單晶硅生產(chǎn)中氬氣回收純化裝置

申請 (專利)號:201220111489.6

公開 (公告)日:2012-11-07

申請 (專利權(quán))人:杭州杭氧股份有限公司

一種單晶硅生產(chǎn)中氬氣回收純化裝置，該裝置包括:一用于對從單晶爐中收集的氬氣進行粗油過濾的粗油過濾器;在所述粗油過濾器之后依次相連有氬氣壓縮機和一水冷卻器，并在其后相連有可除去氬氣中油霧和固體顆粒高精度除油系統(tǒng);一依次通過加熱器和回?zé)崞飨嘟佑谒龈呔瘸拖到y(tǒng)的一級催化反應(yīng)器以及通過所述回?zé)崞飨嘟佑谒鲆患壌呋磻?yīng)器的二級催化反應(yīng)器;一組至少由兩只吸附器構(gòu)成的常溫吸附單元相接于所述的二級催化反應(yīng)器;所述常溫吸附單元通過一低溫板式換熱器以及節(jié)流閥連通于低溫精餾塔，在該低溫精餾塔的底部設(shè)置有純液氬產(chǎn)品出口;它具有氬氣回收率高，回收氬氣純度高，氧氣含量低，回收純化能耗低等特點。

一種用于三氯氫硅生產(chǎn)的除塵系統(tǒng)

申請 (專利)號:201220489930.4

公開 (公告)日:2013-03-13

申請 (專利權(quán))人:華陸工程科技有限責(zé)任公司

摘要:本實用新型涉及一種用于三氯氫硅生產(chǎn)的除塵系統(tǒng)，包括洗滌塔和洗滌塔頂部的冷凝器，還包括文丘里洗滌器、氣液分離罐和循環(huán)泵，氣液分離罐一端與文丘里洗滌器連接，另外兩端分別與氣體進口和液體進口連接;循環(huán)泵一端與文丘里洗滌器連接，另一端與液體出口連接。其中洗滌塔上部的直徑小于下部的直徑，上部為穿流板和篩板相結(jié)合的結(jié)構(gòu)型式，下部設(shè)有內(nèi)件擋板。本實用新型提供的除塵系統(tǒng)對旋風(fēng)除塵后的反應(yīng)氣體進行了進一步的處理，反應(yīng)氣體中含有的高沸物、金屬氯化物以及微量的細(xì)小硅粉在該裝置中被除去，使得反應(yīng)氣體在進入冷凝系統(tǒng)時不會堵塞管道和設(shè)備，減輕了三氯氫硅中金屬氯化物和高沸物的污染，并為裝置的連續(xù)穩(wěn)定運行提供了保障。

動態(tài)標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生器

申請 (專利)號:201220273322.X

公開 (公告)日:2013-01-02

申請 (專利權(quán))人:重慶瑞信氣體有限公司

摘要:本實用新型提出了一種動態(tài)標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生器。它包括一個小流量質(zhì)量流量控制器和一個大流量質(zhì)量流量控制器，所述小流量質(zhì)量流量控制器和大流量質(zhì)量流量控制器通過管路采用雙路并聯(lián)連接的方式，還包括與雙路并聯(lián)管路連接的背壓閥。本實用新型的優(yōu)點是當(dāng)采用上述結(jié)構(gòu)以后，本實用新型的動態(tài)標(biāo)準(zhǔn)氣發(fā)生器利用各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)滲透管可獲得不同含量該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)氣體;還可對瓶裝高濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體進行稀釋，即可獲得該標(biāo)準(zhǔn)氣體的微量含量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。

氬氣的提純方法及提純裝置

申請 (專利)號:201110308094.5

公開 (公告)日:2012-12-05

申請 (專利權(quán))人:住友精化株式會社

摘要:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是在吸附處理的前處理階段降低氬氣的雜質(zhì)含有率，減少提純所需的能量，并以高純度對氬氣進行提純。本發(fā)明的技術(shù)方案是在對至少含有氧、氫、一氧化碳、烴、油分、氮的氬氣進行提純時，使烴的一部分和油分被活性炭吸附;然后，如果氬氣中的氧量在與氫、一氧化碳、烴的全部進行反應(yīng)所需的氧的設(shè)定量以下，則添加氧以使其量超過設(shè)定量，并使用催化劑以使該反應(yīng)進行;然后，在氬氣中添加一氧化碳以使其量超過與前述反應(yīng)所殘留的全部氧進行反應(yīng)所需的設(shè)定量，使用釕、鈀、或它們混合而成的催化劑以使該反應(yīng)進行。然后，使氬氣中的一氧化碳、二氧化碳、水、氮通過變壓吸附法被吸附劑吸附。