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      雙層泵腔壓電無(wú)閥微泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與優(yōu)化

      2022-11-18 04:54:22郭利華冉朋輝李經(jīng)民
      壓電與聲光 2022年5期
      關(guān)鍵詞:微泵振子壓電

      單 杰,郭利華,冉朋輝,李經(jīng)民

      (大連理工大學(xué) 遼寧省微納米技術(shù)與系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,遼寧 大連 116024)

      0 引言

      微泵作為微流控系統(tǒng)的重要驅(qū)動(dòng)元件能夠?qū)崿F(xiàn)流體的定量輸送。按驅(qū)動(dòng)方式,微泵分為靜電式[1]、壓電式[2]、電磁式[3]、電滲式[4]和熱氣動(dòng)式[5]等類型。其中,壓電微泵具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,驅(qū)動(dòng)力大和易集成等優(yōu)勢(shì),已廣泛應(yīng)用于藥物輸送[6]、電子冷卻[7]及細(xì)胞培養(yǎng)[8]等領(lǐng)域。有閥結(jié)構(gòu)存在機(jī)械疲勞及阻塞等問題,而無(wú)閥結(jié)構(gòu)依靠進(jìn)出口壓力損失不同實(shí)現(xiàn)流體的定向流動(dòng),有利于微泵集成化及微型化[9]。研究表明,泵腔的直徑越大,微泵的輸出流量越高,同時(shí)帶來(lái)結(jié)構(gòu)尺寸增大的問題[10]。展望微泵在植入式醫(yī)療領(lǐng)域的發(fā)展,低電壓驅(qū)動(dòng)成為必要條件,這為提高壓電無(wú)閥微泵輸出流量帶來(lái)巨大挑戰(zhàn)。因此,如何在微型化和低電壓驅(qū)動(dòng)條件下實(shí)現(xiàn)大流量輸出是壓電無(wú)閥微泵的研究重點(diǎn)。本文提出了一種雙層泵腔壓電無(wú)閥植入式微泵,將較大直徑的泵腔疊加于泵體(包含底層泵腔與噴嘴擴(kuò)散微閥)上,這一方面提高了壓電振子的致動(dòng)面積,從而增大了流量;另一方面解決了傳統(tǒng)模式下泵腔與微閥同水平面分布所帶來(lái)的體積增大問題,實(shí)現(xiàn)了微型化設(shè)計(jì)。利用COMSOL耦合仿真及實(shí)驗(yàn)測(cè)試驗(yàn)證了雙層泵腔結(jié)構(gòu)的有效性,優(yōu)化了微泵結(jié)構(gòu)(微閥及泵深),探究了頻率及電壓對(duì)輸出流量的影響。

      1 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及工作原理

      雙層壓電無(wú)閥微泵結(jié)構(gòu)如圖1(a)所示。整體尺寸為10 mm ×10 mm×4 mm。壓電振子由壓電陶瓷和金屬基片組成。泵膜置于壓電振子及上泵腔之間,傳遞驅(qū)動(dòng)力及流體阻力。上層泵腔粘附于泵體上,為壓電振子提供更大的致動(dòng)空間。微閥部分納入泵腔內(nèi),上層泵腔內(nèi)的流體流經(jīng)微閥,增大了微閥在不同方向的壓力差,提高了微閥的整流效率。微閥、底層泵腔和進(jìn)出口相連集成為泵體,實(shí)現(xiàn)流體流通及定向。

      圖1 分層泵腔壓電微泵結(jié)構(gòu)及工作原理示意圖

      分層壓電無(wú)閥微泵的工作原理如圖1(b)所示。壓電振子作為壓電無(wú)閥微泵的致動(dòng)元件,基于逆壓電效應(yīng)在正弦信號(hào)激勵(lì)下產(chǎn)生下凹或上凸的彎曲變形,致使泵腔內(nèi)體積和壓力發(fā)生周期性變化,流體同時(shí)從入口、出口流出或流入。噴嘴擴(kuò)散微閥作為整流元件,由于在噴嘴和擴(kuò)散兩個(gè)流向的壓力損失不同,導(dǎo)致微泵內(nèi)流體最終呈單向流動(dòng)。

      壓電振子的結(jié)構(gòu)組成及簡(jiǎn)化的幾何模型如圖2(a)所示。將壓電振子的形變簡(jiǎn)化為圓弧狀,產(chǎn)生的振幅[11]為

      (1)

