申請?zhí)? 202111488949.7

【申請日】2021.12.07

【公開號】CN114136507A

【公開日】2022.03.04

【分類號】G01L1/16; G01L9/08

【申請人】中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

【發(fā)明人】車顏賢;曾慶平;宋軼佶;何峰

【摘 要】本發(fā)明公開了一種無線無源聲表面波壓力傳感器及其制備方法，包括襯底，所述襯底的中部位置設(shè)置有壓力空腔；所述襯底的上表面設(shè)有壓電薄膜，所述壓電薄膜的上表面設(shè)置有第一聲表面波器件，所述壓電薄膜的下表面設(shè)置有第二聲表面波器件，所述第一聲表面波器件和第二聲表面波器件均為壓力感應(yīng)器件且正對于所述壓力空腔，SAW傳播方向沿所述壓電薄膜長度方向。制備方法為：在壓電薄膜基片的兩側(cè)制備第一聲表面波器件和第二聲表面波器件；在硅片上制備壓力空腔，形成襯底；將聲表面波器件與具有壓力空腔的硅片進(jìn)行鍵合，得到聲表面波壓力傳感器。本發(fā)明具有高靈敏度及高分辨率等優(yōu)點。