嚴(yán)鵬

信息化依賴于硬件設(shè)備來實(shí)現(xiàn)，必須與工業(yè)化相融合，制造業(yè)的發(fā)展對(duì)于信息產(chǎn)業(yè)仍然具有重要意義。芯片是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，光刻機(jī)是用來制造芯片的關(guān)鍵設(shè)備。近年來，中國的信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)得到長足發(fā)展，華為等公司已經(jīng)具備較強(qiáng)的芯片設(shè)計(jì)能力，但中國的制造業(yè)尚無法將芯片設(shè)計(jì)有效轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品，其中的困難就包括缺乏光刻機(jī)等核心設(shè)備。目前，全球的高端光刻機(jī)幾乎被荷蘭ASML（阿斯麥）公司所壟斷。ASML光刻機(jī)的禁止出口，給中國的芯片生產(chǎn)造成了極大的障礙。為了解決“卡脖子”問題，中國工業(yè)必須攻克光刻機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備的制造，而ASML本身的崛起歷程，仍是一場典型的制造業(yè)“工匠革命”，提供了具有借鑒作用的啟示。ASML的歷史經(jīng)驗(yàn)表明，中國必須通過創(chuàng)新主體的戰(zhàn)略投入和培育制造業(yè)生態(tài)體系來實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的追趕。

一、創(chuàng)新主體與技術(shù)傳承是ASML成功的起點(diǎn)

盡管信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)有別于制造業(yè)，但信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的硬件基礎(chǔ)仍然需要制造業(yè)部門來提供，而一國制造業(yè)的發(fā)展基礎(chǔ)與生態(tài)體系，就成為促進(jìn)或制約該國信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重要變量，也就在很大程度上影響著該國的信息化進(jìn)程。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)于20世紀(jì)50年代興起后，經(jīng)過幾十年的演化，已經(jīng)成為一個(gè)高度全球化的產(chǎn)業(yè)，流行著設(shè)計(jì)與制造分離的“無廠模式”。所謂的無廠模式，其實(shí)遵循著經(jīng)濟(jì)學(xué)最基本的分工原理，即讓半導(dǎo)體生產(chǎn)不同環(huán)節(jié)的企業(yè)充分專業(yè)化，發(fā)揮其比較優(yōu)勢，從而達(dá)致效率最優(yōu)。這種分工使得臺(tái)積電等芯片代工廠（foundry）能夠充分實(shí)現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟(jì)，但也形成了具有壟斷性的高進(jìn)入壁壘，使后來的追趕者想要發(fā)展自身的芯片制造能力面臨著成本過高的困境。于是，中國大陸等后發(fā)展經(jīng)濟(jì)體的企業(yè)進(jìn)入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，充分融入全球化的產(chǎn)業(yè)鏈，優(yōu)先發(fā)展設(shè)計(jì)能力，是符合市場經(jīng)濟(jì)邏輯的理性選擇。而在這條產(chǎn)業(yè)鏈上，臺(tái)積電的設(shè)備供應(yīng)商ASML同樣在長期演化過程中構(gòu)筑起了高進(jìn)入壁壘，形成幾乎一家獨(dú)大的市場格局。

在全球化運(yùn)轉(zhuǎn)正常的情況下，中國大陸的華為等企業(yè)融入既存的全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，主攻芯片設(shè)計(jì)與系統(tǒng)集成，而將芯片制造委托給代工廠，毫無問題。但2018年以來的國際政治局勢攪亂了全球經(jīng)濟(jì)分工與國際大循環(huán)，中國大陸企業(yè)遭遇技術(shù)封鎖，芯片設(shè)計(jì)無法在制造層面實(shí)現(xiàn)。半導(dǎo)體制造業(yè)與半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)在中國的制造業(yè)生態(tài)體系中均是薄弱環(huán)節(jié)，一旦中國所無法制造的半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口渠道被切斷，中國的半導(dǎo)體制造企業(yè)就因?yàn)槿狈υO(shè)備而無法生產(chǎn)，而海外代工企業(yè)懾于霸權(quán)國家的威脅也不敢為中國企業(yè)代工，中國的半導(dǎo)體企業(yè)就無法得到芯片供應(yīng)。追根溯源，在這一鏈條上，半導(dǎo)體企業(yè)依賴半導(dǎo)體制造企業(yè)，而半導(dǎo)體制造企業(yè)又依賴半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)。作為最關(guān)鍵的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，ASML自然成為焦點(diǎn)。更為明確地說，ASML就是當(dāng)下中國制造業(yè)必須對(duì)標(biāo)并學(xué)習(xí)的企業(yè)。探究ASML的成功之道，可以為中國發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)提供最直接的經(jīng)驗(yàn)借鑒。

