化學氣相沉積

學科：機械工程

化學氣相沉積是一種用化學方法使氣體在基體材料表面發(fā)生化學反應并形成覆蓋層的方法。該技術在多個前沿高精尖技術領域有著廣泛的應用：合成多種半導體材料，用于微電子器件的制備和集成電路的制造；制備不同力學、化學性質(zhì)的涂層，應用于光學涂層、耐磨涂層、防腐涂層等領域；制備如金剛石薄膜、石墨烯薄膜、高溫超導薄膜等新興材料。