàng)新舉措的典型代表，該工序讓奇氏桶華夫板的整個施工流程更為有序和高效，最終大大提高施工的精度。阻礙提高施工技術(shù)質(zhì)量的另一大障礙是混凝土的施工工作，它們通常會對奇氏桶的正常運(yùn)作產(chǎn)生不同程度的干擾，需要通過相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用，最大限度地減少這種干擾對整個系統(tǒng)的潛在影響，最終提高這項(xiàng)工藝的質(zhì)量和精度。

2.1.2 施工工程的基本工作原理以及所利用的領(lǐng)域

這項(xiàng)復(fù)雜而嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚵鞒叹邆渲审w系的工作原理，指導(dǎo)著各項(xiàng)工作的有序開展。而奇氏桶華夫板的具體工作原理相對簡易，是將一定規(guī)模和數(shù)量的奇氏桶放到孔洞的側(cè)邊當(dāng)成一種側(cè)模，然后批量將奇氏桶安置到鋼筋混凝土的結(jié)構(gòu)板里。在進(jìn)行具體施工的過程中，需要對各個裝置和部件的位置進(jìn)行嚴(yán)格和精確的考量，同時對各個設(shè)施的平整度進(jìn)行專業(yè)把關(guān)。在所有工作圓滿完成以后，不必將奇氏桶拆下，奇氏桶周圍的眾多的孔洞可以讓這個空間的空氣整潔度保持一個較為良好的狀態(tài)，而孔洞所構(gòu)成的結(jié)構(gòu)板可以進(jìn)一步強(qiáng)化這一功效。這一施工的工藝流程適用范圍較為廣泛，通常在具有較高厚度的樓板中應(yīng)用較多，同時注重清潔度和平整度，對這兩方面要求高的樓板也常常使用這一工藝。0D7580B0-082A-459E-BA3F-2639E52B3270

2.2 奇氏桶華夫板工藝過程中的重難點(diǎn)分析

2.2.1 奇氏桶華夫板的基本工藝流程

在這項(xiàng)工藝流程中，首先進(jìn)行的是施工前的各項(xiàng)準(zhǔn)備工作，當(dāng)所有準(zhǔn)備都已妥當(dāng)后，隨即進(jìn)入安裝模板的過程，安裝完畢后將奇氏桶依據(jù)預(yù)定的位置正確規(guī)范安置并將其底盤充分固定。當(dāng)這些工作完成后，便進(jìn)入了這項(xiàng)工藝的核心階段。首先是對暗梁的鋼筋等進(jìn)行規(guī)范的捆扎，隨后讓專業(yè)人員進(jìn)行奇氏桶的底座和筒體的正確安裝，安裝完畢后再對鋼筋混凝土進(jìn)行處理，通常要通過規(guī)范的操作將其充分搗碎并收光，最后拆除各類相關(guān)裝置。

2.2.2 華夫板施工時的重難點(diǎn)及相應(yīng)的對策

在進(jìn)行奇氏桶與華夫板的操作過程中，存在著諸多的技術(shù)要領(lǐng)和問題。下面將對這項(xiàng)工藝流程的重難點(diǎn)進(jìn)行羅列，并逐一進(jìn)行剖析，提出相應(yīng)的應(yīng)對策略。

首先，華夫板存在著面積和體量較大的問題，致使工作人員的工作量相當(dāng)大，但常常由于工作時周期較短，完工時間的急迫致使工作人員的工作成果較為拙劣，工作效率低下。針對這一問題，需要相關(guān)管理層充分做好全局的統(tǒng)籌，合理分配工作，同時增多工作人數(shù)，提高工作的效率和精度。

在對模板進(jìn)行定位的過程中，難度系數(shù)較大，需要更為專業(yè)的技術(shù)人才和更為精細(xì)化的操作。尤其是奇氏桶的定位，往往相比于其他設(shè)備而言，要更加地困難和復(fù)雜，對精度和質(zhì)量的要求更高。針對這一狀況，需要保障各個設(shè)備的平整度，讓所有孔洞和華夫板相互協(xié)調(diào)，盡可能地有序排列，同時需要保障華夫板的位置不動搖，不可讓混凝土的擠壓對其產(chǎn)生干擾。

在整個奇氏桶華夫板工藝流程中，運(yùn)用的各類材料較多，難以及時地對各類材料進(jìn)行統(tǒng)籌規(guī)劃和組織。針對這一現(xiàn)象，應(yīng)注意對市場情況進(jìn)行預(yù)先的了解和分析，對工藝流程中的各階段材料運(yùn)用的種類和數(shù)量進(jìn)行提前預(yù)判和統(tǒng)計，在模板的設(shè)計和體系的深化上更多地研究和探討，并對整個工藝流程的框架和細(xì)節(jié)進(jìn)行全局的統(tǒng)籌和管理。在材料的發(fā)放和組織時，可以讓不同種類和數(shù)量的材料進(jìn)行分批入廠的操作。在選擇供貨商時，最好選擇信譽(yù)較強(qiáng)并可以及時供貨的、口碑較好的供貨商。