在20世紀(jì)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展浪潮中，歐洲相對(duì)于美國和日本較為弱勢，但ASML能成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵供應(yīng)商，得益于歐洲傳統(tǒng)的制造業(yè)生態(tài)體系。ASML的前身可追溯至荷蘭電氣工業(yè)巨頭飛利浦的物理實(shí)驗(yàn)室（Natlab）以及半導(dǎo)體和材料部（Elcoma），并與飛利浦的工業(yè)應(yīng)用部門有直接淵源。在很大程度上，ASML光刻機(jī)就是老牌電氣企業(yè)飛利浦引進(jìn)新技術(shù)而拓展出的新業(yè)務(wù)。20世紀(jì)60年代，飛利浦追隨美國進(jìn)入到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，從生產(chǎn)晶體管而逐步轉(zhuǎn)向制造集成電路。為了高效制造集成電路，飛利浦需要更快的方法制作接觸式掩模，而當(dāng)時(shí)該公司所用的美國光刻機(jī)既不夠精準(zhǔn)，又耗費(fèi)人力，這促使飛利浦決定自己制造光刻機(jī)，由半導(dǎo)體和材料部負(fù)責(zé)制造電子元件，由物理實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)協(xié)助。飛利浦的戰(zhàn)略決策成為ASML光刻機(jī)的起點(diǎn)，并體現(xiàn)了創(chuàng)新主體與技術(shù)傳承的重要性。首先，高技術(shù)產(chǎn)品的制造與創(chuàng)新需要一定的主體去實(shí)現(xiàn)，該主體要組織與協(xié)調(diào)各種資源和要素，使創(chuàng)新活動(dòng)得以展開。飛利浦在光刻機(jī)領(lǐng)域投入資源，締造了一個(gè)創(chuàng)新主體，這是最為根本的基礎(chǔ)。尤為重要的是，20世紀(jì)的飛利浦長期存在著一種“不愛用外來技術(shù)的文化”，不僅自己生產(chǎn)終端產(chǎn)品，還自己制造生產(chǎn)終端產(chǎn)品所需的設(shè)備。飛利浦半導(dǎo)體和材料部的工程師便堅(jiān)信“最好的生產(chǎn)工具是自己生產(chǎn)的機(jī)器”。自行制造設(shè)備的企業(yè)文化，既使飛利浦順理成章地從半導(dǎo)體制造領(lǐng)域進(jìn)入到半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，又使飛利浦能夠長期堅(jiān)持對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行自主研發(fā)。其次，制造業(yè)的技術(shù)存在著演化性，既有技術(shù)儲(chǔ)備往往決定了拓展新技術(shù)的能力。飛利浦能夠下決心自主研制光刻機(jī)，源于其在電氣化與機(jī)械制造領(lǐng)域均有技術(shù)積累，而光刻機(jī)恰好是一種機(jī)電結(jié)合的產(chǎn)品。因此，技術(shù)傳承構(gòu)成了飛利浦敢于研制光刻機(jī)的基本條件。無獨(dú)有偶，1976年日本通產(chǎn)省啟動(dòng)了超LSI技術(shù)研究所，將國產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)任務(wù)交給了尼康，其技術(shù)負(fù)責(zé)人吉田莊一郎認(rèn)為光刻機(jī)的3個(gè)核心技術(shù)尼康均已具備，故有把握完成挑戰(zhàn)。1978年，尼康取得了成功。尼康與飛利浦的相同點(diǎn)在于都掌握著新技術(shù)所包含的已有技術(shù)元素，也就印證了技術(shù)積累與傳承對(duì)于創(chuàng)新主體進(jìn)入新領(lǐng)域的重要性。

