基于Tx-Rx探頭的異種金屬焊縫缺陷檢測(cè)及定量分析

張 卿，李曉光，杜亞飛，何 藝，朱悅銘，程婧婷，王海濤

(1.南京航空航天大學(xué) 自動(dòng)化學(xué)院，南京 211100；2.中廣核檢測(cè)技術(shù)有限公司，江蘇 蘇州 215000)

0 引言

隨著工業(yè)需求的不斷增加，單一金屬的焊接結(jié)構(gòu)在某些情況下已不能滿足要求，異種金屬的焊接結(jié)構(gòu)應(yīng)運(yùn)而生。異種金屬焊接結(jié)構(gòu)具有很好的耐腐蝕性，且其大大減少了貴重金屬的使用，降低了生產(chǎn)成本，因此，在核電等領(lǐng)域中得到的越來(lái)越多的應(yīng)用[1]。然而，異種金屬焊接過(guò)程復(fù)雜，在加工制造過(guò)程中極易產(chǎn)生裂紋、氣孔、夾雜等焊接缺陷；在使用過(guò)程中，由于高溫、高壓等惡劣環(huán)境，這些缺陷可能會(huì)發(fā)展成腐蝕和疲勞裂紋等傷損，從而影響設(shè)備的正常運(yùn)行[2-3]。因此，對(duì)異種金屬設(shè)備的焊縫缺陷進(jìn)行檢測(cè)對(duì)保證其安全運(yùn)行非常重要。

現(xiàn)有的異種金屬焊縫缺陷檢測(cè)方法主要包括射線法、超聲法和渦流檢測(cè)方法。射線法雖然能很好地檢測(cè)設(shè)備內(nèi)部缺陷，但其需要一定的防護(hù)，且檢測(cè)效率較低[4]。超聲檢測(cè)中，超聲波在異種鋼中衰減嚴(yán)重，且聲波在異種鋼中傳播時(shí)會(huì)產(chǎn)生比較嚴(yán)重的散射和折射現(xiàn)象，這導(dǎo)致其信噪比較低，無(wú)法辨別缺陷信號(hào)[5-6]。渦流檢測(cè)雖然能夠有效檢測(cè)異種金屬焊縫缺陷，且不存在防護(hù)問(wèn)題，但由于集膚效應(yīng)，其只能檢測(cè)表面和近表面缺陷，且容易受到提離效應(yīng)的影響[7]。脈沖渦流檢測(cè)技術(shù)是在渦流檢測(cè)基礎(chǔ)上提出來(lái)的一種技術(shù)，由于其采用方波脈沖作為激勵(lì)信號(hào)，可同時(shí)檢測(cè)核電設(shè)備表面和內(nèi)部缺陷，彌補(bǔ)了渦流檢測(cè)技術(shù)的不足[8]。因此，在異種金屬焊縫檢測(cè)中具有良好的應(yīng)用前景。

