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      實現(xiàn)雙參量同步感知的電渦流傳感器檢測電路及方法

      2024-06-10 15:56:39
      傳感器世界 2024年2期
      關(guān)鍵詞:參量信號處理渦流

      申請?zhí)? 202311333713.5

      【申請日】2023.10.16

      【公開號】CN117387478A

      【公開日】2024.01.12

      【分類號】G01B7/02;G01D21/02;G01K7/16;G01B7/06

      【申請人】北京理工大學

      【發(fā)明人】李弘愷;盧杏浩;張彤;李子函

      【摘 要】本發(fā)明公開了實現(xiàn)雙參量同步感知的電渦流傳感器檢測電路及方法,針對電渦流傳感器件,提供信號處理算法及其檢測電路,可實現(xiàn)雙物理量—微米級位移-溫度或者納米級金屬薄膜厚度-溫度—的同步快速檢測。該檢測電路具體為:激勵模塊為所述信號轉(zhuǎn)換模塊和所述特征分量解耦模塊提供穩(wěn)定的正弦激勵信號。信號轉(zhuǎn)換模塊在所述正弦激勵信號的作用下,將電渦流傳感器敏感元件的阻抗變化量轉(zhuǎn)換為檢測電壓信號并輸出。特征分量解耦模塊將信號轉(zhuǎn)換模塊的輸出信號進行解耦,并經(jīng)輸出模塊放大輸出。同時,基于該檢測電路還進一步提供了信號處理算法。

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