產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有演化性，起點(diǎn)至關(guān)重要。新技術(shù)往往是在已有技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，已有技術(shù)積累越深厚，產(chǎn)生新技術(shù)突破的可能性越大，學(xué)習(xí)外部新技術(shù)并消化吸收的能力也越強(qiáng)。半導(dǎo)體技術(shù)的起點(diǎn)可以追溯至貝爾實(shí)驗(yàn)室，而貝爾與飛利浦實(shí)際上屬于同一種類型的企業(yè)，均系19世紀(jì)后期制造業(yè)“科學(xué)化”的產(chǎn)物，這意味著飛利浦進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域的跨度并不算大。而20世紀(jì)中期所盛行的縱向一體化大企業(yè)模式，也使飛利浦自造光刻機(jī)有充分的組織與文化支撐。飛利浦在組織上締造了一個(gè)研制光刻機(jī)的創(chuàng)新主體，在技術(shù)上具有自行研制光刻機(jī)的條件，這是荷蘭光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)崛起的基礎(chǔ)。

二、高強(qiáng)度的戰(zhàn)略投入是ASML成功的關(guān)鍵

半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)屬于第二次世界大戰(zhàn)后興起的高端制造業(yè)。高端制造業(yè)具有技術(shù)高度復(fù)雜且迭代快、資金需求量大、市場相對(duì)狹小而競爭激烈的特點(diǎn)，需要各種資源的高強(qiáng)度投入，并需要具有長期堅(jiān)持的戰(zhàn)略意志。高強(qiáng)度的戰(zhàn)略投入正是ASML成功的關(guān)鍵。

盡管從事后來看，飛利浦進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)是一個(gè)成功的決策，但在相當(dāng)長的時(shí)間里，其光刻機(jī)研制困難重重，長期瀕于失敗的邊緣。飛利浦面對(duì)著多重困難。首先，盡管飛利浦具備了研制光刻機(jī)的技術(shù)基礎(chǔ)，但光刻機(jī)是復(fù)雜的精密設(shè)備，其研制存在著技術(shù)難度，需要時(shí)間去攻克難關(guān)及轉(zhuǎn)換技術(shù)路線。例如，飛利浦曾長期堅(jiān)持其光刻機(jī)使用自行研制的油壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，直到1980年代才將液壓晶圓臺(tái)改為性能更優(yōu)的電動(dòng)晶圓臺(tái)。其次，飛利浦雖然較早構(gòu)建了一個(gè)產(chǎn)品研發(fā)平臺(tái)作為創(chuàng)新主體，但該產(chǎn)品研發(fā)平臺(tái)系由企業(yè)實(shí)驗(yàn)室和制造部門強(qiáng)行組合而成，雙方存在著文化沖突，故而飛利浦的光刻機(jī)研制存在著嚴(yán)重的組織問題。例如，生產(chǎn)部門抱怨研發(fā)部門草率，研發(fā)部門則批評(píng)生產(chǎn)部門不愛溝通，拿起圖紙就開工。這種內(nèi)部沖突拖滯了研制進(jìn)度。最后，飛利浦作為一個(gè)光刻機(jī)領(lǐng)域的追趕者，面對(duì)著技術(shù)更先進(jìn)的美國企業(yè)構(gòu)筑的進(jìn)入壁壘，在市場競爭中承受著巨大的壓力。由于飛利浦遲遲不能向市場供應(yīng)成熟的光刻機(jī)機(jī)型，其預(yù)期的市場又被后來居上的尼康等日本企業(yè)占據(jù)，加劇了其生存壓力。于是，飛利浦因?yàn)檠邪l(fā)遲緩導(dǎo)致投入缺乏回報(bào)，而缺乏回報(bào)又導(dǎo)致研發(fā)投入難以為繼。形成惡性循環(huán)。1981年，飛利浦首席執(zhí)行官傳達(dá)指令：“盡快結(jié)束光刻機(jī)這種沒有意義的項(xiàng)目?！边@反映了飛利浦高層出于商業(yè)邏輯準(zhǔn)備放棄光刻機(jī)的研制。

