高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸式測(cè)溫工具是發(fā)熱篩查的主要工具之一,其核心部件MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))紅外溫度傳感器長(zhǎng)期主要依賴進(jìn)口。近日,中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)電子院華東光電集成器件研究所通過(guò)技術(shù)攻關(guān),已完成傳感器芯片各類單項(xiàng)試驗(yàn),性能指標(biāo)精度達(dá)到0.1℃,抗干擾能力優(yōu)于目前市場(chǎng)主流產(chǎn)品(性能指標(biāo)精度為0.3℃)。
華東光電集成器件研究所在3月底完成芯片樣品研制,同時(shí)該所還采購(gòu)全自動(dòng)化組封裝關(guān)鍵設(shè)備、補(bǔ)充芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備,推動(dòng)傳感器芯片制造、組封裝的國(guó)產(chǎn)化,月產(chǎn)能從目前的2萬(wàn)顆提升到100萬(wàn)顆以上,4月初可大量投放市場(chǎng)。