中國“芯” 世界夢

于德萍

真正把科研中的研究成果轉(zhuǎn)變成實(shí)際的社會(huì)應(yīng)用，是南方科技大學(xué)深港微電子學(xué)院院長于洪宇的初心和愿望。他與集成電路器件打交道已有20余年，回國后著手氮化鎵（GaN）第三代寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā)，希望能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)學(xué)研深度融合，為國家當(dāng)下需求貢獻(xiàn)綿薄的力量。

20世紀(jì)90年代，于洪宇考入清華大學(xué)，在材料科學(xué)工程系度過了5年的大學(xué)時(shí)光。那時(shí)，校園廣播里播放的“爭取至少為祖國健康工作50年”的口號(hào)，給他留下了很深的印象。當(dāng)時(shí)的于洪宇認(rèn)為，工程學(xué)科是一種能將研究成果轉(zhuǎn)變成實(shí)際的實(shí)踐性學(xué)科。這一把所學(xué)的知識(shí)轉(zhuǎn)變成技術(shù)，再造福現(xiàn)實(shí)社會(huì)的理念正是來自清華大學(xué)?！霸谇迦A大學(xué)學(xué)到的做事和思維的方式，貫穿了我日后的科研生涯?！庇诤橛钫鎿吹卣f道。

1999年從清華大學(xué)畢業(yè)時(shí)，于洪宇選擇了出國深造。他先后在加拿大多倫多大學(xué)和新加坡國立大學(xué)獲得碩士、博士學(xué)位。隨后，他前往比利時(shí)魯汶全球著名微納電子研發(fā)中心（IMEC）擔(dān)任資深研究員及項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。自2008年起，于洪宇在新加坡南洋理工大學(xué)任“南洋”助理教授。他在海外學(xué)習(xí)工作時(shí)一直在微電子領(lǐng)域深耕，之后選擇回到了心心念念的祖國。2011年，于洪宇入職剛成立不久的南方科技大學(xué)（以下簡稱“南科大”），成為南科大簽約的第一個(gè)正教授。

彼時(shí)的南科大一切都還在啟動(dòng)中，于洪宇加入的是微納材料與器件系，之后入職電子系。從專業(yè)課程設(shè)置、培養(yǎng)體系到師資隊(duì)伍，于洪宇和同事從零開始，打下了南科大微電子專業(yè)的基礎(chǔ)。

在科學(xué)研究上，于洪宇回國后帶領(lǐng)課題組重點(diǎn)研發(fā)氮化鎵（GaN）功率器件，近兩年著手開發(fā)硅基GaN射頻器件。在鋁鎵氮/氮化鎵高電子遷移率晶體管器件研究方面，他取得了令行業(yè)矚目的系列進(jìn)展，若干相關(guān)成果在國際微電子器件期刊《電子器件快報(bào)》（IEEE?Electron?Device?Letters）上發(fā)表。

除此之外，于洪宇還有另一項(xiàng)重要的事業(yè)，建設(shè)國家示范性微電子學(xué)院——深港微電子學(xué)院?！巴耆袷窃趧?chuàng)業(yè)。”于洪宇回憶道。作為籌建深港微電子學(xué)院的主要負(fù)責(zé)人，工作起步時(shí)的每一個(gè)細(xì)節(jié)，他都?xì)v歷在目，最難忘的是2019年1月獲批國家示范性微電子學(xué)院的那天?！八俣群芸?，三四個(gè)月就拿到了國家示范性微電子學(xué)院這個(gè)牌子，雖然還帶著‘籌字。”于洪宇微笑著說。

教育部專家組對深港微電子學(xué)院的期望，是在未來5年到10年能夠做到國家示范性微電子學(xué)院中的典范，成為國內(nèi)微電子學(xué)院的第一梯隊(duì)?！拔液苡行判?，把微電子學(xué)院做到中國一流，乃至向世界一流邁進(jìn)。”于洪宇說。

3年的時(shí)間一晃而過，如今，深港微電子學(xué)院建有一流的科研平臺(tái)——微納工藝研發(fā)平臺(tái)和IC設(shè)計(jì)與測試平臺(tái)，聚焦集成電路設(shè)計(jì)方法學(xué)、集成電路芯片設(shè)計(jì)、集成電路制造與工藝、微納系統(tǒng)與集成四大研究方向展開科學(xué)研究，在科研領(lǐng)域已獲得多個(gè)國家級(jí)和省市級(jí)資質(zhì)，包括國家示范性微電子學(xué)院、廣東省GaN器件工程技術(shù)研究中心、廣東省三維集成工程研究中心和深圳市第三代半導(dǎo)體器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

當(dāng)前，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局正發(fā)生深刻變化，后摩爾時(shí)代半導(dǎo)體技術(shù)加速變革創(chuàng)新，我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迎來了新機(jī)遇，也迎來了很多挑戰(zhàn)。雖然這條道路任重而遠(yuǎn)，但于洪宇相信，在未來一定可以看到中國擁有較為完整的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，他一定會(huì)堅(jiān)持到目標(biāo)實(shí)現(xiàn)的那一天。

（責(zé)編：蘇寒山）