一種微波固體傳感器及其檢測方法

【申請日】2023.03.23

【公開號】CN116068280A

【公開日】2023.05.05

【分類號】G01R27/26

【申請人】北京環(huán)境特性研究所

【發(fā)明人】張幸運(yùn); 白楊; 任群亭; 劉順; 呂鳴

【摘 要】本發(fā)明公開了一種微波固體傳感器及其檢測方法，該微波固體傳感器包括：沿厚度方向依次設(shè)置的金屬層、柔性基板層和微帶線層；所述柔性基板層用于支撐所述金屬層和所述微帶線層；所述金屬層上設(shè)置有互補(bǔ)螺旋形諧振環(huán)電磁結(jié)構(gòu)，所述互補(bǔ)螺旋形諧振環(huán)電磁結(jié)構(gòu)用于放置待測介質(zhì)材料并形成強(qiáng)電場，所述互補(bǔ)螺旋形諧振環(huán)電磁結(jié)構(gòu)由曲線形凹槽結(jié)構(gòu)組成；所述微帶線層用于連接矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，并獲取待測介質(zhì)材料的諧振頻率。將待測介質(zhì)材料放置于微波固體傳感器之上時，互補(bǔ)螺旋諧振環(huán)結(jié)構(gòu)的諧振頻率發(fā)生劇烈變化，因此，使本發(fā)明中的微波固體傳感器具有較高的靈敏度特性和較高的測量精度。