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      納米壓痕測試裝置機(jī)架柔度直接標(biāo)定法的改進(jìn)

      2012-04-29 00:44:03黃虎趙宏偉萬順光耿春陽米杰
      西安交通大學(xué)學(xué)報 2012年8期
      關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體技術(shù)萬順柔度

      黃虎 趙宏偉 萬順光 耿春陽 米杰

      納米壓痕測試技術(shù)是近些年發(fā)展起來的一項具有微納米級精度的力學(xué)測試新技術(shù),由于具有操作方便、樣品制備簡單、測試分辨率高、測試內(nèi)容豐富等眾多優(yōu)點,納米壓痕測試技術(shù)逐步發(fā)展成為微納米力學(xué)測試的主流技術(shù),在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體技術(shù)、鋼鐵冶金、表面工程、納米技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用,它可以對各類固態(tài)材料或器件的力學(xué)性能做出評價,從而對其設(shè)計和使用提供指導(dǎo)。

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