劉貝貝 劉燚 蔣厚庸 周宇仁 / 上海市計量測試技術研究院

0 引言

檢漏分為真空檢漏和正壓檢漏，真空檢漏是指把產(chǎn)品內(nèi)部抽成真空狀態(tài)，在產(chǎn)品外部施加示漏氣體以檢查產(chǎn)品漏氣率的方法；正壓檢漏是指在產(chǎn)品內(nèi)部充入高于一個大氣壓的示漏氣體以檢查產(chǎn)品漏氣率的方法[1]。為保證檢漏的準確性，需保證檢漏狀態(tài)與工作狀態(tài)一致。例如航天產(chǎn)品在使用時，多數(shù)是充壓狀態(tài)，所以也要求在充壓狀態(tài)下進行檢漏，即需要采用正壓檢漏方法。近年來，隨著工業(yè)的發(fā)展，正壓檢漏被越來越廣泛地應用于航空航天、核工業(yè)、汽車零部件、制冷、機械等行業(yè)[2-4]。正壓漏孔是正壓檢漏時提供參考漏率的標準，用來對正壓檢漏儀進行校準。正壓漏孔的漏率值直接關系到正壓檢漏的準確性，所以正壓漏孔漏率值的準確校準至關重要。

正壓漏孔校準裝置工作原理一般分為定容法和恒壓法[5-7]。上海市計量測試技術研究院在2004年建立了一套改進型的正壓漏孔校準裝置，可分別使用恒壓法和定容法進行校準[8-10]。使用定容法時，考慮到薄膜規(guī)形變量，需通過在校準室連接一枚活塞，先測量推進活塞引起的壓差等效于從漏孔流入的氣體量，計算出體積系數(shù)k，再測量由被測漏孔流入校準室引起的壓力p隨時間t的變化率，從而得出被測漏孔的漏率。但是，該方法在實際操作時存在一些問題：1）被測漏孔接入校準室時也會引入部分體積，而被測正壓漏孔形狀各異，引入的體積也大不相同，導致不同被測漏孔的體積系數(shù)不一樣；2）該方法需在溫度恒定的時候才能成立，而且正壓漏孔內(nèi)部氣體分子多，漏率受溫度影響較大，所以在實際對漏孔進行校準時需保證溫度恒定。針對以上問題，本文所述實驗研制了一套全自動正壓漏孔校準裝置，可完成對漏率范圍為1×10-7～1×10-4Pa·m3/s的不同形狀漏孔的全自動校準，有效提高工作效率和測量準確度。

1 校準裝置

1.1 裝置結構

如圖1所示，裝置主要由差壓薄膜規(guī)、容柵尺、活塞、半導體制冷恒溫箱、高精密氣動面密封閥及真空管道等構成。其中，差壓薄膜規(guī)、測試閥與截止閥之間的管道組成校準室，差壓薄膜規(guī)、放空閥與截止閥之間的管道組成參考室。差壓薄膜規(guī)采用MKS的698A系列，量程為1.332 kPa，測量準確度為示值的0.05%；容柵尺測量范圍為0～25 mm，擴展不確定度為1 μm；活塞外徑為1.986 mm，擴展不確定度為1 μm；半導體制冷恒溫箱溫控分辨力為0.01 ℃，大氣壓由RMP4數(shù)字壓力計測得，測量準確度為0.01%。

圖1 正壓漏孔校準裝置工作原理

1.2 體積補償方法

被測正壓漏孔漏率可由式（1）和（2）得到：

式中：k——體積系數(shù)，m3；

A——活塞截面積，m2；

x——活塞移動距離，m；

p1、p2——活塞移動前、后薄膜計示值，Pa；

p0——大氣壓力值，Pa；

Q——被測漏孔漏率，Pa·m3/s；

dt——檢測時間，s；

dp——檢測時間dt內(nèi)的壓力變化，Pa

為了準確測量每一個漏孔的漏率，漏孔在進行校準前需要先測量體積系數(shù)。本裝置采用氣動控制活塞和容柵尺測量系統(tǒng)相結合的方法實現(xiàn)活塞推進體積的連續(xù)、自動、準確測量。將活塞與容柵尺相連接，活塞由氣動控制推進一定的距離，帶動容柵尺移動，容柵尺自動測量移動位移。