就在飛利浦高層準(zhǔn)備放棄光刻機(jī)研制時(shí)，荷蘭的先進(jìn)半導(dǎo)體材料公司（Advanced Semiconductor Materials）即ASM公司尋求與其合作。1983年，ASM與飛利浦宣布將創(chuàng)立研制光刻設(shè)備的合資公司，這家合資公司就是ASML。1984年，47名飛利浦員工進(jìn)入ASML。實(shí)際上，ASM進(jìn)入光刻機(jī)領(lǐng)域源于其首席執(zhí)行官阿瑟 . 德爾 . 普拉多（Arthur del Prado）對(duì)光刻市場一無所知而產(chǎn)生的樂觀預(yù)期。但是，ASM為飛利浦光刻機(jī)項(xiàng)目的存續(xù)提供了必不可少的資金支持。實(shí)際上，ASML成立后，其光刻機(jī)研制并不順利，即使在公司能夠向市場供應(yīng)產(chǎn)品后，依然虧損。1987年，為ASML實(shí)際提供資金的母公司ASM損失了2300萬美元，其中800萬美元的虧損系A(chǔ)SML造成的，到1988年年初，ASM的財(cái)務(wù)狀況跌至谷底。最終，ASM從ASML撤資，由飛利浦承擔(dān)ASM在合資企業(yè)中的股份和債務(wù)，但ASM的3500萬美元投資打了水漂。高端制造業(yè)的高進(jìn)入壁壘于此可見。不過，由于此時(shí)ASML已經(jīng)有光刻機(jī)應(yīng)市，母公司飛利浦沒有將其放棄，這一戰(zhàn)略堅(jiān)守成為ASML走向全球光刻機(jī)壟斷巨頭的關(guān)鍵。在ASM撤資后，飛利浦的資金投入和政府補(bǔ)貼構(gòu)成了ASML生存所需的資金來源。飛利浦與為ASML融資的銀行合作，建立了一個(gè)可以接收來自荷蘭與歐洲共同體的政府贈(zèng)款的公司結(jié)構(gòu)。荷蘭與歐洲共同體向ASML提供的1650萬美元研發(fā)補(bǔ)貼，構(gòu)成其開發(fā)PAS 5500機(jī)型總研發(fā)成本的 60%。此后，荷蘭政府還為該機(jī)型的研發(fā)提供了1900萬美元的技術(shù)開發(fā)貸款。1989年，ASML第一次盈利，但PAS 5500的研發(fā)構(gòu)成其沉重負(fù)擔(dān)。1992年上半年，由于ASML虧損嚴(yán)重，飛利浦內(nèi)部又出現(xiàn)了將其關(guān)閉的聲音，但飛利浦還是為其注資2100萬美元，使其挺過了夏季與秋季，但到了年底，ASML又面臨資金匱乏。最終，ASML的資金問題是靠資本市場解決的。1995年3月，ASML上市，1996年初，ASML實(shí)現(xiàn)財(cái)務(wù)獨(dú)立，荷蘭銀行與德國商業(yè)銀行荷蘭分行將其信貸額度提高到1.2億美元。此處詳述歷史細(xì)節(jié)，意在表明資金問題是ASML發(fā)展初期所面臨的最大困難，因?yàn)橹圃旄呒夹g(shù)產(chǎn)品需要高額研發(fā)投入，但也面臨著回報(bào)周期長與市場不確定性的風(fēng)險(xiǎn)。如此一來，以戰(zhàn)略定力長期保持高強(qiáng)度投入就成為創(chuàng)新主體成功的關(guān)鍵。就此而論，在光刻機(jī)等高端裝備領(lǐng)域?qū)嵤┳汾s的企業(yè)與國家，必須具有肯于長期高強(qiáng)度投入而不計(jì)短期回報(bào)的戰(zhàn)略意志。實(shí)際上，ASML上市后繼續(xù)依靠飛利浦注資以及政府補(bǔ)貼，直到2007年之后才真正獲得市場優(yōu)勢地位。荷蘭光刻機(jī)的崛起，保守地說耗時(shí)也近30年，后來者想要縮短追趕時(shí)間，只能以更高的強(qiáng)度進(jìn)行投入。

