賈相華　黃海亮　付斯年　朱瑞華　左桂鴻　曹洪忠　李月英

摘要：利用磁控濺射在玻璃基片上制備了不同襯底溫度下的ZnO薄膜，借助X射線衍射儀（XRD）、吸收光譜、光致發(fā)光譜（PL）等手段研究了襯底溫度對ZnO薄膜的微結(jié)構(gòu)、光致發(fā)光性能的影響，結(jié)果表明：所有樣品均呈現(xiàn)ZnO六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)且具有高度c軸擇優(yōu)取向；ZnO薄膜在可見區(qū)的吸收系數(shù)很小，在紫外區(qū)有很高的吸收系數(shù)；室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較強的紫光發(fā)射。

關(guān)鍵詞：ZnO薄膜；襯底溫度；光致發(fā)光譜

摘要：利用磁控濺射在玻璃基片上制備了不同襯底溫度下的ZnO薄膜，借助X射線衍射儀（XRD）、吸收光譜、光致發(fā)光譜（PL）等手段研究了襯底溫度對ZnO薄膜的微結(jié)構(gòu)、光致發(fā)光性能的影響，結(jié)果表明：所有樣品均呈現(xiàn)ZnO六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)且具有高度c軸擇優(yōu)取向；ZnO薄膜在可見區(qū)的吸收系數(shù)很小，在紫外區(qū)有很高的吸收系數(shù)；室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較強的紫光發(fā)射。

關(guān)鍵詞：ZnO薄膜；襯底溫度；光致發(fā)光譜

摘要：利用磁控濺射在玻璃基片上制備了不同襯底溫度下的ZnO薄膜，借助X射線衍射儀（XRD）、吸收光譜、光致發(fā)光譜（PL）等手段研究了襯底溫度對ZnO薄膜的微結(jié)構(gòu)、光致發(fā)光性能的影響，結(jié)果表明：所有樣品均呈現(xiàn)ZnO六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)且具有高度c軸擇優(yōu)取向；ZnO薄膜在可見區(qū)的吸收系數(shù)很小，在紫外區(qū)有很高的吸收系數(shù)；室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較強的紫光發(fā)射。

關(guān)鍵詞：ZnO薄膜；襯底溫度；光致發(fā)光譜