國(guó)產(chǎn)IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡研制成功

沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院經(jīng)過(guò)2年多的技術(shù)攻關(guān)，成功研制出了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路（IC）光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品，其關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

該IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品可耐450℃高溫，利用自主研發(fā)的新工藝實(shí)現(xiàn)了非球面成形。其反射波長(zhǎng)范圍為300nm～440nm，反射率大于95%，達(dá)到了反射紫外光并濾除其它可見光的目的。據(jù)悉，該產(chǎn)品的成功開發(fā)，填補(bǔ)了該項(xiàng)技術(shù)的國(guó)內(nèi)空白，標(biāo)志著沈陽(yáng)儀表院在精密非球面加工和檢測(cè)技術(shù)、非球面耐高溫薄膜鍍制等方面取得了技術(shù)突破，將有力推動(dòng)我國(guó)光學(xué)薄膜行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。目前，該院已形成口徑55mm～362mm系列精密紫外反光鏡產(chǎn)品，還將推出645mm大口徑產(chǎn)品。 (機(jī) 經(jīng))