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      乙硅烷的制備*

      2013-12-25 03:21:22余京松沃銀花
      低溫與特氣 2013年1期
      關(guān)鍵詞:反應(yīng)式硅烷液態(tài)

      余京松,沃銀花

      (浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料研究所,浙江杭州 310027)

      乙硅烷與硅烷相比有三個(gè)明顯的特點(diǎn):其一,產(chǎn)量稀少,全世界每年硅烷的產(chǎn)量有幾萬(wàn)噸,而乙硅烷全世界每年的產(chǎn)量只有5~10 t左右。其二,制備乙硅烷的方法也相當(dāng)少,實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)化制備硅烷的方法有幾十種,而制備乙硅烷的方法大概不會(huì)超過(guò)十來(lái)種。其三,技術(shù)含量高,產(chǎn)品的附加值也高,目前國(guó)內(nèi)硅烷的價(jià)位每噸在25~60萬(wàn)人民幣之間。而乙硅烷的價(jià)位每噸在500萬(wàn)人民幣以上,市場(chǎng)上是有價(jià)無(wú)貨。

      1987~1990年,浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料研究所曾把乙硅烷的制備技術(shù)作為所里自選研究課題,經(jīng)過(guò)三年的努力,成功地在硅烷生產(chǎn)線上同時(shí)生產(chǎn)得到乙硅烷。當(dāng)時(shí)因國(guó)內(nèi)沒(méi)有乙硅烷用戶,市場(chǎng)需求為零,這項(xiàng)研究成果才沒(méi)有在國(guó)內(nèi)推廣應(yīng)用。

      2011年12月28日,上海一位朋友帶了江蘇一家外國(guó)氣體公司的兩位老總來(lái)杭州,他們問(wèn)中國(guó)能不能生產(chǎn)乙硅烷。我說(shuō)可以,以前我就搞過(guò)并且出過(guò)樣品,他們問(wèn),什么時(shí)間出產(chǎn)品?我說(shuō)明年下半年就可以。2012年下半年,浙江賽林硅業(yè)有限公司已經(jīng)生產(chǎn)得到10 kg左右的乙硅烷。乙硅烷國(guó)產(chǎn)化應(yīng)該沒(méi)有問(wèn)題。

      1 乙硅烷的制備方法

      1.1 以硅烷為初始原料制備乙硅烷

      以硅烷為初始原料通過(guò)光解、輝光放電、原子激發(fā)、靜電場(chǎng)、熱分解等方法都有可能使SiH4轉(zhuǎn)化為乙硅烷。反應(yīng)式:

      這些方法中如光解、輝光放電、原子激發(fā)等都是在硅烷壓力很低 (幾乇至一、二十乇)的條件下進(jìn)行的,其實(shí)用價(jià)值不高。

      1952年,F(xiàn)rit z曾介紹將6 mL液態(tài)硅烷通過(guò)一個(gè)470~480℃的熱管,壓力為133 Pa,能得到0.5 mL的液態(tài)乙硅烷。硅烷通過(guò)熱分解的方法制備乙硅烷面臨的主要問(wèn)題是乙硅烷的轉(zhuǎn)化率比較低,只有8%左右,并且很容易產(chǎn)生棕黃色無(wú)定形(SiH2)固態(tài)物質(zhì)。

      比較實(shí)用、又經(jīng)濟(jì)可行的方法是靜電場(chǎng)轉(zhuǎn)化法。該方法是讓硅烷通過(guò)一個(gè)類(lèi)似于臭氧發(fā)生的靜電場(chǎng)。電場(chǎng)強(qiáng)度約為18 kV/cm,在電場(chǎng)裝置后面串聯(lián)一個(gè)-134℃的冷阱,整個(gè)裝置組成一個(gè)封閉的循環(huán)系統(tǒng)。產(chǎn)生的乙硅烷在冷阱中冷凝下來(lái),未反應(yīng)的硅烷重新進(jìn)入靜電場(chǎng)。

      以初始硅烷的壓力為150 mmHg、運(yùn)行約5 h的實(shí)驗(yàn)為例,其中有63%的SiH4轉(zhuǎn)為高階硅烷,其中乙硅烷占66%,丙硅烷為23%,更高階的硅烷為11%。

      1.2 鹵代乙硅烷還原法

      用氫化鋁鋰 (LiAlH4)還原六氯乙硅烷(Si2Cl6)制備乙硅烷。反應(yīng)式:

      將氫化鋁鋰的乙醚溶液慢慢加入處于真空和0℃下的六氯乙硅烷的乙醚溶液中,氫化鋁鋰過(guò)量15%。這種方法六氯乙硅烷的轉(zhuǎn)化率達(dá)到87%,產(chǎn)物中大部分是乙硅烷,只有少量的是甲硅烷。

      應(yīng)該注意:如果不是把氫化鋁鋰溶液加入六氯乙硅烷溶液,而是把六氯乙硅烷溶液加入過(guò)量的氫化鋁鋰溶液中,則主要產(chǎn)物是甲硅烷,只有少量的是乙硅烷。