在脈沖渦流檢測(cè)技術(shù)中，為了能更好地檢測(cè)試件內(nèi)部的缺陷，需設(shè)計(jì)探頭，使磁場(chǎng)能夠更多地聚集在檢測(cè)區(qū)域，以增加內(nèi)部缺陷的檢測(cè)靈敏度。張?chǎng)┑萚9-10]利用“8”字形線圈實(shí)現(xiàn)磁場(chǎng)聚焦，研究表明，相比于平行于導(dǎo)體表面放置的線圈，“8”字形線圈激勵(lì)的渦流能量分布更集中，更有利于磁場(chǎng)聚焦。Burke等利用矩形曲面線圈[11]和圓形曲面線圈[12]實(shí)現(xiàn)曲面材料的檢測(cè)，減小了提離對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，提高了檢測(cè)靈敏度。Waidelich[13]通過(guò)在檢測(cè)探頭下方放置帶孔的屏蔽導(dǎo)體，使激勵(lì)磁場(chǎng)只能通過(guò)屏蔽導(dǎo)體中的孔入射到構(gòu)件，從而抑制磁場(chǎng)向外擴(kuò)散，實(shí)現(xiàn)聚焦。Lefebvr[14]在非鐵磁性構(gòu)件下方放置鐵磁性平板，利用鐵磁性平板磁阻較小的特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)磁場(chǎng)聚焦。何赟澤等[15]設(shè)計(jì)了一種三維脈沖渦流探頭，該探頭由一個(gè)矩形激勵(lì)線圈和3個(gè)接收線圈組成，可獲取Bx、By與Bz共3個(gè)方向上的磁場(chǎng)曲線，并提出使用三維蝶形圖對(duì)缺陷進(jìn)行識(shí)別，為實(shí)現(xiàn)飛機(jī)機(jī)身缺陷的成像提供了參考。除此之外，一發(fā)一收式非同軸(Transmitter-Receiver，Tx-Rx)探頭也越來(lái)越受到重視。Mook等[16]從磁回路的角度證明了Tx-Rx探頭具有較高的空間分辨率且能增加檢測(cè)深度。Yusa等[17]改變了Tx-Rx探頭中接收線圈的位姿，使其與構(gòu)件表面相切，并通過(guò)理論和實(shí)驗(yàn)證明了利用這種探頭結(jié)構(gòu)能夠檢測(cè)到趨膚深度以下的缺陷。Ona等[18]通過(guò)數(shù)值模擬和實(shí)驗(yàn)證明了Tx-Rx探頭的檢測(cè)靈敏度會(huì)受到線圈距離和探頭提離的影響，且調(diào)整線圈間距，可減小探頭提離對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響。由此可見(jiàn)，Tx-Rx探頭在提高試件檢測(cè)深度的同時(shí)也可減小探頭的提離效應(yīng)，這非常有利于異種金屬焊縫缺陷的檢測(cè)。

本論文擬將Tx-Rx探頭應(yīng)用到異種金屬焊縫缺陷的檢測(cè)中。由于核電中的異種金屬通常由兩種或兩種以上材料組成，且材料包括鐵磁材料和非鐵磁材料，成分復(fù)雜。同時(shí)異種金屬往往具有多層、多道焊縫的工藝特點(diǎn)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。因此，如何利用脈沖渦流探頭對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)是一大難題。基于此，本文主要討論Tx-Rx探頭的擺放位置對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，并通過(guò)優(yōu)化探頭擺放獲取最大檢測(cè)靈敏度。文章采用仿真建模和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法展開(kāi)研究：首先，根據(jù)異種金屬焊接試件的特點(diǎn)建立仿真模型，討論激勵(lì)線圈的擺放位置對(duì)試件中渦流及渦流擾動(dòng)的影響；其次，建立實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步討論異種金屬焊縫缺陷的最佳檢測(cè)位置；最后對(duì)焊縫缺陷的定量展開(kāi)分析。本文的內(nèi)容可為脈沖渦流Tx-Rx探頭或陣列探頭在異種金屬焊縫缺陷的應(yīng)用提供參考。

1 脈沖渦流檢測(cè)基本原理

脈沖渦流Tx-Rx探頭檢測(cè)原理如圖1所示，脈沖方波電流作為激勵(lì)加載在激勵(lì)線圈上，當(dāng)激勵(lì)線圈中的方波電流處于上升或下降沿時(shí)，由于電流的突變，會(huì)在導(dǎo)體試件中感應(yīng)出渦流場(chǎng)，且當(dāng)試件中含有缺陷時(shí)，感應(yīng)出的渦流場(chǎng)會(huì)產(chǎn)生擾動(dòng)，渦流擾動(dòng)場(chǎng)中包含試件缺陷信息。利用檢測(cè)線圈接收感應(yīng)出來(lái)的渦流場(chǎng)和擾動(dòng)場(chǎng)，并對(duì)其進(jìn)行分析，即可獲取試件的缺陷信息。也就是說(shuō)，對(duì)于異種金屬焊縫構(gòu)件，焊縫處的缺陷可通過(guò)分析接收線圈的信號(hào)獲取。

圖1 脈沖渦流Tx-Rx探頭檢測(cè)原理示意圖

然而，異種金屬焊縫構(gòu)件材料不均勻，激勵(lì)線圈的擺放位置會(huì)影響試件中的感應(yīng)渦流場(chǎng)，進(jìn)而影響擾動(dòng)場(chǎng)及檢測(cè)結(jié)果。因此，有必要分析激勵(lì)線圈位于異種金屬焊接試件何位置時(shí)，缺陷產(chǎn)生的渦流擾動(dòng)場(chǎng)更大。