在整個工藝流程中的每個階段，對各類設(shè)施的平整度的標(biāo)準(zhǔn)極為苛刻?？量痰钠秸纫笫沟酶黝惌h(huán)節(jié)必須時刻注意施工過程中對平整度的把控。針對這一現(xiàn)象，需要對工藝流程的每一個環(huán)節(jié)的工作盡可能地做到精確和到位，嚴(yán)格管控各類設(shè)施在操作過程中的長度、高度、厚度等，同時注意在混凝土澆筑時嚴(yán)格控制標(biāo)高并對收光過程嚴(yán)格把關(guān)。在測量過程中，要注意對每個階段的測量進(jìn)行多次試驗(yàn)和嚴(yán)格校對，在控制點(diǎn)處進(jìn)行加密測量，在進(jìn)行儀器的選擇時，應(yīng)著重考慮精度較高的儀器進(jìn)行相關(guān)測量工作。

3 奇氏桶華夫板工藝流程的其他注意事項(xiàng)

3.1 安裝奇氏桶底座和筒體過程中的注意事項(xiàng)

在奇氏桶的結(jié)構(gòu)中，底盤和底座是一一對應(yīng)的，在進(jìn)行底座的安裝過程中，不需要其他多余的操作，只要直接將底座安置在底盤處即可[5]。筒體安裝過程在底盤底座之后，通常需要首先對底盤的整體狀況進(jìn)行仔細(xì)的核查。當(dāng)檢查過程中發(fā)現(xiàn)有任何松動或者其他的異常情況，應(yīng)依據(jù)出現(xiàn)的問題進(jìn)行及時和針對性的處理。在安裝奇氏桶的過程中，一定要注意在安裝完畢后將旁邊的螺桿固定好。當(dāng)所有的螺桿處理完畢后，還需要進(jìn)行進(jìn)一步的深入檢測，當(dāng)出現(xiàn)異?，F(xiàn)象時，需要對螺桿進(jìn)行二次固定操作。在進(jìn)行這項(xiàng)工藝流程時，常常會出現(xiàn)筒體位移偏轉(zhuǎn)的問題。針對這一問題，需要在梁鋼筋上進(jìn)行方鋼管的固定工作。

3.2 混凝土澆搗收光過程中的注意事項(xiàng)

為了防范在這一過程中混凝土出現(xiàn)結(jié)構(gòu)異常的現(xiàn)象，通常需要在華夫板上進(jìn)行施工縫的安置，但不必安放后澆帶。在這一過程中，要注意防范澆搗不均勻的現(xiàn)象，在對較厚的華夫板進(jìn)行操作時，需要對混凝土進(jìn)行分層澆搗。在澆筑混凝土過程中，奇氏桶的所在平面需要稍稍低于混凝土的平面[6]。在混凝土被澆搗完畢后，不可直接進(jìn)行下一次的澆筑，而要進(jìn)行短暫的安置。

除此以外，還需注意在澆搗工作完成后，進(jìn)行人工的找平，找到合適的平整度。在對混凝土進(jìn)行磨壓的過程中，應(yīng)多次進(jìn)行，進(jìn)而提高混凝土的平整度，減小損耗。打磨工作完畢以后，需要利用專門的機(jī)器對其表面進(jìn)行反復(fù)的打磨和擠壓。除了澆搗和打磨以外，還需要利用專業(yè)的操作對混凝土進(jìn)行收光操作。收光時，需防范抹印的產(chǎn)生，提高表面的潔凈程度。

3.3 拆除裝置階段的相關(guān)操作注意事項(xiàng)

在最后的拆除階段，需要嚴(yán)格把控拆除的時機(jī)，不可過早地進(jìn)行相關(guān)裝置的拆除，最好將拆除工作放在澆筑半天以后完成。在進(jìn)行相關(guān)裝置的拆除時，不可直接進(jìn)行拆除操作，而是有一定的技術(shù)講究。首先要讓混凝土慢慢松動，防止混凝土的結(jié)構(gòu)異變對這個系統(tǒng)產(chǎn)生不良影響。在拆除工作完畢后，還需要打磨混凝土的毛邊，讓混凝土的平整度和清潔程度更高，達(dá)到工藝流程中預(yù)定的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。為了達(dá)成這一標(biāo)準(zhǔn)，還需在打磨完畢后進(jìn)行規(guī)范的找平和收光的操作。

4 結(jié)語

在高新電子技術(shù)的生產(chǎn)制造過程中，奇氏桶華夫板在整個體系中起到無可替代的作用。華夫板作為營造回風(fēng)通道保持空氣潔凈度的規(guī)則孔洞四周和附近的樓板內(nèi)的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行相關(guān)的工藝流程時有著諸多的要求，工藝流程較為復(fù)雜，對潔凈程度和平整度要求極為嚴(yán)苛。操作時，常需要進(jìn)行各類通風(fēng)操作，利用華夫板進(jìn)行回風(fēng)通道的營造。

本文著重對奇氏桶華夫板的整個工藝流程進(jìn)行闡述，隨后依據(jù)整個工藝流程的步驟對操作過程中的重難點(diǎn)進(jìn)行羅列和剖析，并提出相應(yīng)的對策。最后又補(bǔ)充了工藝流程中最后幾個步驟中的注意事項(xiàng)和操作時的細(xì)節(jié)問題，為相關(guān)工作人員提供一定的技術(shù)和操作參考，以提高工作效率，獲得精度和質(zhì)量更為優(yōu)越的工作成果。

參考文獻(xiàn)：

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