      式中:r為泵腔半徑;δ為壓電振子總厚度;d31為壓電應(yīng)變常數(shù);U為驅(qū)動(dòng)電壓。

      圖2 壓電無(wú)閥微泵的理論計(jì)算模型

      泵腔內(nèi)體積形變量ΔV與泵腔半徑r、電壓U的關(guān)系為

      (2)

      (3)

      式中:f為驅(qū)動(dòng)頻率;η為微閥的整流效率。

      由式(3)可知,當(dāng)微閥整流效率η、δ及驅(qū)動(dòng)條件一定時(shí),Q與r4成正比關(guān)系。因此,增大泵腔的直徑可提高微泵的輸出流量。

      微閥的幾何模型如圖2(b)所示,幾何特征尺寸主要包括擴(kuò)散角2θ、長(zhǎng)度L、頸寬w1和w2,其直接影響了微閥的整流效率η[12]。對(duì)于雙層泵腔微泵,入口、出口和泵腔的截面分別為Ai、Ao、Ac,假設(shè)流體不可壓縮,沿流動(dòng)方向的伯努利方程為

      (4)

      式中:P為橫截面處的靜壓;h為流體的中心高度;v為橫截面的平均速度;g為重力系數(shù);下標(biāo)i、c分別表示入口和泵腔的截面位置。

      由連續(xù)定理可知,Aivi=Acvc,且Aivc。微閥在擴(kuò)散和噴嘴方向上的壓力損失系數(shù)ξd、ξn為

      (5)

      式中:ΔPc-i(o)為流體從泵腔流至入口(出口)的壓力差;ρ為流體密度。

      噴嘴擴(kuò)散微閥的η為收縮方向壓力損失系數(shù)與擴(kuò)散方向壓力損失系數(shù)的比值,即:

      (6)

      (7)

      對(duì)于單層泵腔,微閥的整流效率[13]為

      (8)

      一般ξn>ξd,則ηs>1,通常ηs=1~5,則雙層泵腔的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠提高微閥的整流效率μ倍。

      由式(3)、(6)和(8)可知,增大泵腔直徑及優(yōu)化微閥特征尺寸(包括w1、w2和2θ)是提高微泵流量的研究重點(diǎn)。

      2 有限元耦合分析

      2.1 壓電振子的壓電耦合仿真

      圖3(a)為壓電振子在電壓激勵(lì)下的形變結(jié)果。

      圖3 壓電振子的壓電耦合及模態(tài)分析

      壓電陶瓷片選用 PZT-5A型,該壓電材料的耦合系數(shù)高,介電常數(shù)低,適合作為壓電微泵的驅(qū)動(dòng)元件。金屬基片材料為黃銅,中間層材料為環(huán)氧樹脂。根據(jù)初始微泵尺寸設(shè)計(jì)要求, 微泵的結(jié)構(gòu)尺寸及材料屬性如表1所示。

      表1 微泵的結(jié)構(gòu)尺寸及材料屬性

      設(shè)壓電振子外沿為固定約束,對(duì)固體力學(xué)部分施加瑞利阻尼。在壓電陶瓷上表面施加交流信號(hào)V=V0sin(2πft),V0=12 V,f=100 Hz。振動(dòng)幅值隨距中心位置和電壓變化的曲線如圖3(b)所示。由圖可看出,壓電振子的振幅隨電壓的增大而增大,且中心位置振幅最大。當(dāng)電壓為12 V,頻率為100 Hz時(shí)產(chǎn)生最大振幅為0.38 μm。對(duì)壓電振子進(jìn)行模態(tài)分析可得一~四階模態(tài),如圖3(c)所示。一~四階模態(tài)對(duì)應(yīng)頻率實(shí)部分別為25.9 kHz、 42.2 kHz、42.5 kHz、72.1 kHz。二~四階特征頻率下壓電振子形變對(duì)稱,體積變化量幾乎為0,不適用于微泵驅(qū)動(dòng)。因此,驅(qū)動(dòng)頻率應(yīng)小于一階固有頻率,用于保證呈現(xiàn)單向下凹或上凸的振型。

