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      用于真空紫外探測(cè)器標(biāo)定的光學(xué)斬波器研究

      2022-04-25 07:36:28張博妮胡鐵力孫宇楠
      應(yīng)用光學(xué) 2022年2期
      關(guān)鍵詞:波片鎖相光學(xué)

      盧 飛,張博妮,秦 艷,胡鐵力,俞 兵,孫宇楠,曹 鋒

      (西安應(yīng)用光學(xué)研究所,陜西 西安 710065)

      引言

      光學(xué)斬波器通過斬波輪旋轉(zhuǎn)將光信號(hào)尤其是微弱光信號(hào)調(diào)制成交變光信號(hào),然后交變的光信號(hào)通過光電轉(zhuǎn)換得到固定頻率的電壓信號(hào)。電壓信號(hào)與斬波器輸出的、與光信號(hào)同步的參考信號(hào)一起輸入鎖相放大器中,通過鎖相放大器檢波功能實(shí)現(xiàn)對(duì)微弱光譜信號(hào)的相關(guān)檢測(cè)[1-2],光學(xué)斬波器的轉(zhuǎn)速控制精度及穩(wěn)定度至關(guān)重要。斬波放大技術(shù)通過僅放大信號(hào)和與信號(hào)同頻率的噪聲,從而實(shí)現(xiàn)絕大部分噪聲和信號(hào)分離,完成低頻弱信號(hào)的有效放大[3]。因此斬波放大電路具有有效放大低信噪比信號(hào)的優(yōu)點(diǎn)[4-6]。

      光譜響應(yīng)度是探測(cè)器的重要技術(shù)參數(shù)之一,隨著低溫輻射計(jì)靈敏度的提高,可以利用單色儀出射的單色光作為光源實(shí)現(xiàn)低溫輻射計(jì)標(biāo)定探測(cè)器絕對(duì)光譜響應(yīng)度。在標(biāo)定115 nm~400 nm 波段探測(cè)器絕對(duì)光譜響應(yīng)度時(shí),低溫輻射計(jì)和探測(cè)器均處于真空環(huán)境中,經(jīng)過單色儀分光后的光信號(hào)非常弱,必須使用斬波器和鎖相放大器將弱信號(hào)從噪聲信號(hào)中提取出來,并做放大處理。一般的斬波器電機(jī)中的油會(huì)污染真空腔室,并且電機(jī)不具備散熱功能,無法滿足真空環(huán)境使用要求。而國(guó)內(nèi)未見相關(guān)適用真空環(huán)境斬波器的文獻(xiàn),國(guó)外Mcpherson 公司采用音叉震動(dòng)的方式制作了適用真空環(huán)境的斬波器,其頻率范圍為10 Hz~1 kHz,穩(wěn)定性優(yōu)于0.01%。雖然性能滿足使用要求,但是價(jià)格昂貴。因此,為了實(shí)現(xiàn)基于低溫輻射計(jì)的115 nm~400 nm 波段探測(cè)器絕對(duì)光譜響應(yīng)度標(biāo)定,本文設(shè)計(jì)了一款適用于真空環(huán)境的光學(xué)斬波器,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明該光學(xué)斬波器滿足使用要求,具有穩(wěn)定性好、可用于真空環(huán)境的特點(diǎn)。

      1 光學(xué)斬波器組成及工作原理

      1.1 組成

      光學(xué)斬波器由斬波片、轉(zhuǎn)軸、伺服電機(jī)、U 型光電開關(guān)、降溫組件、支架、光電開關(guān)電路和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器組成,其結(jié)構(gòu)如圖1所示,轉(zhuǎn)軸由伺服電機(jī)控制帶動(dòng)斬波片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

      1.2 工作原理

      將斬波器和鎖相放大器組合起來,通過對(duì)光信號(hào)進(jìn)行調(diào)制解調(diào),實(shí)現(xiàn)將信號(hào)噪聲分離,從而僅放大有用信號(hào),并提高有用信號(hào)的信噪比[7-8]。光學(xué)斬波器將低信噪比的微弱光信號(hào)調(diào)制成指定頻率的交變信號(hào),然后通過光電轉(zhuǎn)換得到交變的電壓信號(hào),該信號(hào)與光學(xué)斬波器同步輸出的參考信號(hào)一起輸入鎖相放大器。鎖相放大器識(shí)別輸入的參考信號(hào)的頻率,通過內(nèi)部檢波電路分離出與參考信號(hào)同步的交流輸入信號(hào),只有此頻率的信號(hào)可以通過并進(jìn)行放大,而其他與參考信號(hào)頻率差別較大的信號(hào)會(huì)被濾除,從而降低噪聲信號(hào)的影響,改善檢測(cè)信噪比,達(dá)到微弱交流信號(hào)讀取的目的[9]。由于鎖相放大器測(cè)量與參考信號(hào)同頻率信號(hào)的幅度,并且有一個(gè)最少鎖定周期,因此光學(xué)斬波器斬波輪的轉(zhuǎn)速控制精度及穩(wěn)定度至關(guān)重要。