從企業(yè)史的微觀層面看，ASML成功研制出可以供應(yīng)市場的光刻機(jī)，是飛利浦在ASM撤資后繼續(xù)保持投入的關(guān)鍵原因。而ASML成功研制光刻機(jī)，離不開第一任首席執(zhí)行官賈特 . 斯密特（Gjalt Smit）的領(lǐng)導(dǎo)。賈特 . 斯密特為ASML重新設(shè)計(jì)了架構(gòu)，理順了研發(fā)與制造的關(guān)系，注入了重視市場的觀念。實(shí)際上，賈特 . 斯密特為了達(dá)成目標(biāo)，在經(jīng)營管理上進(jìn)行了高強(qiáng)度的資金投入。例如，為了盡快生產(chǎn)出光刻機(jī)，ASML改變了飛利浦之前的研發(fā)模式，將機(jī)器拆分為各個(gè)模塊，每個(gè)模塊由專業(yè)團(tuán)隊(duì)并行開發(fā)，再將模塊組裝成系統(tǒng)。這一新的研發(fā)方案成本更高，但縮短了研發(fā)時(shí)間，使ASML能在落后的形勢下抓住光刻機(jī)市場所剩不多的機(jī)會(huì)。賈特 . 斯密特在了解了研制中存在的問題后，向技術(shù)負(fù)責(zé)人表示：“當(dāng)然，這一切都要花錢。我們需要在開發(fā)、生產(chǎn)、營銷、服務(wù)等方面進(jìn)行投資。我們需要人才，我們將進(jìn)行招聘?！蓖瑯又匾氖?，賈特 . 斯密特為ASML營造了積極向上的企業(yè)文化，重振了飛利浦光刻機(jī)研制平臺(tái)的低迷士氣。在ASML才剛剛組建時(shí)，賈特 . 斯密特就鼓勵(lì)員工：“我們要爭奪金牌……我們要成為市場的主導(dǎo)者?！睉{借高效務(wù)實(shí)的組織管理和銳意進(jìn)取的企業(yè)文化，在高強(qiáng)度的資源與要素投入之下，賈特 . 斯密特領(lǐng)導(dǎo)ASML盡快完成了飛利浦蹉跎多年未能完成的光刻機(jī)研發(fā)。在這一點(diǎn)上，尼康再次展示了與ASML的相似性。對(duì)于堅(jiān)持在技術(shù)研發(fā)上投入，吉田莊一郎稱：“技術(shù)與石油很像，如果資源不足，人們就會(huì)拼命挖掘?qū)ふ?。不定什么時(shí)候，新的石油就會(huì)噴出……技術(shù)人員們也在孜孜不倦的技術(shù)研究中獲得源源不斷的靈感與啟發(fā)?！贝送?，為了追趕領(lǐng)先的美國光刻機(jī)企業(yè)，吉田莊一郎也表達(dá)了強(qiáng)烈的進(jìn)取心：“使用高科技含量產(chǎn)品采取正面進(jìn)攻，是取得勝利的根本原因。”事實(shí)上，ASML后來能夠擊敗一度領(lǐng)先的尼康，靠的也是以技術(shù)含量更高的產(chǎn)品在市場上正面進(jìn)攻。

