半導(dǎo)體器件靜態(tài)直流參數(shù)能力比對(duì)方法

趙青蓮 張學(xué)洋 鄭曉紅

摘要：實(shí)驗(yàn)室間能力比對(duì)作為重要的外部質(zhì)量評(píng)價(jià)手段，被越來(lái)越多的實(shí)驗(yàn)室所采用，它不僅是質(zhì)量控制的一種有效方法，也是衡量各實(shí)驗(yàn)室間能力的一個(gè)重要手段。而半導(dǎo)體器件靜態(tài)直流參數(shù)是器件基本參數(shù)之一，是半導(dǎo)體器件篩選環(huán)節(jié)必檢項(xiàng)目。該文以半導(dǎo)體器件靜態(tài)直流參數(shù)為例闡述實(shí)驗(yàn)室間能力比對(duì)的方法。

關(guān)鍵詞：能力比對(duì);半導(dǎo)體器件;直流參數(shù)

中圖分類號(hào)：TP391 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

文章編號(hào)：1009-3044（2020）12-0259-03

1比對(duì)意義和目的

半導(dǎo)體器件靜態(tài)直流參數(shù)是表征半導(dǎo)體器件性質(zhì)的主要參數(shù)，是半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠、使用單位驗(yàn)證半導(dǎo)體器件質(zhì)量的必檢項(xiàng)目之一。通過(guò)能力驗(yàn)證：①能夠考察各檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室測(cè)量量值的一致程度，②考察各檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的可靠程度，③核查各檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的測(cè)量準(zhǔn)確度是否保持在規(guī)定的范圍內(nèi)，④考察各檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室測(cè)量人員水平和數(shù)據(jù)處理的能力，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，積累經(jīng)驗(yàn)。比對(duì)是能力驗(yàn)證的一種組成方式。本次比對(duì)活動(dòng)屬于各檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室根據(jù)需要開(kāi)展的非官方實(shí)驗(yàn)室間的比對(duì)活動(dòng)。

為了解本實(shí)驗(yàn)室與行業(yè)內(nèi)該項(xiàng)目的檢測(cè)能力現(xiàn)狀，提高元器件檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體器件直流參數(shù)測(cè)試能力的整體水平，貴州航天計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所（以下簡(jiǎn)稱航天測(cè)試）組織并實(shí)施半導(dǎo)體器件直流參數(shù)技術(shù)能力比對(duì)工作。

2比對(duì)項(xiàng)目和內(nèi)容

本次比對(duì)的項(xiàng)目為半導(dǎo)體器件的靜態(tài)直流參數(shù)，實(shí)施時(shí)間為2019年4月-2019年5月，測(cè)試的參數(shù)包括采樣保持器FX198的采樣一保持輸入失調(diào)電壓Vos、輸入失調(diào)電流IIB、電源電流Is。晶閘管3CT4KDJ的通態(tài)平均電壓VT、控制級(jí)觸發(fā)電壓VGT、維持電流IH。

3被測(cè)器件說(shuō)明

3.1被測(cè)器件

航天測(cè)試選取昆山晶體管廠有限公司生產(chǎn)的3只晶閘管3CT4KDJ和振華風(fēng)光半導(dǎo)體廠（4433廠）生產(chǎn)的5只采樣保持器FX198作為被測(cè)器件，晶閘管3CT4KDJ和采樣保持器FX198各取1只作為比對(duì)用，其余均作為備用。為盡可能地減少客觀影響，對(duì)器件的測(cè)試條件和合格判限進(jìn)行統(tǒng)一規(guī)定，器件測(cè)試的操作要求按照本實(shí)驗(yàn)室作業(yè)指導(dǎo)書(shū)進(jìn)行，并隨器件一并提供。被測(cè)器件的基本參數(shù)詳見(jiàn)表1。

3.2樣品流轉(zhuǎn)

由于半導(dǎo)體器件比較敏感，不當(dāng)操作可能會(huì)導(dǎo)致器件特性發(fā)生一定變化，因此比對(duì)實(shí)驗(yàn)室按照實(shí)施方案檢測(cè)完畢后將樣品送回主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室，經(jīng)主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室確認(rèn)器件狀態(tài)無(wú)誤后送往下一個(gè)比對(duì)實(shí)驗(yàn)室。本次比對(duì)由航天測(cè)試負(fù)責(zé)比對(duì)器件的運(yùn)輸，被檢器件用專用包裝盒進(jìn)行包裝，通過(guò)快遞傳遞到各比對(duì)實(shí)驗(yàn)室。比對(duì)實(shí)驗(yàn)室收到被測(cè)器件后檢查被測(cè)器件是否完好，是否工作正常。檢查結(jié)果雙方確認(rèn)后在進(jìn)行測(cè)試。

4參比實(shí)驗(yàn)室比對(duì)情況概述

4.1參比實(shí)驗(yàn)室信息

根據(jù)各家實(shí)驗(yàn)室能力，航天測(cè)試積極溝通確認(rèn)，最終確定4家實(shí)驗(yàn)室參加此次比對(duì)，各參比實(shí)驗(yàn)室名稱如表2所示，各參比實(shí)驗(yàn)室所用檢測(cè)設(shè)備信息如表3所示。各實(shí)驗(yàn)室所用檢測(cè)設(shè)備能力均滿足本次比對(duì)項(xiàng)目和內(nèi)容的測(cè)試要求，并在計(jì)量有效期內(nèi)。