      鎖相放大器輸出信號(hào)的幅值取決于輸入信號(hào)和參考信號(hào)的頻率差和相位差。光學(xué)斬波器頻率不穩(wěn)定主要引起輸入信號(hào)和參考信號(hào)的相位差。為滿足真空紫外探測(cè)器絕對(duì)光譜響應(yīng)度標(biāo)定光源穩(wěn)定性達(dá)到0.1%的要求,光學(xué)斬波器頻率不穩(wěn)定引起的最大相位差要小于2.5°。本文設(shè)計(jì)的光學(xué)斬波器在80 Hz 時(shí)使用,所以滿足相位差要求的斬波器的最大允許頻率范圍為79.4 Hz~80.6 Hz。本文設(shè)計(jì)的光學(xué)斬波器頻率穩(wěn)定性為±0.05 Hz,既可滿足鎖相放大器對(duì)參考信號(hào)的要求,又能滿足系統(tǒng)其余的設(shè)計(jì)要求。

      為了實(shí)現(xiàn)基于低溫輻射計(jì)的115 nm~400 nm波段探測(cè)器絕對(duì)光譜響應(yīng)度[10-11]標(biāo)定,將溯源于低溫輻射計(jì)的傳遞標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和被校準(zhǔn)探測(cè)器安裝在探測(cè)器真空艙的一維電動(dòng)平移臺(tái)上,如圖2所示。光學(xué)斬波器位于傳遞標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和被校準(zhǔn)探測(cè)器前方的光路中,經(jīng)光學(xué)斬波器反射的紫外輻射由監(jiān)視探測(cè)器接收,經(jīng)光學(xué)斬波器透射的紫外輻射由傳遞標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器和被校準(zhǔn)探測(cè)器接收。

      2 光學(xué)斬波器的設(shè)計(jì)

      2.1 光學(xué)斬波器主體的設(shè)計(jì)

      1)斬波片的設(shè)計(jì)

      本文設(shè)計(jì)了如圖3所示的斬波片,其直徑為φ100 mm,通光口徑為φ94 mm。該斬波片采用超硬鋁材料加工,一面拋光成鏡面,一面進(jìn)行發(fā)黑處理。為了減小轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和抵抗加工過程中的變形,其結(jié)構(gòu)形式為中間略厚于邊緣。斬波片反射面粗糙度高將導(dǎo)致反射光斑出現(xiàn)彌散斑,從而降低反射光斑的能量,使監(jiān)視探測(cè)器測(cè)量困難,因此需要盡量減小彌散斑的出現(xiàn)。通過光學(xué)設(shè)計(jì)將基底的表面粗糙度設(shè)計(jì)為Ra=0.012。為了盡量減少中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)對(duì)光路的干涉,系統(tǒng)中采用斬波片直接與電機(jī)軸連接。斬波片先用螺釘固定在外錐套上,外錐套周向均勻分布有6 個(gè)彈性齒,當(dāng)擰緊拉緊螺釘時(shí),內(nèi)錐套會(huì)沿著錐面軸向拉緊,促使外錐套上的6 個(gè)彈性齒均勻收縮,達(dá)到與電機(jī)軸抱死的目的,優(yōu)點(diǎn)是斬波片受力均勻、與電機(jī)軸同軸性好。

      2)伺服電機(jī)的選型

      根據(jù)斬波器的功能及設(shè)計(jì)要求,除了要求電機(jī)扭矩外,還要求電機(jī)轉(zhuǎn)速的平穩(wěn)性。本文選擇了FAULHABER 公司的3274X024BP4-5 993型真空版直流無刷伺服電機(jī)[12-13],轉(zhuǎn)矩為162 mN·m,并配備4 096線編碼器和6.6:1 的行星減速箱。其額定轉(zhuǎn)速為8 260 轉(zhuǎn)/min,滿足轉(zhuǎn)速7 920 轉(zhuǎn)/min 的要求。電機(jī)驅(qū)動(dòng)器使用了其配套的MC5010S 驅(qū)動(dòng)器,并使用FAULHABER 公司電機(jī)管理軟件Motion Manager6對(duì)驅(qū)動(dòng)器的參數(shù)進(jìn)行進(jìn)一步調(diào)節(jié),使其配置達(dá)到最優(yōu)。在Motion Manager6 進(jìn)入動(dòng)態(tài)調(diào)試界面,通過參數(shù)自整定,以及調(diào)節(jié)反饋速率等驅(qū)動(dòng)器參數(shù),最終轉(zhuǎn)速穩(wěn)定在±20 轉(zhuǎn)/min。

