多層薄膜、制造其的方法和包括其的電子產(chǎn)品
2016-05-30 01:29:25
科技創(chuàng)新導(dǎo)報 2016年19期
申請公布號：CN105779953A
申請公布日：2016.07.20
申請人：三星電子株式會社
地址：韓國京畿道水原市
發(fā)明人：趙真賢；劉炯準(zhǔn)；李瑞埈；鄭珉哲；鄭賢俊
Int. Cl.：C23C14/35（2006.01）I；C23C14/06（2006.01）I；C23C14/18（2006.01）I
優(yōu)先權(quán)：10-2015-0002476 2015.01.08 KR
摘 要：提供了一種多層薄膜以及在產(chǎn)品的表面上沉積多層薄膜的方法。所述多層薄膜具有結(jié)合到物體的包括非導(dǎo)電材料的第一層、結(jié)合到第一層的包括金屬材料的第二層以及結(jié)合到第二層的包括非導(dǎo)電材料的第三層。
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