由歷史可知，盡管ASML在當(dāng)前幾乎壟斷了全球的高端光刻機(jī)市場，但在數(shù)十年的時(shí)間里，這家公司作為光刻機(jī)領(lǐng)域的后來者與追趕者，長期瀕臨關(guān)閉的邊緣，依賴政府補(bǔ)貼而非市場盈利來維持。ASML在逆境中的成功再次說明了制造業(yè)中技術(shù)積累與傳承的重要性，而技術(shù)積累與傳承需要堅(jiān)韌的戰(zhàn)略意志去保持高強(qiáng)度投入。對(duì)試圖追趕ASML的創(chuàng)新主體來說，高強(qiáng)度的戰(zhàn)略投入同樣是必不可少的條件。

三、利用制造業(yè)生態(tài)體系是ASML成功的保障

在一定范圍內(nèi)，制造業(yè)往往是由上下游企業(yè)、政府、學(xué)校和社會(huì)組織構(gòu)成的生態(tài)體系，不同的企業(yè)與產(chǎn)業(yè)在該體系內(nèi)通過競爭與合作等關(guān)系，與體系一起演化。綜觀ASML光刻機(jī)崛起的歷史，善于利用已有的制造業(yè)生態(tài)體系并形成自己的生態(tài)體系，是其成功的重要保障。

首先，ASML充分利用了荷蘭的教育體系與人力資源。盡管工業(yè)革命以后，荷蘭并非歐洲一流的工業(yè)強(qiáng)國，但其技術(shù)實(shí)力與技術(shù)底蘊(yùn)在世界范圍內(nèi)仍屬深厚。ASML光刻機(jī)的技術(shù)研發(fā)人員并不局限于荷蘭，但仍以荷蘭工程師為主體。實(shí)際上，ASML的母公司飛利浦在荷蘭每所大學(xué)都有耳目，與荷蘭幾乎每個(gè)工程或科學(xué)教授都有聯(lián)系，一旦公司在大學(xué)教授的人際關(guān)系網(wǎng)里發(fā)現(xiàn)人才，一有需要就會(huì)進(jìn)行招聘。當(dāng)ASML組建之初招聘員工時(shí)，有大約300人提出申請(qǐng)，荷蘭工程技術(shù)人才的充足總量令A(yù)SML管理層都感到驚訝。產(chǎn)品的研發(fā)與制造終究要由具體的人來承擔(dān)，工程技術(shù)教育是制造業(yè)生態(tài)體系重要的組成部分，荷蘭教育體系培養(yǎng)的工程師成為ASML研制光刻機(jī)的人力資源保障。

