一種含氟氣體在線分析用預(yù)處理系統(tǒng)
2021-04-04 16:20:19
低溫與特氣 2021年5期
申請(專利)號：CN202022348815.2
公開(公告)日：2021-09-14
申請(專權(quán))人：昊華氣體有限公司
摘要:本實用新型公開了一種含氟氣體在線分析用預(yù)處理系統(tǒng)，其特征是包括堿洗罐(1)、水洗罐(4)、真空泵(7)、冷凝器(10)、干燥器(14)和氣相色譜儀(16)，前述設(shè)備通過管線依次連接，真空泵(7)與冷凝器(10)之間管線通過四通與負壓系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)連接，冷凝器(10)與干燥器(14)之間管線通過四通與負壓系統(tǒng)和尾氣系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)能實現(xiàn)氣體置換迅速、分析準確、干燥完全，并易于維護，可有效降低操作人員工作量。
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