2 Comsol仿真模型

為分析線圈的擺放位置對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，根據(jù)異種金屬焊縫的實(shí)際結(jié)構(gòu)建立Comsol仿真模型。

異種金屬焊縫結(jié)構(gòu)主要應(yīng)用于核電站反應(yīng)堆壓力容器管嘴和主管道連接接頭中[6]，其結(jié)構(gòu)如圖2所示。其中，為滿足高屈服強(qiáng)度、高沖擊韌性、焊接性及良好的抗中子輻照的性能，反應(yīng)堆壓力容器材料一般選擇含錳、鉬、鎳的低合金鋼。同時(shí)，考慮到低合金鋼的抗腐蝕性能較差，常在低合金鋼內(nèi)壁堆焊一層不銹鋼層，以提高設(shè)備耐腐蝕性。核電中的主管道一般由抗應(yīng)力腐蝕及抗氧化能力較強(qiáng)的奧氏體不銹鋼組成[19]。由于反應(yīng)堆壓力容器材質(zhì)與主管道材質(zhì)不同，二者之間必然存在異種鋼焊接問(wèn)題。大多數(shù)情況下，反應(yīng)堆壓力容器和主管道之間的接頭會(huì)用不銹鋼或鎳基合金作為焊接填充材料，即形成了異種金屬焊接接頭。由于這類接頭的焊接工藝比較復(fù)雜，所以異種金屬焊接接頭處可能會(huì)產(chǎn)生缺陷。

圖2 異種金屬焊接接頭示意圖

參考圖2所示的異種金屬焊接構(gòu)件,建立Comsol仿真模型。首先，建立幾何模型并設(shè)置材料參數(shù)。由于異種金屬焊接接頭的曲率半徑一般比較大，為簡(jiǎn)化分析，將仿真模型中的試件設(shè)計(jì)為如圖3所示的長(zhǎng)方體。其中，壓力容器選擇材質(zhì)為錳鎳合金鋼16MND5的長(zhǎng)方體模擬，其長(zhǎng)300 mm、寬100 mm、高21 mm；錳鎳合金鋼上的堆焊層材料為309L，厚度為5 mm；主管道選擇材質(zhì)為控氮不銹鋼Z2CND18-12N，其尺寸與壓力容器尺寸相同；壓力容器和主管道之間的焊縫材質(zhì)為308L，其長(zhǎng)300 mm、寬20 mm、高26 mm；焊縫處的缺陷用直徑14 mm深2 mm的平底圓孔模擬，其材料設(shè)置為空氣，如圖3(a)所示。上述4種材料的材料參數(shù)如表1所示。仿真所用探頭為圖3(b)所示的Tx-Rx探頭，其由一個(gè)激勵(lì)線圈和一個(gè)接收線圈組成，且激勵(lì)與接收線圈為尺寸一致的圓柱線圈。線圈參數(shù)如表2所示。線圈的提離高度為0 mm。

圖3 脈沖渦流Tx-Rx探頭有限元仿真模型

表1 異種金屬構(gòu)件中各材料參數(shù)

表2 Tx-Rx探頭的線圈參數(shù)

其次，進(jìn)行物理場(chǎng)參數(shù)設(shè)置，即主要對(duì)激勵(lì)電流進(jìn)行設(shè)置所用激勵(lì)電流為頻率50 Hz、幅值200 mA、占空比50%的方波電流，方波下降沿過(guò)渡區(qū)為0.000 1 s。

