垂直結(jié)構(gòu)酞菁銅薄膜晶體管的工作特性測(cè)試
2015-12-31 18:07王東興王澤英王玥玥張永霜王玥
哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報(bào) 2015年4期
王東興+王澤英+王玥玥+張永霜+王玥
摘要：傳統(tǒng)有機(jī)材料的場(chǎng)效應(yīng)晶體管（FETs）具有工作速度低、驅(qū)動(dòng)電壓高的缺陷，針對(duì)這個(gè)問題，垂直結(jié)構(gòu)的酞菁銅（CuPc）有機(jī)薄膜晶體管（VOTFTs）被制備，整個(gè)制備過程采用真空蒸鍍和直流磁控濺射鍍膜工藝，器件的層疊結(jié)構(gòu)為Au/CuPc/Al（半導(dǎo)電）/CuPc/Au，其中半導(dǎo)電Al柵極薄膜的制備是十分重要的。endprint
猜你喜歡
科學(xué)導(dǎo)報(bào)(2022年17期)2022-04-02
大自然探索(2021年7期)2021-09-26
黨的生活（黑龍江）(2020年10期)2020-12-18
小天使·一年級(jí)語(yǔ)數(shù)英綜合(2020年5期)2020-12-16
創(chuàng)新時(shí)代(2017年9期)2017-10-09
信息化建設(shè)(2016年12期)2017-05-02
學(xué)苑創(chuàng)造·B版(2016年3期)2016-06-23
科技創(chuàng)新導(dǎo)報(bào)(2016年5期)2016-05-14
作文與考試·小學(xué)低年級(jí)版(2015年23期)2016-02-22
農(nóng)家科技(2014年11期)2015-03-11