      3)光電開關(guān)信號(hào)處理電路設(shè)計(jì)

      光電開關(guān)輸入相位相反的兩路信號(hào),經(jīng)過運(yùn)放U1 組成的低通濾波器將光電開關(guān)輸出產(chǎn)生的尖刺脈沖濾除,然后利用兩路信號(hào)相位正好相反的特性,將另一路信號(hào)取反并與自身相與消除相位差和尖刺,從而消除斬波器光電開關(guān)輸出產(chǎn)生的毛刺噪聲以及葉片抖動(dòng)產(chǎn)生的相位誤差,如圖4所示。

      2.2 降溫組件的設(shè)計(jì)

      電機(jī)連續(xù)工作時(shí),會(huì)有一部分功率轉(zhuǎn)換為無效的熱功率,從而產(chǎn)生自身發(fā)熱的現(xiàn)象。如果電機(jī)自身熱量累積無法及時(shí)散出,將會(huì)降低電機(jī)的可靠性,嚴(yán)重的甚至?xí)o法正常工作[14]。因此,電機(jī)的散熱設(shè)計(jì)就顯得尤為重要?;镜纳岱绞街饕袀鲗?dǎo)、對(duì)流傳熱和輻射傳熱三種。真空環(huán)境下,大氣中常見的空氣不再存在,由于缺乏有效的對(duì)流介質(zhì),不存在大氣下的對(duì)流傳熱,需要從熱傳導(dǎo)和熱輻射兩個(gè)方面來著重考慮散熱。而液冷散熱系統(tǒng)需要額外的循環(huán)液路與密封系統(tǒng),增加了電機(jī)系統(tǒng)的成本和復(fù)雜性[15]。因此,電機(jī)降溫組件的設(shè)計(jì)主要針對(duì)真空環(huán)境下的熱傳遞特點(diǎn),著重從增大散熱面積和提高熱傳導(dǎo)效率兩個(gè)方面進(jìn)行設(shè)計(jì)。

      降溫組件的結(jié)構(gòu)如圖5所示,主要由上層矩形封裝體、下層矩形封裝體和熱界面材料等組成。

      電機(jī)通過端面和外圓接口安裝在電機(jī)支架上,上層矩形封裝體和下層矩形封裝體與支架固連。上層矩形封裝體和下層矩形封裝體主要是將圓柱型的電機(jī)封裝起來,不但起到了對(duì)電機(jī)的封裝和輔助支撐作用,而且可以將電機(jī)工作時(shí)產(chǎn)生的熱量通過硬件接觸傳導(dǎo)和熱輻射的方式傳遞到真空罐的底板和內(nèi)壁上。封裝體上分別設(shè)計(jì)了多組矩形散熱體,起到了增加熱傳導(dǎo)和熱輻射面積的目的。

      在非真空環(huán)境中,多個(gè)固體之間除了材料自身接觸外,材料之間的各個(gè)細(xì)微的間隙空間也會(huì)有氣體填充。物體熱傳導(dǎo)有兩種途徑,一種是通過物體的直接接觸傳遞,另一種是固體到氣體再到固體的間接傳遞。而真空中,無氣體填充空隙,為了提高熱傳遞效率,降溫組件一方面提高了封裝體與電機(jī)接觸表面的粗糙度,讓微觀上接觸的點(diǎn)陣更多,另一方面在電機(jī)和散熱體之間填充了熱界面材料,起到了提高導(dǎo)熱效率的目的。

      2.3 材料的處理

      用于制作光學(xué)斬波器的斬波片、降溫組件、支架的材料放氣會(huì)影響探測(cè)器真空艙的真空度,需要對(duì)斬波片材料和降溫組件進(jìn)行特殊處理,降低其放氣率。材料處理流程包括3 步。

      1)應(yīng)力釋放

      采用高品質(zhì)鋁材料制作光學(xué)斬波器,鋁材料結(jié)構(gòu)致密并含有非常少的雜質(zhì),對(duì)鋁材料進(jìn)行應(yīng)力釋放和高溫除氣,降低材料內(nèi)部釋放出的氣體。