然后，對(duì)模型進(jìn)行網(wǎng)格劃分。網(wǎng)格劃分是影響有限元仿真計(jì)算結(jié)果的關(guān)鍵因素，綜合考慮計(jì)算精度、計(jì)算時(shí)間和計(jì)算機(jī)配置，本模型網(wǎng)格劃分方案為：1)在試件和線圈表面劃分自定義四邊形網(wǎng)格；2)根據(jù)集膚效應(yīng)和試件厚度、線圈高度規(guī)定掃掠層數(shù)，對(duì)試件和線圈整體進(jìn)行網(wǎng)格劃分；3)對(duì)除試件和線圈外的剩余空氣域進(jìn)行自由四邊體網(wǎng)格劃分，網(wǎng)格大小選擇系統(tǒng)中的超細(xì)化選項(xiàng)。Comsol軟件以百分比衡量網(wǎng)格質(zhì)量，0表示網(wǎng)格質(zhì)量極差，1表示網(wǎng)格質(zhì)量極佳。當(dāng)接收線圈位于控氮不銹鋼時(shí)，試件和線圈網(wǎng)格劃分結(jié)果如圖4所示，模型中共劃分438 609個(gè)網(wǎng)格，平均單元質(zhì)量為0.815 9，表明本方案劃分出的網(wǎng)格質(zhì)量較好。最后，設(shè)置求解器、進(jìn)行計(jì)算并導(dǎo)出計(jì)算結(jié)果。

圖4 有限元仿真模型網(wǎng)格剖分圖

3 仿真結(jié)果分析

將激勵(lì)線圈分別放置在帶堆焊層的合金鋼、控氮不銹鋼及焊縫上以分析激勵(lì)線圈的放置位置對(duì)試件中渦流分布的影響。圖5給出了激勵(lì)線圈分別放置在這3個(gè)位置時(shí)，有缺陷試件、無(wú)缺陷試件及缺陷引起的擾動(dòng)的試件表面渦流分布云圖，其中，云圖分析的時(shí)刻為t=0.050 25 s(激勵(lì)電流處于下降沿)，圖中虛線表示的位置為焊縫位置，虛線上方材料為帶堆焊層的合金鋼，虛線下方材料為控氮不銹鋼。由圖可知：當(dāng)激勵(lì)線圈放置在帶堆焊層的合金鋼和控氮不銹鋼上時(shí)，試件表面的渦流分布形狀基本相同。然而，渦流分布的最大值及渦流擾動(dòng)的最大值相差較大。當(dāng)激勵(lì)線圈放置在帶堆焊的合金鋼上方時(shí)，其渦流分布最大值和渦流擾動(dòng)要更大。這是由于帶堆焊層的合金鋼基底錳鎳合金鋼為鐵磁性材料，鐵磁材料具有聚磁的特點(diǎn)，導(dǎo)致帶堆焊層的合金鋼表面的渦流分布強(qiáng)度更大。除此之外，如圖5(c)所示的激勵(lì)線圈位于焊縫上方時(shí)渦流的分布圖也可清楚的看出鐵磁材料的聚磁作用對(duì)渦流分布的影響。此外，為獲取較高的缺陷檢測(cè)靈敏度，一般希望試件表面的渦流強(qiáng)度最大及缺陷引起的渦流擾動(dòng)最大。由圖5可知，當(dāng)激勵(lì)線圈位于帶堆焊層的合金鋼或焊縫上方時(shí)，試件表面的渦流強(qiáng)度較大，且當(dāng)激勵(lì)線圈位于帶堆焊層的合金鋼上方時(shí)，渦流擾動(dòng)的值更大。綜上所述，將激勵(lì)線圈放置在帶堆焊層的合金鋼上時(shí)，缺陷檢測(cè)的效果可能更好。

