喬 皎 賈 寧 楊 愷 杜蘊(yùn)慧 雷 蕾 夏邦壽

(1.生態(tài)環(huán)境部環(huán)境工程評估中心，北京 100012；2.中國航空規(guī)劃設(shè)計研究總院有限公司，北京 100120；3.福建省金皇環(huán)?？萍加邢薰?，福建 福州 350001；4.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司，四川 成都 610021)

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展以及集成電路行業(yè)相關(guān)政策的促進(jìn)，我國集成電路行業(yè)銷售額持續(xù)穩(wěn)步增長，成為了關(guān)系我國經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展的基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)之一[1]。集成電路芯片制造是集成電路行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中的主要產(chǎn)污環(huán)節(jié)，其生產(chǎn)工藝步驟多達(dá)一二百步，而且精度要求高，工藝復(fù)雜，使用多種有毒有害的化學(xué)品，包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸等各類酸，氨水[2]、氫氧化鉀等各類堿，丙酮、異丙醇、醋酸丁酯、N-甲基四氫吡咯酮(NMP)等各類有機(jī)化學(xué)品，等等。使用的大多有毒有害化學(xué)品只是作為原輔材料，極少進(jìn)入最終產(chǎn)品，因此絕大部分就變成了污染物排放。

在國家“放管服”改革的大背景下，集成電路行業(yè)建設(shè)項目環(huán)境影響評價(以下簡稱環(huán)評)已簡化為僅需編制環(huán)評報告表，且下放到了省級及以下地方生態(tài)環(huán)境部門審批，因此基層生態(tài)環(huán)境部門尤其是作為最低一級生態(tài)環(huán)境部門的縣級生態(tài)環(huán)境部門，承擔(dān)起了前所未有的審批壓力[3]，在執(zhí)行行政審批時對政策文件的理解和技術(shù)規(guī)范的把握存在很多困惑。

本研究聚焦我國集成電路行業(yè)環(huán)評管理現(xiàn)狀，在收集的2016—2018年全國200多個集成電路行業(yè)建設(shè)項目環(huán)評文件中篩選出了69個具有代表性的文件，在地方各級生態(tài)環(huán)境部門官方網(wǎng)站收集了一些地方分級審批、規(guī)劃環(huán)評、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等相關(guān)政策文件。目前，我國集成電路芯片制造以6英寸及以上的大尺寸芯片為主[4]，本研究篩選的69個具有代表性的文件覆蓋了我國6英寸及以上大尺寸集成電路芯片制造企業(yè)的80%。地方各級生態(tài)環(huán)境部門官方網(wǎng)站收集的相關(guān)政策文件基本反映了目前國內(nèi)地方各級生態(tài)環(huán)境部門對集成電路行業(yè)建設(shè)項目環(huán)評的管理水平。通過對上述資料的分析，針對目前在分類管理和分級審批、與規(guī)劃環(huán)評銜接、建設(shè)項目重大變動、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范適用性等方面存在的問題，提出了對策建議，為解決基層生態(tài)環(huán)境管理部門環(huán)評審批遇到的問題和困惑、進(jìn)一步加強(qiáng)環(huán)評“放管服”事項、優(yōu)化調(diào)整環(huán)評管理制度等提供參考依據(jù)。

