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      一種微尺寸 LED 芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法和剝離方法

      2022-10-27 11:39:24
      有色金屬材料與工程 2022年5期
      關(guān)鍵詞:外延襯底本發(fā)明

      專利名稱:

      專利申請?zhí)枺?022105724409

      公布號:CN114914268A

      申請日:2022.05.24 公開日:2022.08.16

      申請人:湘能華磊光電股份有限公司

      本發(fā)明提供了一種微尺寸LED芯片結(jié)構(gòu),包括襯底和間隔設(shè)置在襯底上的多個微尺寸芯片結(jié)構(gòu);每個所述微尺寸芯片結(jié)構(gòu)均包括外延片結(jié)構(gòu)、支撐轉(zhuǎn)移層、P電極和N電極。本發(fā)明又提供了一種制備所述的微尺寸LED芯片結(jié)構(gòu)的制備方法,包括:步驟S1、制備外延片結(jié)構(gòu);步驟S2、制備支撐轉(zhuǎn)移層;步驟S3、制備N電極和P電極。本發(fā)明還提供了一種剝離所述微尺寸LED芯片結(jié)構(gòu)的剝離方法,包括步驟W1、形成切割縫隙;步驟W2、定向腐蝕;步驟W3、襯底剝離。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)多個微尺寸芯片的批量轉(zhuǎn)移,大大地降低了剝離轉(zhuǎn)移時間和轉(zhuǎn)移成本,顯著地提高了生產(chǎn)效率。

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