美國 Natcore 科技公司建設(shè)抗反射涂層液相沉積處理站

美 國 Natcore 科 技 公 司 （Natcore Technology）于2011 年 3 月 15 日開始建設(shè)太陽能電池硅晶圓抗 反 射 （antireflective， AR） 涂 層 液 相 沉 積 （liquid phase deposition， LPD）處理站。 據(jù)稱 該站將利用該公司的專利技術(shù)為現(xiàn)有太陽能電池制造方式帶來一場重大變革。

目前太陽能電池采用化學(xué)氣相沉積（chemical vapor deposition， CVD）方法在高溫真空爐里制造，并需使用劇毒易燃硅烷等危險化學(xué)品及具有相當厚度可承受高溫加熱的硅片。 而處理站采用 LPD技術(shù) 又稱濕 化學(xué) 法 （wet chemistry）在溫 度 適 中 的化學(xué)池里制備 AR 涂層，在過程中無需使用硅烷，極大地減少了能耗及硅的使用量，從而降低太陽能電池制造成本并減少環(huán)境污染。

處理站為全封閉式，并配有晶圓預(yù)清洗輔助系統(tǒng)， 可在 LPD 處理之前對晶圓進行清洗。 此外，還將最新尺寸設(shè)置和過程控制技術(shù)與美國MicroTech 公司用于清除輕度金屬污染物的最新干燥模塊相結(jié)合，有利于實現(xiàn)電池的最佳性能。

系統(tǒng)的主要特征是對涂層工藝實施全程監(jiān)測，并利用 MicroTech 公司分光計系統(tǒng)對化學(xué)池晶圓的AR涂層厚度實施精確測量，同時還可根據(jù)需要更改化學(xué)藥劑成分與使用時間，為電池生產(chǎn)帶來便利并提高精確度。

摘譯自互聯(lián)網(wǎng)