一種砷烷在線檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法

申請(qǐng)(專(zhuān)利)號(hào)：201910623198.1

公開(kāi)(公告)日：2021-01-12

申請(qǐng)(專(zhuān)權(quán))人：東泰高科裝備科技有限公司

摘要:本發(fā)明提供了一種砷烷在線檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法。該在線檢測(cè)裝置包括：砷烷濃度檢測(cè)器；水分檢測(cè)器，與砷烷濃度檢測(cè)器相連；氣質(zhì)聯(lián)用儀，與水分檢測(cè)器相連，氣質(zhì)聯(lián)用儀配置第一色譜柱、第二色譜柱、脈沖放電氦離子化檢測(cè)器和質(zhì)量選擇檢測(cè)器，第一色譜柱用于分離砷烷中的氧氣、一氧化碳和二氧化碳，第二色譜柱用于分離砷烷中的硅烷、鍺烷、磷烷、羰基硫和硫化氫，脈沖放電氦離子化檢測(cè)器用于檢測(cè)砷烷中的氧氣、一氧化碳和二氧化碳，質(zhì)量選擇檢測(cè)器用于檢測(cè)砷烷中的硅烷、鍺烷、磷烷、羰基硫和硫化氫。上述在線檢測(cè)裝置可以實(shí)時(shí)對(duì)砷烷中各組分的準(zhǔn)確檢測(cè)。