      2.2 微泵的電-固-液三相耦合仿真

      基于控制方程獲得微泵流量準(zhǔn)確的分析結(jié)果較難,因此,數(shù)值模擬是預(yù)測(cè)微泵輸出性能的有效方法。本文采用電-固-液三相耦合研究方法,壓電耦合模塊從流固耦合模塊收集電壓和動(dòng)態(tài)壓力信息,求解機(jī)電方程式以提供位移場(chǎng),考慮固體結(jié)構(gòu)的瑞利阻尼。位移數(shù)據(jù)用于求解流固模塊的Navier-Stokes方程。微泵的幾何模型及網(wǎng)格獨(dú)立性分析結(jié)果如圖4所示。在COMSOL中建立微泵的耦合幾何模型,包括壓電振子、泵膜、上泵腔及泵體(包括下泵腔及微閥)內(nèi)的工作流體。

      圖4 微泵電-固-液耦合仿真幾何模型及網(wǎng)格獨(dú)立性研究

      設(shè)初始驅(qū)動(dòng)條件為12 V、100 Hz的正弦電壓(V=V0sin(2πft)),泵膜及泵體材料選擇聚二甲硅氧烷(PDMS),工作流體為水,微泵的結(jié)構(gòu)尺寸及材料參數(shù)見表1。

      雙層泵腔微泵的工作模式如圖5(a)所示。在泵入(出)模式下,泵膜向外(內(nèi))偏轉(zhuǎn),產(chǎn)生上凸(下凹)形變,泵腔內(nèi)壓力減小(增大),流體同時(shí)通過入口和出口泵入(出)。進(jìn)出口流速曲線如圖5(b)所示,表明入口流速和出口流速受驅(qū)動(dòng)電壓影響呈正弦的變化趨勢(shì)。泵入模式下,入口流速大于出口流速,泵出模式下情況相反。因此,微泵內(nèi)流體呈定向流動(dòng),驗(yàn)證了噴嘴擴(kuò)散微閥對(duì)流體的定向整流作用。

      圖5 雙層泵腔壓電微泵工作模式及流速圖

      微閥的尺寸優(yōu)化對(duì)于微泵輸出性能的改善具有重要作用。設(shè)初始固定參數(shù)為擴(kuò)散角2θ=20°,噴嘴擴(kuò)散微閥長(zhǎng)度L=1.28 mm,則w1對(duì)微泵凈流量的影響如圖6(a)所示。由圖可知,微閥的最佳頸寬值為300 μm。“阻塞效應(yīng)”導(dǎo)致在較低頸寬值下微泵的凈流量較小,當(dāng)頸寬達(dá)到最優(yōu)值后,由于流入、流出方向壓力損失差距縮小,故微閥的整流效率及凈流量降低。

      圖6 不同結(jié)構(gòu)參數(shù)及驅(qū)動(dòng)參數(shù)對(duì)凈流量的影響

      固定w1=200 μm,L=1.28 mm,則2θ對(duì)微泵凈流量的影響如圖6(b)所示。由圖可看出,噴嘴擴(kuò)散微閥的最佳擴(kuò)散角為30°。擴(kuò)散角越小,整流效率越低(噴嘴和擴(kuò)壓器的阻力相同),因此,凈流量隨著擴(kuò)散角的增加而增加。擴(kuò)散角過大,易產(chǎn)生分流現(xiàn)象,從而導(dǎo)致凈流速降低。

      為確定分層泵腔深度的最優(yōu)值,在上述微閥的最優(yōu)參數(shù)組合確定的情況下,獲得了凈流量隨上層泵腔深度h變化的曲線,如圖6(c)所示。由圖可看出,泵腔深度最優(yōu)值h=100 μm, 與單層泵腔微泵相比,其流量提高了4.5倍。當(dāng)h過小時(shí),流體阻力過大,阻礙流體的流入及流出;當(dāng)h過大時(shí),由于壓電振子的振幅一定,而流體抵抗壓電振子形變的阻力增大,致使微泵的驅(qū)動(dòng)力損耗,流量降低。

      根據(jù)式(3)可知,電壓及頻率對(duì)微泵輸出流量影響較大。設(shè)仿真模型的L=1.28 mm,2θ=30°,w1=300 μm,h=100 μm,則針對(duì)頻率進(jìn)行參數(shù)掃描,結(jié)果如圖6(d)所示。由圖可看出,低雷諾數(shù)條件下壓電微泵的有效驅(qū)動(dòng)頻域?yàn)?0~1 500 Hz的低頻區(qū)段。高頻率驅(qū)動(dòng)下,由于壓電振子的振動(dòng)幅值較小,流體遲滯效應(yīng)致使微泵流量較低,不適用于壓電微泵驅(qū)動(dòng)。

