陣式

致伸縮薄膜進行柵陣式設(shè)計，可以獲得一種新型的快速、靈敏度高的磁場檢測方法，提高磁場傳感器的線性度、一致性和穩(wěn)定性，減小遲滯誤差，由此改善磁場傳感器的性能。由此為高性能磁場檢測提供了一個有效途徑。研究人員將柵陣式圖形設(shè)計的鐵鈷磁致伸縮敏感膜與表面聲波相結(jié)合進行磁場感測，所提出的傳感器由差分雙延遲線振蕩器構(gòu)成。傳感通道上的器件表面利用射頻濺射技術(shù)和套刻工藝沉積鐵鈷薄膜柵陣，通過釋放鐵鈷中的內(nèi)部應(yīng)力變化來有效地抑制磁滯效應(yīng)。參考通道的器件用于通過差分方法有效減小