圖5 異種金屬焊縫結(jié)構(gòu)渦流分布云圖

4 實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

為進(jìn)一步討論激勵(lì)線圈的擺放位置對(duì)異種金屬焊縫缺陷檢測(cè)的影響，搭建了如圖6所示的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。該實(shí)驗(yàn)平臺(tái)主要由信號(hào)發(fā)生器、功率放大器、信號(hào)調(diào)理電路、數(shù)據(jù)采集卡、Tx-Rx探頭和異種金屬焊接試件組成。其中，信號(hào)發(fā)生器用來(lái)產(chǎn)生方波激勵(lì)電流，該電流經(jīng)由功率放大器放大后加載到激勵(lì)線圈，并在試件中激發(fā)出渦流場(chǎng)。試件中的渦流場(chǎng)通過(guò)接收線圈轉(zhuǎn)化成電壓信號(hào)，并由信號(hào)調(diào)理電路放大、濾波后被采集卡捕捉，并最終通過(guò)PC端上的Labview軟件進(jìn)行顯示和保存。實(shí)驗(yàn)所用信號(hào)發(fā)生器型號(hào)為DG4062，功率放大器為HB-611E，數(shù)據(jù)采集卡型號(hào)為NIUSB-6351，且為保證實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)確性，選取采樣頻率10 kHz，采樣點(diǎn)數(shù)為1 000。如圖7所示，實(shí)驗(yàn)所用試件為長(zhǎng)400 mm、寬260 mm、高26 mm的異種金屬焊接試件。試件的不銹鋼部分長(zhǎng)400 mm、寬120 mm、高26 mm；焊縫部分長(zhǎng)400 mm、寬20 mm、高26 mm；合金鋼部分長(zhǎng)400 mm、寬260 mm、高21 mm；堆焊層堆在合金鋼上，高度為5 mm。試件各部分的材料和仿真所用的材料相同。試件缺陷位于焊縫處，為直徑6 mm、8 mm、10 mm、12 mm和14 mm的平底圓孔缺陷，深度均為2 mm，缺陷之間的中心距為100 mm。實(shí)驗(yàn)所用探頭參數(shù)和第一節(jié)中的參數(shù)相同。激勵(lì)方波電流頻率為50 Hz，幅值200 mA，占空比為50%。

圖6 異種金屬焊縫缺陷檢測(cè)脈沖渦流實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

圖7 異種金屬試件示意圖

5 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及討論

5.1 缺陷檢測(cè)位置實(shí)驗(yàn)結(jié)果

以上述實(shí)驗(yàn)平臺(tái)為基礎(chǔ)，將激勵(lì)線圈分別放置在異種金屬焊接構(gòu)件的帶堆焊的合金鋼、控氮不銹鋼及焊縫上方，接收線圈分別放置在無(wú)缺陷試件的焊縫上和有缺陷試件的缺陷上，獲取有缺陷試件和無(wú)缺陷試件的檢測(cè)信號(hào)。圖8為當(dāng)接收線圈放置在直徑為8 mm缺陷上方的檢測(cè)結(jié)果，其中，激勵(lì)和接收線圈的軸心距為47 mm。

圖8 不同位置脈沖渦流檢測(cè)信號(hào)

由圖8可知，當(dāng)激勵(lì)線圈放置在帶堆焊的合金鋼或焊縫上方時(shí)，其信號(hào)幅值大于激勵(lì)線圈放置在控氮不銹鋼上的信號(hào)幅值。此外，獲取有缺陷試件和無(wú)缺陷試件的差分信號(hào)，結(jié)果如圖9所示。由圖9可知，當(dāng)激勵(lì)線圈放置在帶堆焊層的合金鋼上方時(shí)，其差分信號(hào)的幅值最大。上述兩個(gè)實(shí)驗(yàn)結(jié)果和仿真結(jié)果一致，不僅證明了仿真分析的正確性，也進(jìn)一步說(shuō)明了，對(duì)于異種金屬焊接構(gòu)件檢測(cè)，為獲得較好的檢測(cè)靈敏度，激勵(lì)線圈應(yīng)放置在帶堆焊層的合金鋼上方。此外，為簡(jiǎn)化分析，實(shí)驗(yàn)部分所用探頭與仿真部分所用探頭相同，探頭尺寸和結(jié)構(gòu)對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響是后續(xù)的研究?jī)?nèi)容，不在本文中體現(xiàn)。

圖9 不同位置脈沖渦流差分信號(hào)

5.2 缺陷定量分析

在上述線圈最佳擺放位置的基礎(chǔ)上，繼續(xù)對(duì)焊縫缺陷的定量展開(kāi)分析。實(shí)驗(yàn)時(shí)，激勵(lì)線圈放置在異種金屬焊接構(gòu)件的帶堆焊的合金鋼上方，接收線圈分別放置在試件無(wú)缺陷處和有缺陷處，獲取有缺陷試件和無(wú)缺陷試件的檢測(cè)信號(hào)，并計(jì)算其差分信號(hào)(缺陷信號(hào)與無(wú)缺陷信號(hào)的差值)，結(jié)果如圖10所示。從圖10可以看出，缺陷直徑越大，原始信號(hào)的峰值越小，差分信號(hào)的峰值越大，上述規(guī)律符合脈沖渦流檢測(cè)信號(hào)的一般規(guī)律。

