一種配氣系統(tǒng)

申請(專利)號：201720093028.3

公開(公告)日：2017-09-05

申請(專利權(quán))人：江西省華東特種氣體有限公司 江西華特電子化學(xué)品有限公司

摘要：一種配氣系統(tǒng)，包括第一原料瓶、第二原料瓶、控制柜、電子秤、成品氣瓶、加壓氣瓶、真空泵、真空表、第一原料表和第二原料表；第一原料瓶、第二原料瓶和成品氣瓶之間通過管道連接，第二原料瓶和加壓氣瓶之間通過管道連接，第一原料瓶的輸出端與成品氣瓶的輸入端連接；第二原料瓶的輸出端與成品氣瓶的輸入端連接；第一原料瓶的輸出端設(shè)有第一控制閥和第一排放閥；本實用新型通過所述電子秤對有比例要求的成品氣體進行精確配置，通過所述真空泵能夠處理所述管道及成品氣瓶的雜質(zhì)，裝置管道采用抗吸附、抗腐蝕的不銹鋼材料，保證了裝置內(nèi)部的潔凈度，整個過程下來，使得最終配出的混合氣體的準(zhǔn)確度高、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。