SiN_x:H膜沉積壓強(qiáng)與擴(kuò)散薄層電阻的匹配性研究
2016-05-17 04:32:14王敬蕊,蘇樹兵,諸葛霞
海峽科技與產(chǎn)業(yè) 2016年3期
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