其次，ASML在與用戶的交流合作中改進(jìn)技術(shù)，提升制造水平，并與關(guān)鍵用戶實(shí)現(xiàn)了共同壯大的協(xié)同演化。制造業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新具有漸進(jìn)積累的特征，經(jīng)驗(yàn)的積累往往需要大量的實(shí)踐，并不斷對(duì)已有產(chǎn)品的設(shè)計(jì)與工藝進(jìn)行改進(jìn)，從而提升制造水平，因此，為制造業(yè)企業(yè)提供經(jīng)驗(yàn)積累機(jī)會(huì)的用戶至關(guān)重要。在飛利浦自行研制光刻機(jī)的階段，研發(fā)部門具有較濃的科研風(fēng)氣，對(duì)產(chǎn)品的商業(yè)化和市場化不太重視。ASML成立后，首席執(zhí)行官賈特？斯密特將研發(fā)的關(guān)注點(diǎn)從技術(shù)會(huì)議和科學(xué)文獻(xiàn)轉(zhuǎn)向顧客，詢問顧客的需求，再把分析后的結(jié)論作為硬性要求交給ASML的工程師。由此，ASML改變了光刻機(jī)研制的技術(shù)路線，并能保證其新產(chǎn)品研發(fā)出來后有市場需求。在ASML的用戶中，創(chuàng)辦于1987年的臺(tái)積電至關(guān)重要。臺(tái)積電與飛利浦淵源頗深，第一批投資臺(tái)積電的企業(yè)中就有飛利浦電子公司（該公司從飛利浦剝離后改名恩智浦），飛利浦電子公司也是購買臺(tái)積電所造晶圓的首批客戶之一。臺(tái)積電的業(yè)務(wù)是為半導(dǎo)體公司提供制造服務(wù)，光刻機(jī)是其關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備。實(shí)際上，臺(tái)積電與ASML同為飛利浦投資參股的子公司，這層關(guān)系給了ASML向臺(tái)積電出售產(chǎn)品的機(jī)會(huì)，但臺(tái)積電在談判中提出了苛刻的要求。具有偶然性的是，1988年底，臺(tái)積電的工廠遭遇火災(zāi)，急需一批光刻機(jī)，只能向ASML訂購，而正是這筆訂單使ASML首次盈利。此后，雙方的關(guān)系逐漸深化。隨著臺(tái)積電在芯片制造領(lǐng)域獲得巨大的規(guī)模優(yōu)勢，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原有的產(chǎn)業(yè)鏈解體，產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)重構(gòu)，半導(dǎo)體設(shè)計(jì)與制造分離的無廠模式最終形成。在臺(tái)積電推動(dòng)形成的新的產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)中，ASML作為臺(tái)積電的設(shè)備供應(yīng)商，依托臺(tái)積電的規(guī)模優(yōu)勢而同樣壯大。事實(shí)上，臺(tái)積電與ASML在芯片制造與芯片制造設(shè)備領(lǐng)域分別形成的行業(yè)領(lǐng)先地位，正是當(dāng)前中國企業(yè)不得不克服的巨大的進(jìn)入壁壘。換言之，要追趕ASML，也必須像ASML那樣，與關(guān)鍵用戶協(xié)同演化，構(gòu)建新的自己的生態(tài)體系。

最后，ASML尋找與培育了自己的零部件供應(yīng)商，并與供應(yīng)商一起實(shí)現(xiàn)了共同提升的協(xié)同演化，作為用戶，形成了以自己為中心的生態(tài)體系。ASML對(duì)其供應(yīng)商的幫助，就如同臺(tái)積電等用戶對(duì)其自身的幫助一樣。不過，ASML最為關(guān)鍵的供應(yīng)商是德國的世界一流光學(xué)企業(yè)蔡司。蔡司能夠制造ASML不能生產(chǎn)的光學(xué)元件，也保障了ASML光刻機(jī)的光刻精度。但是，ASML同樣具有一定的技術(shù)水準(zhǔn)，能看到蔡司所存在的缺陷，并一起解決蔡司產(chǎn)品的技術(shù)問題。事實(shí)上，蔡司長期堅(jiān)持手工制造的工匠傳統(tǒng)，其產(chǎn)品精良，但無法滿足市場對(duì)于產(chǎn)品數(shù)量的巨大需求。正是在為ASML光刻機(jī)供貨的過程中，蔡司推行了制造方式的變革，引入數(shù)控機(jī)床和機(jī)器人等自動(dòng)化系統(tǒng)代替工匠，實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)產(chǎn)。因此，ASML促進(jìn)了其供應(yīng)商的成長，而強(qiáng)大的供應(yīng)商反過來又保障了ASML光刻機(jī)的高精度與高性能，兩者相得益彰，共同強(qiáng)化了市場競爭力，最終促使ASML形成了自己的具有壟斷性的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，為后來者與追趕者設(shè)置了極難逾越的進(jìn)入壁壘。

四、對(duì)中國的啟示：以高投入完善制造業(yè)生態(tài)體系

目前，高端光刻機(jī)對(duì)于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展乃至整個(gè)工業(yè)化與信息化來說，均屬于必須攻克的“卡脖子”設(shè)備。毫無疑問，中國的光刻機(jī)制造必須追趕ASML，并突破其構(gòu)筑的進(jìn)入壁壘，而ASML自身的經(jīng)驗(yàn)對(duì)中國來說就具有直接的啟示與借鑒作用了。

