王榮川 孫陵斌

摘要：本文對(duì)大功率連續(xù)波磁控管在生產(chǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)的腔體組合一致性較差的現(xiàn)象進(jìn)行了分析，對(duì)出現(xiàn)的問(wèn)題進(jìn)行了歸納，并制定了改進(jìn)措施，通過(guò)對(duì)比和分析，改進(jìn)措施的實(shí)施能有效提高磁控管腔體組合的一致性。

關(guān)鍵詞：連續(xù)波磁控管一體化腔體冷卻頻率值

1引言

大功率連續(xù)波磁控管目前市場(chǎng)需求量較大，且呈上升趨勢(shì)。在生產(chǎn)過(guò)程中暴露出部分管子葉片端面平整度較差，陰極伸出高度不受控及磁控管腔體組合初始頻率值整體較為離散，人為調(diào)整幅度較大的現(xiàn)象。以及該系列管在老煉測(cè)試過(guò)程中存在高功率工作點(diǎn)時(shí)管內(nèi)冷卻水有汽化的現(xiàn)象。

磁控管腔體改為一體化腔體后，有利于提高腔體組合的一致性，提升了葉片端面的平整度，控制了陰極伸出高度，提高了腔體冷測(cè)質(zhì)量，避免了結(jié)構(gòu)原因造成的磁控管汽化現(xiàn)象。

2現(xiàn)狀及原因分析

2.1葉片平整度較差

大功率連續(xù)波磁控管目前所使用的腔體組合大部分是分體式組裝焊接而成，分體式焊接的腔體組合采用腔殼和葉片通過(guò)模具固定進(jìn)行焊接，如圖一所示：

這種焊接模式因零件和模具尺寸都存在自身誤差，焊接成圖一分體式腔體組合焊接模型腔體組合后葉片平整度存在較大差異，經(jīng)測(cè)量，同一個(gè)腔體組合上的兩個(gè)葉片高度差最大存在0.4mm的差值，導(dǎo)致陰極伸出高度不可控。

2.2磁控管腔體冷卻

分體焊接式磁控管在高功率點(diǎn)下腔體內(nèi)的冷卻水有汽化的現(xiàn)象，通過(guò)分析，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的原因如下：分體式焊接的腔體組合的冷卻水路是“三角形”，由于水流距離陽(yáng)極表面距離過(guò)遠(yuǎn)導(dǎo)致冷卻效果不理想，而且冷卻水路中經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生渦流，從而造成磁控管工作過(guò)程中汽化現(xiàn)象的產(chǎn)生。

2.3分體式腔體組合初始頻率值差異較大

分體式焊接的腔體組合初始頻率值差異較大，腔體組合在冷測(cè)過(guò)程中都需要經(jīng)過(guò)較大幅度的調(diào)整，才能將腔體組合流水到下道工序，腔體一致性較差。分析認(rèn)為，初始頻率值出現(xiàn)較大差異，是由于以下兩個(gè)原因造成的：（1）腔體焊接過(guò)程中焊料流淌造成部分機(jī)械尺寸（隔模帶間距）出現(xiàn)差異;（2）腔體組合本身頻率值選取不當(dāng)

3改進(jìn)措施及效果

通過(guò)分析現(xiàn)有磁控管的結(jié)構(gòu)，參照國(guó)外其他大功率產(chǎn)品的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，確定大功率連續(xù)波磁控管一體化腔體的結(jié)構(gòu)，重新設(shè)計(jì)的磁控管一體化腔體如圖二所示：

3.1葉片平整度

一體化腔體的加工方式直接采用整個(gè)銅棒機(jī)械加工成腔體，避免了腔殼與葉片焊接造成的誤差，因而葉片平面度、葉片互作用空間同心度的精度都很高，所以陰極伸出高度可控，陰陽(yáng)比也更可靠。

3.2冷卻結(jié)構(gòu)改進(jìn)

借鑒國(guó)外同類(lèi)型磁控管的冷卻水路，其冷卻系統(tǒng)滿足我們的使用要求，在我公司生產(chǎn)的大功率連續(xù)波磁控管腔體的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)，一體化腔體磁控管的陽(yáng)極冷卻系統(tǒng)如圖四所示。

通過(guò)圖四可以看出，一體化腔體磁控管的冷卻水路由原來(lái)的“三角形”改為“Π”型，冷卻水路延長(zhǎng)，更靠近陽(yáng)極表面，冷卻效果較原有結(jié)構(gòu)更加理想。

3.3一體化腔體仿真及控制效果

通過(guò)HFSS仿真軟件對(duì)一體化諧振腔體的頻率進(jìn)行重新仿真，通過(guò)裝管實(shí)驗(yàn)，選取合適的隔模帶尺寸，確定了一體化腔體的腔體關(guān)鍵參數(shù)。

通過(guò)實(shí)際裝管，對(duì)一體化腔體進(jìn)行焊接冷測(cè)一體化腔體的初始頻率一致性較焊接式腔體組合有較大提升。

4結(jié)論

綜上所述，大功率連續(xù)波磁控管改為一體化腔體后，提高了腔體組合的一致性，提升了葉片端面的平整度，控制了陰極伸出高度，提高了腔體冷測(cè)質(zhì)量，提高了磁控管的冷卻效果，避免了磁控管工作時(shí)的汽化現(xiàn)象。通過(guò)一體化腔體的使用，改進(jìn)后的磁控管客戶(hù)未反映不良情況。

通過(guò)此次的一體化腔體的研究，我們認(rèn)為一體化腔體使用效果良好，可以推廣至其他大功率連續(xù)波磁控管。

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