由于在測量活塞推進體積以及產(chǎn)生的壓差時，漏孔也會漏入校準室部分體積，導致測得的壓差是活塞推進和漏孔漏入氣體體積共同引起的，所以要將漏孔漏入的氣體體積影響量消除?？刹捎靡韵聝煞N消除方法：1）將被測漏孔通過測試閥與校準室相連，讀取差壓薄膜計示值p1。氣動控制活塞推進一定的距離ΔL，讀取差壓薄膜計示值p2，則壓力變化量Δp1=p2-p1。將活塞按照推進時的速度退回原位置，讀取差壓薄膜計示值p3，Δp2=p3-p1，則由活塞推進體積引起的壓力變化量Δp= Δp1-Δp2/2。重復測量三次，取三次測量平均值。2）將被測漏孔通過測試閥與校準室相連，讀取差壓薄膜計示值p1，氣動控制活塞推進一定的距離ΔL，讀取差壓薄膜計示值p2以及推進時間Δt。保持活塞位置不變，繼續(xù)等待時間Δt，記錄差壓薄膜計示值p3，則由活塞推進氣體體積引起的壓力變化量Δp=p2-p1-p3。以上兩種方法均可以消除漏孔漏入校準室引起的體積偏差。

1.3 溫度補償方法

漏孔漏率受溫度影響較大，在校準過程中保持溫度恒定是影響校準準確度的關鍵因素之一。如圖2所示，可將裝置放置在一個恒溫箱內(nèi)，恒溫箱采用半導體制冷技術實現(xiàn)內(nèi)部的控溫，分辨力達0.01 ℃。半導體制冷技術作為一種新型的溫度調(diào)節(jié)技術，結構簡單、可靠性高、壽命長、體積小、啟動快、控制靈活，接通電源，即可迅速制冷，適用于本裝置恒溫箱的溫度保持。

圖2 半導體恒溫系統(tǒng)

由于整個校準裝置是一個關于差壓薄膜規(guī)和截止閥對稱的系統(tǒng)，所以半導體制冷模塊可安裝在箱體內(nèi)部頂端中心位置，設置恒溫系統(tǒng)溫度為（23±5）℃范圍內(nèi)并接近當前室溫的一個數(shù)值，減少制冷或加熱時間。殼體可采用不銹鋼制作，隔熱層采用聚乙烯發(fā)泡棉。

1.4 自動化控制與處理系統(tǒng)

為減少檢測過程中的人為誤差，提高檢測效率和準確度，設計了一套全自動控制與處理系統(tǒng)。系統(tǒng)采用Labview程序進行設計，可自動完成閥門開啟和關閉，自動采集活塞推進體積、差壓薄膜規(guī)示值，自動進行體積系數(shù)k值的計算，自動進行漏率值的計算及保存，保障測量結果的準確。設計界面如圖3所示，接入被測漏孔，選擇定容法，輸入大氣壓力值，選擇采樣時間，點擊Start，則可實現(xiàn)漏率的自動校準。

圖3 程序處理界面

2 裝置測量不確定度評定

本裝置測量模型為

各分量的不確定度如表1所示，各分量之間相互獨立，合成標準不確定為

表1 不確定度分量匯總表

取包含因子k= 2，擴展不確定度為

上述擴展不確定度是針對裝置本身的測量能力，不包括被測正壓漏孔引入的不確定度，也可以理解為最佳測量能力。

3 結語

本文建立了一套“基于活塞體積補償、溫度補償”的全自動正壓漏孔校準裝置，裝置采用氣動控制活塞和容柵尺測量系統(tǒng)相結合的辦法實現(xiàn)推進體積的連續(xù)、自動、準確測量；采用半導體恒溫技術實現(xiàn)裝置的恒溫，減少溫度對測量的影響；采用Labview程序設計了一套全自動化控制與處理系統(tǒng)，可實現(xiàn)漏率的自動校準。該裝置可完成對1×10-7～1×10-5Pa·m3/s的正壓漏孔漏率的量值溯源，裝置不確定度為Urel= 6%（k= 2）。該裝置使用十分方便，檢測效率高，易于推廣。