綜合利用MOCVD設(shè)備尾氣的裝置

申請(qǐng)(專利)號(hào):201420277522.1

公開(公告)日:2014－11－26

申請(qǐng)(專利權(quán))人:安徽亞格盛電子新材料有限公司

本實(shí)用新型提供一種綜合利用MOCVD設(shè)備尾氣的裝置，MOCVD的尾氣通過(guò)管道進(jìn)入低壓緩沖罐，低壓緩沖罐通過(guò)壓縮機(jī)連接于高壓緩沖罐，高壓緩沖罐管道連接于預(yù)冷交換器上，預(yù)冷交換器下端管道連接有低溫冷凝器，低溫冷凝器下方管道連接有氣液分離器，氣液分離器的下端通過(guò)液氨泵與液氨儲(chǔ)槽連接、頂端管道連接于分子篩吸附柱上，分子篩吸附柱上端連接在變壓吸附柱上，變壓吸附柱管道連接于氫氣儲(chǔ)罐。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠?qū)OCVD尾氣進(jìn)行有效分離，液氨和氫氣被回收，可直接應(yīng)用到其他行業(yè)，氮?dú)饪梢灾苯优欧?，綜合利用率高，且沒(méi)有安全和環(huán)保的問(wèn)題。