      2)清洗

      在加工和處理過程中,不可避免會(huì)有塵埃、極性分子和有機(jī)物基團(tuán)等異物雜質(zhì)附著在材料表面。這些異物雜質(zhì)的吸氣能力通常比集體材料高,在真空狀態(tài)下會(huì)成為明顯的氣源,不斷地向真空艙內(nèi)釋放氣體,不僅會(huì)影響真空艙真空度的保持,還可能通過二次附著污染探測(cè)器。因此,為了保證部件的真空應(yīng)用性,必須要對(duì)部件進(jìn)行適當(dāng)?shù)那逑磥砣コ牧媳砻娈愇镫s質(zhì)。通過依次使用揮發(fā)性好的有機(jī)、無機(jī)溶劑來清洗部組件,可以利用解離-溶解-揮發(fā)的過程來清除材料表面的各種異物雜質(zhì),使材料表面微觀結(jié)構(gòu)物質(zhì),抑制材料真空放氣、提高部件表面連接強(qiáng)度和密封性能,有效改善部件真空適應(yīng)性和穩(wěn)定性。

      3)烘烤

      對(duì)材料進(jìn)行烘烤可以顯著增加解吸率和擴(kuò)散率,而且這會(huì)導(dǎo)致抽吸時(shí)間大大縮短。因此在溫度高達(dá)900 ℃時(shí)對(duì)材料進(jìn)行退化,并在300 ℃進(jìn)行烘烤,以增加其解吸率和擴(kuò)散率。

      通過采用最優(yōu)的烘烤時(shí)間、溫度、壓力和交替循環(huán)程序,最終保證了光學(xué)斬波器材料放氣率小于1×10?11Pam3/(s·cm2)。

      2.4 誤差分析

      1)斬波片和電機(jī)裝配引起的光斑抖動(dòng)誤差

      光斑投影發(fā)生周期性擾動(dòng)是由斬波片反光面和電機(jī)轉(zhuǎn)軸垂直度誤差造成的,如圖6所示。

      根據(jù)三角函數(shù)可知,光點(diǎn)晃動(dòng)量的晃動(dòng)半徑為

      式中:R為光點(diǎn)晃動(dòng)半徑;S為投射點(diǎn)到感光點(diǎn)的距離。

      裝配時(shí)最大可能保證垂直度,然后用百分表打端面的方法保證垂直度θ,如圖6所示。根據(jù)設(shè)計(jì)要求,斬波器的軸向跳動(dòng)量嚴(yán)格控制在0.05 mm,而誤差量只有跳動(dòng)量的1/2,實(shí)際誤差只有25 μm。

      2)斬波器葉片弧長(zhǎng)幾何尺寸造成的斬波周期誤差

      斬波器的使用頻率為80 Hz,斬波片為4 片,因此斬波器的轉(zhuǎn)速為20 轉(zhuǎn)/s。斬波片直徑為100 mm(劃過光束的直徑為94 mm),葉片寬度誤差為10 μm,假設(shè)斬波片寬度加工精度為0.01 mm,則周期誤差Δf為

      3 實(shí)驗(yàn)分析

      在如圖7所示的真空系統(tǒng)中,對(duì)光學(xué)斬波器斬波頻率的穩(wěn)定性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)時(shí)真空系統(tǒng)的真空度為1×10?4Pa。對(duì)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,使得電機(jī)轉(zhuǎn)速為7 920 轉(zhuǎn)/min(輸出參考信號(hào)頻率80 Hz)時(shí)的轉(zhuǎn)速誤差從±60 轉(zhuǎn)/min 減小到±20 轉(zhuǎn)/min。通過添加散熱措施后,電機(jī)轉(zhuǎn)速誤差進(jìn)一步減小到±18 轉(zhuǎn)/min,電機(jī)轉(zhuǎn)速監(jiān)控結(jié)果如圖8所示。利用本文設(shè)計(jì)的光電開關(guān)信號(hào)處理電路對(duì)光電信號(hào)進(jìn)行二次處理,其輸出參考信號(hào)頻率誤差進(jìn)一步降低到±0.05 Hz,將參考信號(hào)輸入到斯坦福公司的SR830 鎖相放大器進(jìn)行頻率監(jiān)控,其頻率在30 min 內(nèi)最大為80.04 Hz,最小為79.95 Hz。

      4 結(jié)論

      本文主要是針對(duì)基于低溫輻射計(jì)的115 nm~400 nm 波段探測(cè)器絕對(duì)光譜響應(yīng)度高準(zhǔn)確度標(biāo)定中一般斬波器不適用的問題,設(shè)計(jì)了一款適用于真空環(huán)境并且具備散熱功能的光學(xué)斬波器。實(shí)驗(yàn)表明該斬波器頻率在80 Hz 時(shí)的穩(wěn)定性為±0.05 Hz,可在10?4Pa 的真空環(huán)境下使用,對(duì)于真空紫外-紫外輻射定標(biāo)具有重要意義。

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