ASML光刻機(jī)崛起的最大啟示其實(shí)不過重復(fù)了20世紀(jì)中葉以來世界高端制造業(yè)發(fā)展的一般規(guī)律，即必須以戰(zhàn)略意志進(jìn)行高強(qiáng)度的投入，突破或構(gòu)筑進(jìn)入壁壘，成為領(lǐng)域內(nèi)瓜分全球市場的少數(shù)頂級(jí)企業(yè)之一。無論是芯片，還是噴氣式航空發(fā)動(dòng)機(jī)，又或者大飛機(jī)，莫不如此。因此，中國為了解決高端光刻機(jī)“卡脖子”的問題，必須堅(jiān)定戰(zhàn)略決心，長期投入資源進(jìn)行高強(qiáng)度的研發(fā)，直至成功實(shí)現(xiàn)追趕。盡管這一經(jīng)驗(yàn)看似簡單，但真正在實(shí)踐中長期堅(jiān)持卻極為困難。ASML曾經(jīng)長期領(lǐng)取荷蘭和歐共體的政府補(bǔ)貼，中國政府也應(yīng)該從資金和應(yīng)用場景等層面給予本國的相關(guān)企業(yè)以政策支持。

此外，ASML光刻機(jī)崛起的經(jīng)驗(yàn)，啟示中國必須在保障創(chuàng)新主體持續(xù)進(jìn)行高強(qiáng)度投入的同時(shí)，完善制造業(yè)生態(tài)體系，使半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)與上下游產(chǎn)業(yè)協(xié)同演化，共同進(jìn)步。制造業(yè)的技術(shù)提升具有“干中學(xué)”的屬性，經(jīng)驗(yàn)積累與用戶反饋，對(duì)于制造業(yè)企業(yè)能力的發(fā)展至關(guān)重要。設(shè)備制造企業(yè)需要借助用戶的意見來改進(jìn)設(shè)計(jì)與工藝等，而設(shè)備制造企業(yè)作為用戶，又對(duì)供應(yīng)零部件和元器件的上游企業(yè)起到同樣的牽引作用。為了實(shí)現(xiàn)追趕，解決“卡脖子”問題，以一定的機(jī)制大力培養(yǎng)技術(shù)人才，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上的關(guān)聯(lián)企業(yè)密切互動(dòng)，協(xié)同演化，最終形成自己的生態(tài)體系，是追趕企業(yè)突破領(lǐng)先企業(yè)既有生態(tài)體系構(gòu)成的進(jìn)入壁壘的可能性路徑。然而，制造業(yè)生態(tài)體系的完善過程，依然需要高強(qiáng)度的投入作為具體的落實(shí)手段。

總而言之，盡管高端光刻機(jī)是中國目前尚不具備制造能力的高技術(shù)產(chǎn)品，但ASML以及尼康等企業(yè)的光刻機(jī)研制史顯示，半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)仍然遵循制造業(yè)演化的諸多一般性規(guī)律，例如，技術(shù)的積累與傳承，研發(fā)模式的優(yōu)化，勇于挑戰(zhàn)的企業(yè)文化的營造，依然是相關(guān)企業(yè)最基本的成長機(jī)制。而不可忽視的是，盡管本文一再強(qiáng)調(diào)漸進(jìn)積累式創(chuàng)新對(duì)于制造業(yè)的重要性，但技術(shù)路線與范式的大規(guī)模突變也是存在的，ASML崛起的過程中也不乏不同技術(shù)路線的競爭。曾經(jīng)領(lǐng)先的技術(shù)范式在短時(shí)間內(nèi)被取代從而導(dǎo)致領(lǐng)先企業(yè)的急劇落敗，在歷史上存在先例。因此，追趕者在踏實(shí)學(xué)習(xí)先進(jìn)的同時(shí)，也應(yīng)該關(guān)注并探索不同的技術(shù)方案，積極尋求擺脫領(lǐng)先者技術(shù)軌道的束縛的可能性，實(shí)現(xiàn)具有戰(zhàn)略意義的突破性創(chuàng)新。