紅外線吸收式氣體分析計(jì)
公開號(hào):CN102401787A 公開日:2012.04.04
申請(qǐng)人:株式會(huì)社島津制作所
將紅外線吸收式氣體分析計(jì)使用于SO2的檢測(cè)目的時(shí),檢測(cè)器的室內(nèi)的SO2和流量傳感器的元件的Ni反應(yīng),產(chǎn)生流量傳感器元件斷線的問題。本發(fā)明的目的在于提供一種防止流量傳感器的Ni元件的腐蝕,延長(zhǎng)流量傳感器的耐用期間的紅外線吸收式氣體分析計(jì)。推定出在Ni元件的正常部側(cè)面僅表面附著有NiSO4,在腐蝕部NiS2生成到其深部。因此,Ni被SO2硫化而生成NiS2時(shí),Ni被腐蝕到深部而造成斷線,但即使Ni與SO2反應(yīng),如果作為NiSO4僅停留在表面而不發(fā)展到深部的話,就不會(huì)產(chǎn)生斷線的問題。又,可知Ni在100℃以下作為NiSO4存在,在100℃以上則生成NiS2。因此,通過將流量傳感器的電阻金屬箔23、24的溫度設(shè)定在100℃以下,可以防止NiS2的生成。