太和氣體(荊州)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“公司”)投資建設(shè)的高純電子級(jí)氯化氫項(xiàng)目于2014年9月正式投產(chǎn),產(chǎn)品純度最高可達(dá)到99.999%,設(shè)計(jì)產(chǎn)能800 t/a,為國內(nèi)最大的電子級(jí)氯化氫制造商。
電子級(jí)氯化氫主要用于外延生長(zhǎng)前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學(xué)處理,激光用混合氣、膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的增加,氯化氫作為重要?dú)怏w材料,其用量也將逐年增長(zhǎng)。
電子級(jí)氯化氫的生產(chǎn)絕大多數(shù)采用尾氣回收精餾的方式,由于尾氣中有部分未知雜質(zhì)無法通過精餾純化的方式去除,產(chǎn)品質(zhì)量存在一定的隱患。為了提高電子級(jí)氯化氫的質(zhì)量穩(wěn)定性,公司吸收國內(nèi)外的先進(jìn)技術(shù)經(jīng)驗(yàn),采用高純氯和高純氫合成反應(yīng)生產(chǎn)氯化氫氣體,最大限度地避免了未知雜質(zhì)對(duì)產(chǎn)品純度的影響。同時(shí),公司依托Linggas的研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)生產(chǎn)工藝流程進(jìn)行改良創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)質(zhì)量穩(wěn)定、安全可靠的規(guī)?;a(chǎn)。