劉云潔 張文晗
(西安微電子技術研究所,西安 臨潼 710600)
謝偉力
(伊達斯電子科技有限公司,湖北 武漢 430073)
目前,多層板在層壓前給出層壓模式圖,雖然有效的避免了操作者依靠經(jīng)驗判定使用哪種類型的半固化片、使用幾張等,但由于給定層壓模式圖時考慮不全、方法不科學等問題,在多層板層壓后有時會出現(xiàn)板厚超標現(xiàn)象,導致產(chǎn)品報廢,造成成本浪費、進度拖延等。
為了有效控制層壓板厚,本文從原材料的厚度、半固化片厚度、各層殘銅率、銅箔厚度等各方面經(jīng)過大量實驗準確得出板厚的控制方法。
一般壓合后多層板理論厚度計算方法如圖1(以四層板為例)。
總板厚H=h-T(1-L2)+ h-T(1-L3)+內(nèi)外層基材厚度+內(nèi)外層銅箔厚度
同理可推出n層板的計算公式:
H=h-T[1-L(n-1)]-hT[1-L(n-2)]+h-T[1-L(n-3)]-hT[1-L(n-4)]+……+內(nèi)外層基材厚度+內(nèi)外層銅箔厚度
h——PP100%殘銅壓合后厚度(mm);T——內(nèi)層銅厚(mm);L2——2層殘銅率;L3——3層殘銅率;Ln——n層殘銅率;
從上述理論分析可知:要準確控制多層板厚度,必須知道PP100%殘銅時壓合厚度、基材厚度、各內(nèi)層殘銅率、內(nèi)外層銅箔厚度。
2.1.1 實驗方案
將S11411080、2116分別疊1張、2張、3張、4張進行壓合。
2.1.2 實驗測試數(shù)據(jù)及結(jié)果(表1、表2)
表1 S11411080壓合后半固化片的厚度(100%殘銅) 單位:mm
表2 S11412116壓合后半固化片的厚度(100%殘銅) 單位:mm
2.1.3 驗證
為了驗證S11411080、2116100%殘銅時單張薄片壓合厚度,設計將1080與2116進行混壓,結(jié)果見表3。
表3
2.1.4 實驗結(jié)論
100%殘銅時S11411080壓合后單張半固化片的厚度:72 mm;
100%殘銅時S11411080邊緣與中間厚度差值:3 mm。
100%殘銅時S11412116壓合后單張半固化片的厚度:116 mm;
100%殘銅時S11412116邊緣與中間厚度差值:7 mm。
2.2.1 實驗方案
將S1000-21141、2116分別疊1張、2張、3張、4張進行壓合。
2.2.2 實驗測試數(shù)據(jù)及結(jié)果(表4、表5)
表4 S1000-21080壓合后半固化片的厚度(100%殘銅) 單位:mm
表5 S1000-22116壓合后半固化片的厚度(100%殘銅)單位:mm
2.2.3 驗證
為了驗證S1000-2 1080、2116100%殘銅時單張薄片壓合厚度,設計將1080與2116進行混壓,結(jié)果見6。
表6
2.2.4 實驗結(jié)論
100%殘銅時S1000-21080壓合后單張半固化片的厚度:73 mm;
100%殘銅時S1000-21080邊緣與中間厚度差值:6 mm。
100%殘銅時S1000-22116壓合后單張半固化片的厚度:123 mm;
100%殘銅時S1000-22116邊緣與中間厚度差值:5 mm。
表7
對目前使用的各種薄片蝕刻成光板后測量厚度,以統(tǒng)計每種薄片的厚度(表7)。
結(jié)論:(1)使用的薄片厚度,如:0.201/1其厚度0.20 mm指的是基材的厚度,不包括表面銅厚。(2)從上表數(shù)據(jù)平均值可得出,實際測量數(shù)據(jù)與標識數(shù)據(jù)僅相差10微米,在計算板厚時可忽略不計,直接使用標識數(shù)據(jù)即可。
內(nèi)層薄片在層壓之前進行了圖形轉(zhuǎn)移和蝕刻,對于銅厚的損失僅有圖形轉(zhuǎn)移噴砂處理,為了得到準確的銅箔厚度數(shù)據(jù),測量金相圖片,對于生產(chǎn)線常用的幾種銅厚統(tǒng)計數(shù)據(jù)如表8。
表8
結(jié)論:(1)經(jīng)過噴砂處理后表面銅厚的損失很小。(2)在利用公式計算層壓板厚時,內(nèi)外層銅箔厚度可直接按照下料銅厚進行計算。
內(nèi)層線路圖形面積使用目前的工程準備多款軟件均可計算;
內(nèi)層薄片完全覆銅面積,目前事業(yè)部內(nèi)層薄片均使用400 mm×500 mm,其面積為20 dm2。
為了使計算方便,設計如下表格。在有顏色的部分輸入相應的數(shù)據(jù)(面積、各層底銅厚度、各層基材厚度、半固化片理論厚度),在最后一欄即顯示最終壓合后的板厚(表9)。
表9 多層板壓合后板厚計算表
結(jié)論:(1)利用此表可計算出層間半固化片壓合后的厚度及總的壓合板厚;(2)標準規(guī)定“多層板成品固化后,相鄰導線層間至少有90 mm的介質(zhì)材料”結(jié)合半固化片邊緣厚度與中間厚度有一定差值。在利用上表計算時,壓合后半固化片實際厚度結(jié)果不得小于97 mm。
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