1 集成電路行業(yè)環(huán)評管理現(xiàn)狀及存在的問題

1.1 建設(shè)項目環(huán)評分類管理混亂與分級審批不均

自2008年以來，生態(tài)環(huán)境部(包括原環(huán)境保護(hù)部)發(fā)布過4版《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》(以下簡稱《名錄》)，其中集成電路建設(shè)項目的環(huán)評文件的分類類別在每一版中都會調(diào)整。2008年版《名錄》規(guī)定含前工序的集成電路建設(shè)項目需要編制的是環(huán)評報告書；2015年版《名錄》規(guī)定集成電路建設(shè)項目都只需編制環(huán)評報告表；2017年版《名錄》又要求含前工序的集成電路建設(shè)項目編制環(huán)評報告書；2018年版《名錄》重新恢復(fù)了都只需編制環(huán)評報告表。但通過收集到的69個具有代表性的文件統(tǒng)計分析發(fā)現(xiàn)，由于前工序產(chǎn)廢量大，且生產(chǎn)工藝可能涉及電鍍，上海、北京、四川等地在《名錄》不要求編制環(huán)評報告書的時候仍要求含前工序的集成電路建設(shè)項目環(huán)評報告表增加大氣、水、環(huán)境風(fēng)險等專題評價，內(nèi)容的復(fù)雜程度已類似于環(huán)評報告書，甚至有少部分地區(qū)仍然要求涉及電鍍的項目編制環(huán)評報告書。盡管含前工序的集成電路建設(shè)項目污染物排放強(qiáng)度遠(yuǎn)高于只有封裝測試工序的集成電路建設(shè)項目，然而從69個具有代表性的文件數(shù)據(jù)統(tǒng)計發(fā)現(xiàn)，含前工序的集成電路建設(shè)項目只有32個，這是因為現(xiàn)行的《名錄》不對集成電路建設(shè)項目是否含有前工序進(jìn)行有差別的分類管理。

國家級、省級和市級生態(tài)環(huán)境部門均制定了建設(shè)項目環(huán)評文件分級審批相關(guān)政策文件，規(guī)定了各自的審批權(quán)限。通過對收集到的31個省級生態(tài)環(huán)境部門的分級審批相關(guān)政策文件進(jìn)行統(tǒng)計發(fā)現(xiàn)，目前全國29個省份的集成電路建設(shè)項目的審批權(quán)限主要集中在市級或縣級，僅北京、四川主要集中在省級。考慮到目前我國集成電路行業(yè)主要分布在長三角地區(qū)、中西部地區(qū)、京津環(huán)渤海地區(qū)、珠三角地區(qū)及福廈泉地區(qū)，因此特別對這些地區(qū)涉及的22個省份的63個省級和市級生態(tài)環(huán)境部門的分級審批文件進(jìn)行統(tǒng)計分析，發(fā)現(xiàn)集成電路建設(shè)項目審批權(quán)限主要在縣級的有54個?？梢?，縣級生態(tài)環(huán)境部門承擔(dān)起了大部分集成電路建設(shè)項目環(huán)評審批職責(zé)。

1.2 已開展規(guī)劃環(huán)評的集成電路建設(shè)項目環(huán)評可簡化內(nèi)容不明確

2015年，原環(huán)境保護(hù)部《關(guān)于加強(qiáng)規(guī)劃環(huán)境影響評價與建設(shè)項目環(huán)境影響評價聯(lián)動工作的意見》(環(huán)發(fā)〔2015〕178號)中明確：“對符合規(guī)劃環(huán)評結(jié)論及審查意見要求的建設(shè)項目，其環(huán)評文件應(yīng)按照規(guī)劃環(huán)評的意見進(jìn)行簡化”；2016年，原環(huán)境保護(hù)部《關(guān)于以改善環(huán)境質(zhì)量為核心加強(qiáng)環(huán)境影響評價管理的通知》(環(huán)環(huán)評〔2016〕150號)中明確：“規(guī)劃環(huán)評要作為規(guī)劃所包含項目環(huán)評的重要依據(jù)，對于不符合規(guī)劃環(huán)評結(jié)論及審查意見的項目環(huán)評，依法不予審批。規(guī)劃所包含項目的環(huán)評內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)根據(jù)規(guī)劃環(huán)評結(jié)論和審查意見予以簡化?！?/p>