      1.3 硅與氫直接合成

      Tachiki等人曾介紹,將硅與氫一起加壓、加熱,并用氫和重金屬銅、銀、鉑、汞等的硫化物或者它們的混合物作催化劑,會(huì)產(chǎn)生各種硅烷,通過(guò)控制氫的壓力,可以控制生成硅烷的種類(lèi)。反應(yīng)式:

      注:在介紹硅與氫直接進(jìn)行氫化反應(yīng)制備硅烷時(shí),我們?cè)?jīng)發(fā)表過(guò)這樣的議論:普遍的看法,認(rèn)為具有金剛石結(jié)構(gòu)的硅晶體非常穩(wěn)定,直接在低溫下由硅、氫合成硅烷是不可能的。在較高溫度下,雖然硅的活性增大,但硅烷在高于400℃時(shí)會(huì)分解,因此直接合成硅烷也是不可能的。該議論也同樣適用于乙硅烷的制備。

      不過(guò)這種制備乙硅烷的方法畢竟是我們的前人曾經(jīng)研究過(guò)的一種方法,是否可行只有作更深的研究以后再作結(jié)論。

      1.4 硅化鎂與無(wú)機(jī)酸反應(yīng)

      在實(shí)驗(yàn)室制備硅烷的方法中我們?cè)榻B說(shuō)“采用硅化鎂與無(wú)機(jī)酸的化學(xué)反應(yīng)制備硅烷,其特點(diǎn)之二,就是該反應(yīng)產(chǎn)生高階硅烷如乙硅烷、丙硅烷等比較多?!狈磻?yīng)式:

      只要對(duì)SiH4和Si2H6進(jìn)行有效分離,即可得到乙硅烷。

      1.5 硅化鎂與氯化銨反應(yīng)

      在實(shí)驗(yàn)室制備硅烷的方法中,我們也曾介紹硅化鎂與氯化銨反應(yīng)合成硅烷的過(guò)程。該反應(yīng)主要產(chǎn)品是硅烷。但它同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生高階硅烷,如乙硅烷就約占3% 左右。反應(yīng)式:

      有文獻(xiàn)資料報(bào)告,硅與鎂在500~900℃下合成硅化鎂,它僅僅是以一種Mg2Si的形式存在,可得到的幾乎全是甲硅烷。倘若硅化物是在400~500℃下合成的,就會(huì)出現(xiàn)高階硅化鎂,如Mg2Si2。這種硅化物有利于形成乙硅烷。

      我們認(rèn)為目前國(guó)內(nèi)外可以形成小批量商業(yè)性生產(chǎn)乙硅烷的方法有兩種。

      一種就是鹵代乙硅烷還原法,這種方法在本文的方法之二,我們已經(jīng)介紹過(guò)。估計(jì)美國(guó)生產(chǎn)乙硅烷可能就是采用這種方法的。

      另一種方法就是采用硅化鎂與氯化銨在液氨介質(zhì)中進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。在得到高純硅烷的同時(shí)也可以得到高純乙硅烷。不過(guò)其技術(shù)難點(diǎn)有二:一是如何把乙硅烷從甲硅烷中進(jìn)行有效分離。二是如何從硅烷反應(yīng)釜的廢渣中分離提取乙硅烷。

      2 乙硅烷制備過(guò)程中的一次意外發(fā)現(xiàn)

      如果有人問(wèn),液態(tài)硅烷流出容器灑落在地面上那將是一種什么樣的后果?我的回答,不知道,我沒(méi)有這種經(jīng)歷,也不敢去經(jīng)歷這種事態(tài)的發(fā)生。但是液態(tài)乙硅烷流出氣瓶灑落在室內(nèi)的地面上,千真萬(wàn)確地被我們遇上了。

      1987~1990年,我們所自選了“乙硅烷制備技術(shù)”這項(xiàng)研究課題。當(dāng)時(shí)在8 L鋁合金的氣瓶中獲取1 kg左右乙硅烷后,準(zhǔn)備提取一些樣品去進(jìn)行分析,在場(chǎng)的有我和另一名研究生。因?yàn)樗狈?jīng)驗(yàn)又操之過(guò)急,把減壓閥的膜片給頂破,液態(tài)乙硅烷便流出鋼瓶,并灑落在光滑的地面上。幸運(yùn)的是它沒(méi)有發(fā)生激烈燃燒,也沒(méi)有發(fā)生爆炸,液態(tài)乙硅烷只是形成一顆顆小珠子在光滑的地面上滾動(dòng),靜靜地在地面上燃燒,燃燒的小火球溫度不高,因?yàn)榛鸸獬书冱S色并帶有煙。

      意外的事情誰(shuí)都不希望發(fā)生,但是有時(shí)意外會(huì)不知不覺(jué)地出現(xiàn)在你的面前。我們的這次意外沒(méi)有造成生命危險(xiǎn),只是讓我們多長(zhǎng)進(jìn)一點(diǎn)知識(shí)而已,算是意外中的意外吧。

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