圖10 缺陷定量實(shí)驗(yàn)信號(hào)

考慮到脈沖渦流差分信號(hào)的峰值及峰值時(shí)間常被用作試件厚度測(cè)量的特征量[20]，本論文也采用峰值和峰值時(shí)間對(duì)焊縫缺陷直徑大小的定量展開(kāi)分析。提取圖10(b)中各缺陷差分信號(hào)的峰值與峰值時(shí)間，并繪制峰值-缺陷直徑和峰值時(shí)間-缺陷直徑的散點(diǎn)圖，結(jié)果分別如圖11(a)和11(b)所示。從圖中可以看出，差分信號(hào)的峰值時(shí)間分布比較散亂，而差分信號(hào)的峰值與缺陷的直徑大小基本呈線性關(guān)系，因此，可采用峰值實(shí)現(xiàn)異種金屬焊縫缺陷大小的定量。

圖11 差分信號(hào)特征量與缺陷直徑關(guān)系

為進(jìn)一步驗(yàn)證差分信號(hào)的峰值對(duì)缺陷的定量能力，利用一階多項(xiàng)式對(duì)圖11(a)中的缺陷直徑-峰值曲線進(jìn)行擬合，并計(jì)算擬合獲取的缺陷直徑大小與實(shí)際缺陷的相對(duì)誤差。其中，缺陷直徑大小與差分信號(hào)峰值的擬合曲線表達(dá)式如式(1)所示；計(jì)算缺陷大小與實(shí)際缺陷大小的相對(duì)誤差表達(dá)式如式(2)所示；根據(jù)式(2)計(jì)算得到的相對(duì)誤差如表3所示。

表3 實(shí)際缺陷直徑與擬合缺陷直徑對(duì)比

φ=243Vmax+3.24

(1)

式中，φ為缺陷直徑，其單位為mm；Vmax為差分信號(hào)峰值，其單位為V。

(2)

式中，φ1為擬合直徑，φ為實(shí)際直徑。

由表3可知，計(jì)算得到的缺陷直徑大小與實(shí)際缺陷直徑的大小誤差大部分小于5.00%，僅一個(gè)誤差為8.00%?？紤]到由于異種金屬焊接的工藝復(fù)雜，在實(shí)際試件加工過(guò)程中，焊接的質(zhì)量及焊縫、堆焊層材料的均勻性均無(wú)法很好的保證，這些本身都會(huì)給缺陷定量帶來(lái)誤差。因此上述誤差在可接受的范圍之內(nèi)。

6 結(jié)束語(yǔ)

本文采用脈沖渦流Tx-Rx探頭對(duì)異種金屬焊縫缺陷進(jìn)行檢測(cè)，并對(duì)探頭的擺放位置進(jìn)行了優(yōu)化，以獲取最大檢測(cè)靈敏度。首先，根據(jù)異種金屬焊接試件的特點(diǎn)建立仿真模型，結(jié)果表明，由于合金鋼的聚磁特點(diǎn)，當(dāng)激勵(lì)線圈位于帶堆焊的合金鋼上方時(shí)，其表面渦流強(qiáng)度及渦流擾動(dòng)強(qiáng)度較大；其次，建立實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步驗(yàn)證了當(dāng)激勵(lì)線圈放置在帶堆焊的合金鋼上方時(shí)，其檢測(cè)信號(hào)幅值和差分信號(hào)幅值最大。最后，采用差分信號(hào)的峰值對(duì)焊縫缺陷的直徑大小展開(kāi)定量分析，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，差分信號(hào)的峰值與缺陷直徑呈線性關(guān)系，且其定量誤差在可接收的范圍內(nèi)。本文研究?jī)?nèi)容可為脈沖渦流Tx-Rx探頭或陣列探頭在異種金屬焊縫缺陷的應(yīng)用提供參考，下一步工作將圍繞探頭的優(yōu)化和新的缺陷定量特征量展開(kāi)。