根據(jù)收集到的全國各省份發(fā)布的建設(shè)項目環(huán)評與規(guī)劃環(huán)評相關(guān)政策文件，對項目環(huán)評提出明確簡化要求的只有河南、上海、江蘇、浙江等8個省份，其中又只有河南對具體簡化內(nèi)容提出了明確要求，其他省份只是提出了降低環(huán)評報告等級、共享現(xiàn)狀環(huán)境數(shù)據(jù)和區(qū)域污染源調(diào)查數(shù)據(jù)等籠統(tǒng)的簡化要求。

集成電路建設(shè)項目多數(shù)集中在工業(yè)園區(qū)內(nèi)，而入園項目的環(huán)評報告在編制過程中都會參照規(guī)劃環(huán)評及其審查意見，但由于大多數(shù)地區(qū)沒有出臺具體的可簡化內(nèi)容，加上規(guī)劃環(huán)評本身的結(jié)論及審查意見也不給出具有可操作性的入園建設(shè)項目環(huán)評簡化意見[5]，集成電路建設(shè)項目環(huán)評單位出于各方面考慮往往不會真正進(jìn)行簡化，造成與園區(qū)的規(guī)劃環(huán)評重復(fù)工作。

1.3 集成電路行業(yè)缺乏建設(shè)項目重大變動的界定標(biāo)準(zhǔn)

《環(huán)境影響評價法》(2018修正版)第24條規(guī)定：“建設(shè)項目的環(huán)境影響評價文件經(jīng)批準(zhǔn)后，建設(shè)項目的性質(zhì)、規(guī)模、地點(diǎn)、采用的生產(chǎn)工藝，或者防治污染、防治生態(tài)破壞的措施發(fā)生重大變動的，建設(shè)單位應(yīng)當(dāng)重新報批建設(shè)項目的環(huán)境影響評價文件?！?/p>

集成電路行業(yè)有以下兩個方面的主要特征：(1)產(chǎn)品更新?lián)Q代快、研發(fā)周期短，按照行業(yè)內(nèi)的摩爾定律[6]，芯片上所集成的電路和微處理器等性能，每隔一段不長的時間就能翻一番，且很大一部分企業(yè)為代生產(chǎn)工廠，一段時間后，往往由于市場需求、客戶委托內(nèi)容的變化，會對某些工藝、設(shè)備做出局部調(diào)整，雖然生產(chǎn)的都是同一類產(chǎn)品，但產(chǎn)品的序列、層次可能已發(fā)生變化；(2)企業(yè)之間知識產(chǎn)權(quán)的主導(dǎo)權(quán)斗爭激烈[7]，所獲取的創(chuàng)新成果大多會及時登記為專利、商標(biāo)等進(jìn)行知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)，而且企業(yè)出于商業(yè)機(jī)密的考慮，產(chǎn)品工藝、工序通常不會全部提供給環(huán)評單位，容易造成項目實(shí)際的污染物排放與環(huán)評報告不一致。

從集成電路行業(yè)的上述特征可以看出，集成電路建設(shè)項目從可研、初步設(shè)計到施工圖設(shè)計，再到具體施工階段，由于其市場定位、研發(fā)技術(shù)及產(chǎn)品規(guī)模等內(nèi)容都有可能發(fā)生變化，導(dǎo)致集成電路建設(shè)項目經(jīng)常出現(xiàn)實(shí)際生產(chǎn)的原輔材料使用量、設(shè)備等都較環(huán)評報告發(fā)生較大變化，但由于缺乏對其重大變動的界定標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致不少企業(yè)不開展變更環(huán)評，使得環(huán)評制度的有效執(zhí)行大打折扣。

1.4 集成電路行業(yè)現(xiàn)行污染物排放標(biāo)準(zhǔn)已顯過時

目前，集成電路行業(yè)的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)主要執(zhí)行《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 8978—1996)、《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB/T 31962—2015)、《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 16297—1996)和《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 21900—2008)等。有少部分省份如上海、北京等出臺了相關(guān)的地方標(biāo)準(zhǔn)，如上海的《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/ 374—2006)、北京的《電子工業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB11/ 1631—2019)。國家層面的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 39731—2020)。

