2015年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)濟(jì)運(yùn)行分析和2016年展望

中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)金存忠

2015年，在中央擴(kuò)大內(nèi)需、穩(wěn)增長(zhǎng)、淘汰落后產(chǎn)能的各項(xiàng)政策的推動(dòng)和國(guó)家科技專項(xiàng)的支持下，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)加快了自主創(chuàng)新和轉(zhuǎn)型升級(jí)的步伐，繼續(xù)呈現(xiàn)快速增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

根據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)國(guó)內(nèi)34家主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商的統(tǒng)計(jì)，2015年半導(dǎo)體設(shè)備完成銷售收入47.17億元，同比增長(zhǎng)16.38%；利潤(rùn)總額10.53億元，同比增長(zhǎng)24.2%；出口交貨值6.62億元，同比增長(zhǎng)50.1%。

（一）2015年半導(dǎo)體設(shè)備分類銷售情況

（二）2015年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備十強(qiáng)單位（按銷售收入排序）

中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)根據(jù)中國(guó)34家半導(dǎo)體設(shè)備制造商統(tǒng)計(jì)，2015年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備十強(qiáng)企業(yè)完成銷售收入37.63億元，同比增長(zhǎng)25%。其中：集成電路設(shè)備銷售收入18.61億元，同比增長(zhǎng)56.6%；太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備12.82億元，同比增長(zhǎng)1.75%；發(fā)光二極管設(shè)備4.72億元，同比增長(zhǎng)12.11%。

2015年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備十強(qiáng)企業(yè)完成出口交貨值6.16億元，同比增長(zhǎng)67.8%。其中，集成電路設(shè)備出口5.77億元，同比增長(zhǎng)63.9%。

（三）2015年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備新進(jìn)展

一批高端集成電路設(shè)備研制成功并成功進(jìn)入大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線

北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司研制的300 mm、28 nm金屬物理氣相沉積系統(tǒng)和高密度等離子硅刻蝕機(jī)、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司研制的雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)和22～14 nm單反應(yīng)臺(tái)等離子體刻蝕機(jī)、北京中科信電子裝備有限公司研制的90～65 nm大角度離子注入機(jī)、七星華創(chuàng)電子股份有限公司研制的300 mm（90～28 nm）立式氧化爐、盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司研制的單片兆聲波清洗機(jī)、北京中電科電子裝備有限公司研制的倒裝焊接機(jī)等一批高端集成電路設(shè)備成功進(jìn)入大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線將迅速提高國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備在市場(chǎng)的占有率。

智能化、自動(dòng)化的太陽(yáng)能電池新設(shè)備成功進(jìn)入太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)線，成為太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)企業(yè)改擴(kuò)建生產(chǎn)線的首選

浙江晶盛機(jī)電股份有限公司研制的金剛線單晶硅棒切磨加工一體機(jī)可以有效提高硅材料切割質(zhì)量與效率，減少了太陽(yáng)能電池用硅片的成本。

浙江晶盛機(jī)電股份有限公司研制的8英寸全自動(dòng)、智能化區(qū)熔硅單晶爐打破了我國(guó)大直徑區(qū)熔爐技術(shù)長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷的局面，生產(chǎn)的太陽(yáng)能電池片光電轉(zhuǎn)換效率可以達(dá)到24%，具有顯著的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益和重要的新能源戰(zhàn)略意義。

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所研制的國(guó)內(nèi)最大口徑、高產(chǎn)能（每管每批336片）的太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)設(shè)備PECVD在用戶生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，創(chuàng)業(yè)界高產(chǎn)能記錄，有效地降低了太陽(yáng)能電池片的成本。

北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司研制的負(fù)壓擴(kuò)散爐，單管產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到1000片，除實(shí)

現(xiàn)了高產(chǎn)能外，設(shè)備還呈現(xiàn)出高方阻工藝結(jié)果穩(wěn)定、單片制造成本減半、設(shè)備運(yùn)行消耗降低、維護(hù)成本降低等諸多優(yōu)點(diǎn)，獲得了整個(gè)光伏行業(yè)的普遍認(rèn)可，成為改擴(kuò)建生產(chǎn)線的首選裝備。

半導(dǎo)體照明制造關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化

中晟光電設(shè)備（上海）股份有限公司研制的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD），是用于半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）芯片外延工藝的關(guān)鍵設(shè)備。2015年設(shè)備獲得市場(chǎng)檢驗(yàn)和認(rèn)可，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，擺脫了我國(guó)MOCVD設(shè)備依賴進(jìn)口的被動(dòng)局面。

（四）2016年半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)發(fā)展展望

1、集成電路設(shè)備將繼續(xù)保持快速增長(zhǎng)

2015年在02專項(xiàng)和國(guó)家集成電路發(fā)展基金的支持下，更多的國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備將進(jìn)入大生產(chǎn)線，國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備的國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)將繼續(xù)得到增長(zhǎng)。

2、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備將快速增長(zhǎng)

2016年國(guó)家繼續(xù)擴(kuò)大國(guó)內(nèi)光伏市場(chǎng)，光伏行業(yè)年度增長(zhǎng)率目標(biāo)將超過(guò)，中國(guó)已成為全球光伏最大的終端市場(chǎng)，光伏企業(yè)將加快淘汰落后生產(chǎn)線設(shè)備擴(kuò)大產(chǎn)能，將給我國(guó)太陽(yáng)能電池設(shè)備制造商帶來(lái)了新的發(fā)展機(jī)遇。

3、LED生產(chǎn)線設(shè)備受LED市場(chǎng)的影響，增長(zhǎng)趨緩。

預(yù)計(jì)，2016年主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入將增長(zhǎng)20%左右，達(dá)到57億元左右。