      基于上述耦合仿真研究,確定了微泵的最佳設(shè)計(jì)參數(shù)及驅(qū)動(dòng)頻率。圖6(e)為凈流量隨電壓變化的曲線。與式(3)分析相同,微泵的輸出流量隨電壓值的增大而提高。經(jīng)分析可知,由于壓電振子產(chǎn)生的振幅與電壓幅值呈正相關(guān),因此,該分層泵腔壓電無(wú)閥微泵具有流量調(diào)節(jié)功能。

      3 微泵制作及測(cè)試

      3.1 微泵制作

      采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝與激光切割技術(shù)制造微泵。在涂有BN303的玻璃片上旋涂SU-8光刻膠,利用光刻法將掩膜板上的圖案轉(zhuǎn)移至光刻膠上,經(jīng)85 ℃熱烘1.5 h后利用專用顯影液顯影;利用乙醇及去離子水清潔模具表面,將PDMS澆注模具經(jīng)85 ℃熱烘2 h后脫模獲得泵體。利用激光切割工藝切割PET薄膜獲得上層泵腔。利用等離子處理及APTES溶液涂覆法將泵腔、泵膜和泵體進(jìn)行鍵合。將壓電振子膠合在泵膜上,完成微泵制作,如圖7所示。

      圖7 雙層泵腔壓電無(wú)閥微泵實(shí)物圖

      3.2 微泵測(cè)試

      實(shí)驗(yàn)平臺(tái)由驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、微型泵模塊和觀測(cè)系統(tǒng)組成。信號(hào)發(fā)生器(Siglent, SDG1020)用于向微型泵施加正弦交流信號(hào)(0~6 V)。功率放大器(Lylij LYC-300B)用于放大信號(hào)電壓(12~28 V)。工作流體為去離子水。利用體視顯微鏡觀察和測(cè)量一段時(shí)間內(nèi)微通道內(nèi)的流體體積,得到輸出流量值。測(cè)量電壓、雙層泵腔結(jié)構(gòu)及擴(kuò)散角對(duì)微泵流量的影響,結(jié)果如圖8所示。

      圖8 不同結(jié)構(gòu)參數(shù)及驅(qū)動(dòng)參數(shù)對(duì)凈流量的影響

      根據(jù)仿真優(yōu)化結(jié)果設(shè)計(jì)微泵的L=1.28 mm、w1=300 μm。如圖8(a)所示,一定的電信號(hào)(21 V,100 Hz)下,分層結(jié)構(gòu)可顯著提高微泵的輸出流量,最高可達(dá)5.38倍。擴(kuò)散角對(duì)分層微型泵的作用與單層相同,最佳值為2θ=30°。初始隨著2θ的增加,微型泵的流量增加;當(dāng)2θ>30°時(shí),微型閥的整流效果降低,微型泵的輸出流量顯著降低。

      實(shí)驗(yàn)過程中,通過操作裝置(12~28 V,100 Hz)調(diào)整幅度,以觀察電壓對(duì)流速的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果與仿真結(jié)果趨勢(shì)吻合,微型泵的輸出流量與電壓幅值呈線性關(guān)系。微型泵的輸出流量為2.16~51.74 μL/min,可通過調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓的幅值來(lái)達(dá)到所需流量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了電-固-液耦合仿真的可行性,對(duì)微流控系統(tǒng)的研究具有參考意義。

      4 結(jié)束語(yǔ)

      本文提出了一種雙層泵腔壓電無(wú)閥微泵設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了微泵在低電壓及微型體積下大流量范圍的輸出。通過對(duì)壓電振子及噴嘴擴(kuò)散微閥的理論分析,探究了微泵流量與泵腔直徑、微閥結(jié)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)參數(shù)的關(guān)系。建立COMSOL仿真模型,利用壓電耦合及電-固-液三相耦合方法,優(yōu)化了微泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)參數(shù)及驅(qū)動(dòng)條件。微閥擴(kuò)散角的最優(yōu)值為30°,頸寬最優(yōu)值為300 μm,上層泵腔的最佳厚度為100 μm。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了仿真結(jié)果的正確性,雙層泵腔微泵輸出流量是傳統(tǒng)單層泵腔輸出流量的5.38倍。微泵輸出流量與電壓呈正比,且在12~28 V內(nèi)可實(shí)現(xiàn)2.16~51.74 μL/min內(nèi)的流量調(diào)節(jié)。本文提出的新型微泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),將有助于推動(dòng)微泵在植入式醫(yī)療等相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展。

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