由于集成電路行業(yè)排放主要執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)制定時間較早，且是綜合性標(biāo)準(zhǔn)，與行業(yè)的污染防治針對性不是很強(qiáng)。而且，集成電路行業(yè)的原材料構(gòu)成、生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品結(jié)構(gòu)等都比較復(fù)雜，很多污染物都具有明顯的行業(yè)特征，其廢水中的總氮、氟化物指標(biāo)，廢氣中的砷化氫、磷化氫等指標(biāo)，在GB 8978—1996和GB 16297—1996中均沒有相應(yīng)的限制，對于部分有限制的指標(biāo)其標(biāo)準(zhǔn)也偏于寬松。因此，集成電路行業(yè)使用現(xiàn)行的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)不利于行業(yè)的環(huán)境管理。

2 集成電路行業(yè)環(huán)評管理的對策建議

2.1 細(xì)化集成電路建設(shè)項目環(huán)評的分類管理

建議對《名錄》進(jìn)一步進(jìn)行修訂完善，并且固定下來，細(xì)化集成電路建設(shè)項目的分類管理類別，按照工序、工藝等，建議單純測試的集成電路制造項目只需進(jìn)行登記備案，一般的集成電路制造項目需編制環(huán)評報告表，對于含前工序的集成電路建設(shè)項目在環(huán)評報告表中可以根據(jù)需要增加大氣、水、環(huán)境風(fēng)險等專題評價。

2.2 加強(qiáng)規(guī)劃環(huán)評與建設(shè)項目的環(huán)評聯(lián)動

建議明確入園區(qū)集成電路建設(shè)項目環(huán)評的具體簡化內(nèi)容：在工業(yè)園區(qū)規(guī)劃環(huán)評中已開展深入論證且有明確結(jié)論的內(nèi)容，例如產(chǎn)業(yè)政策、環(huán)境準(zhǔn)入、市政基礎(chǔ)條件、園區(qū)廢水處理系統(tǒng)環(huán)境可行性等，集成電路建設(shè)項目的環(huán)評可以直接引用規(guī)劃環(huán)評及審查意見中的結(jié)論或簡化。

2.3 明確界定集成電路行業(yè)建設(shè)項目重大變動標(biāo)準(zhǔn)

建議發(fā)布集成電路行業(yè)建設(shè)項目重大變動判定的指導(dǎo)性文件或標(biāo)準(zhǔn)，明確需要報送變更環(huán)評報告的條件，可從主要生產(chǎn)裝置類型、主要原輔材料類型、主要燃料類型以及生產(chǎn)工藝和技術(shù)等調(diào)整變化入手，定量規(guī)定由此導(dǎo)致的新增污染物量和生產(chǎn)能力變化，對于不屬于重大變動的情況，在竣工驗收時必須要求達(dá)到環(huán)評的要求。

2.4 嚴(yán)格行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

目前，國家層面的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GB 39731—2020已經(jīng)發(fā)布，但只是針對水污染物。建議集成電路建設(shè)項目集中分布的地區(qū)出臺更多更詳細(xì)的地方行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，有針對性強(qiáng)化對該行業(yè)的環(huán)境管理。

3 結(jié) 語

集成電路行業(yè)是國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，是國民經(jīng)濟(jì)和社會信息化的重要基礎(chǔ)。近年來，在國家一系列政策措施的扶持下，經(jīng)過各方面共同努力，我國集成電路行業(yè)獲得了較快發(fā)展。集成電路制造企業(yè)大都為具有較強(qiáng)實(shí)力的大型企業(yè)，總體來說環(huán)境管理比較規(guī)范，污染防治措施也能基本落實(shí)到位，若能進(jìn)一步完善其環(huán)評管理，則能更好地為地方生態(tài)環(huán)境部門管理人員環(huán)評審批服務(wù)，促進(jìn)集成電路行業(yè)更好地向綠色、節(jié)能的方向發(fā)展。