李鵬俊

(江西沃格光電股份有限公司，江西 新余 338000)

生產(chǎn)步驟：

一、除雜

1.1 在蝕刻減薄后排出的含氟酸液中，預先加入一定量的除雜劑進行除雜反應，除雜劑的加入量(如表一)和除雜劑加入后的反應時間(如表二)對副產(chǎn)物的主含量和水分的影響。

表一 除雜劑的加入量對比

表二 除雜劑加入后的反應時間對比

1.2 結論

綜合上述實驗可以得出：除雜劑的加入量以及除雜劑加入后的反應時間對副產(chǎn)物的主含量和濕料水分存在一定的影響；通過此實驗可以得出除雜劑加入量在2%和反應時間10min為佳。

二、溶硅反應

2.1 除雜反應后，根據(jù)化驗檢測的HF含量加入定量的白炭黑：

Si02·nH20+6HF=H2SiF6+nH20

進行反應，將HF轉換成H2SiF6。

三、合成反應

3.1 轉換后，根據(jù)含氟酸液中的總H2SiF6，利用沉淀處理技術，加入一種飽和堿金屬鹽溶液：

H2SiF6+2X+=X2SiF6+2H+

在恒定攪拌強度的條件下，反應一定時間，反應后，將酸液用過濾設備進行過濾，濾餅為X2SiF6；實驗數(shù)據(jù)如表三所示。

表三 實驗數(shù)據(jù)

3.2 實驗現(xiàn)象

在加完飽和堿金屬鹽溶液反應30min后，副產(chǎn)物X2SiF6用500目的濾布，在-0.1MPa過濾效果極差；在反應40min和50min后過濾一般；在反應60min、70min、80min后，過濾效果良好。

3.3 結論

通過實驗可以看出，生產(chǎn)上定于反應60min，滿足工業(yè)化生產(chǎn)和副產(chǎn)一級品產(chǎn)品下，副產(chǎn)物主含量和過濾效果良好。

四、烘干

4.1 將濾餅在105℃下烘干，烘干后的副產(chǎn)物進行銷售，濾液收集直接銷售，基本實現(xiàn)了含氟廢水的全回收。

五、結論

工藝路線如圖1所示。

圖1 工藝路線

通過此方法能夠將在TFT玻璃制作過程中產(chǎn)生含氟酸液全回收，并且能夠設備簡單，容易操作；利用此生產(chǎn)路線不但能夠工業(yè)生產(chǎn)還能副產(chǎn)一級品的X2SiF6。